技术特征：
1.一种数字集成电路测试系统校准装置的误差测量系统，其特征在于，包括：标准电压源，所述标准电压源与所述校准装置的信号输入端电性连接的标准电压源，用于模拟数字集成电路测试系统向校准装置输出标准电压信号；校准装置，所述校准装置用于根据数字集成电路测试系统输入的电压信号对数字集成电路测试系统进行校准；其中，所述校准装置包括标准电阻模块以及电压测量模块，所述标准电阻模块为校准测试提供设定范围内各种阻值的电阻，所述电压测量模块用于检测校准装置中标准电阻模块上的电压值。2.根据权利要求1所述数字集成电路测试系统校准装置的误差测量系统，其特征在于，标准电压源通过线缆与校准装置上的信号输入接口电性连接，所述标准电阻模块串联设置在校准装置中。3.一种数字集成电路测试系统校准装置的误差测量方法，其特征在于，包括如下步骤：向数字集成电路测试系统校准装置中输入标准电压信号；测量校准装置中通过标准电阻模块的电压值；根据标准电压值与标准电阻阻值计算标准电流，根据测量的电压值与标准电阻阻值计算测量电流，将标准电流与测量电流进行比对，得到校准装置的测量误差。4.一种采用权利要求3所述误差测量方法的数字集成电路测试系统的优化校准方法，其特征在于，包括如下步骤：采用数字集成电路测试系统校准装置的误差测量方法匹配多组标准电压值及标准电阻阻值，并分别记录每一组标准电压值及标准电阻阻值匹配下校准装置的测量误差值；构建标准电压值与标准电阻阻值对测量误差值的数据集，仿真得到标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型；利用标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型，选择与施加电压一致的标准电压值所对应的测量误差值最小的标准电压值与标准电阻组合；以施加电压与选定的标准电阻产生的的电流值对数字集成电路测试系统进行校准。5.根据权利要求4所述数字集成电路测试系统的优化校准方法，其特征在于，依据数字集成电路测试系统直流电流参数测量范围，确定标准电压值设定范围以及标准电阻阻值选择范围。6.根据权利要求5所述数字集成电路测试系统的优化校准方法，其特征在于，标准电压值设定范围为：1mv～10v，步进单位为1mv；标准电阻阻值选择范围范围为：0.1ω、1ω、10ω、100ω、1kω、10kω、100kω、1mω。7.根据权利要求4所述数字集成电路测试系统的优化校准方法，其特征在于，所述仿真得到标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型，包括如下内容：确定标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型结构，以标准电压源电压数值与标准电阻阻值为模型输入，测量误差为输出；利用matalab软件，对准电压信号源电压数值、准电阻阻值以及测量误差进行函数关系的仿真，得到匹配选择模型结果。8.一种采用权利要求3所述误差测量方法的数字集成电路测试系统的优化校准系统，其特征在于，包括如下功能模块：
误差测量模块，用于采用数字集成电路测试系统校准装置的误差测量方法匹配多组标准电压值及标准电阻阻值，并分别记录每一组标准电压值及标准电阻阻值匹配下校准装置的测量误差值；模型构建仿真模块，用于构建标准电压值与标准电阻阻值对测量误差值的数据集，仿真得到标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型；电阻选择模块，用于利用标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型，选择与施加电压一致的标准电压值所对应的测量误差值最小的标准电压值与标准电阻组合；校准模块，用于以施加电压与选定的标准电阻产生的的电流值对数字集成电路测试系统进行校准。
技术总结
本发明公开了一种校准装置误差测量系统、方法及测试系统校准方法、系统，其通过向数字集成电路测试系统校准装置中输入标准电压信号，计算得到标准电流和测量电流，根据测量电流与标准电流之间的差值，能够得到在该标准电压信号与该标准电阻模块匹配下校准装置的测量误差。然后匹配多组标准电压值及标准电阻阻值，构建标准电压值与标准电阻相对应的匹配选择模型，从而能够根据施加电压选择出与施加电压形成最佳匹配的标准电阻的阻值，使得校准装置在该施加电压与标准电阻的组合下，测量误差值最小，进而提高数字集成电路测试系统的直流电流参数的校准精度。电流参数的校准精度。电流参数的校准精度。
技术研发人员：丁超 王珩
受保护的技术使用者：中国船舶重工集团公司第七0九研究所
技术研发日：2021.09.06
技术公布日：2022/4/5