晶片边缘轮廓测试仪的制作方法

1.本发明涉及晶片检测设备技术领域，具体为晶片边缘轮廓测试仪。


背景技术：

2.晶片边缘轮廓测试仪是基于机器视觉的最新的无键测量设备，能够替代传统的卡尺等工具，实现高效准确的测量，晶片边缘轮廓测试仪的基本工作流程为：连接好相机，打开光源，启动软件，将待测产品放置于检测平台上，采集一张图像，然后配置检测步骤，设置输出项，再为输出项设定比例系数、补偿系数、公差等参数，设置完成后，点击开始检测，更换产品，程序自动实时检测，输出结果，按下空格键记录数据，测完产品后，可以进行统计分析和输出报表。
3.现有的晶片边缘轮廓测试仪使用的辅助光源大多是外置光源，需要使用者根据使用需求进行现场调节，且调节较为不便，因此我们需要提出晶片边缘轮廓测试仪。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供晶片边缘轮廓测试仪，具备可便于对晶片边缘轮廓测试仪使用的光源进行调节的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座，所述底座的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环，所述固定环的内圈开设有固定槽，所述固定槽的内腔滑动连接有连接圈，所述连接圈的表面贯穿固定槽并延伸至固定槽的外部，所述光源模组固定安装于连接圈的内圈上，所述连接圈通过驱动组件进行驱动；
6.所述驱动组件包括固定板和齿圈，所述固定板固定安装于固定环的表面，所述齿圈固定安装于连接圈的外圈上，所述齿圈与固定槽的内壁滑动连接，所述固定板的表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的顶部贯穿固定环并延伸至固定槽的内腔与齿圈的表面啮合。
7.优选的，所述光源模组包括led补光灯，所述led补光灯设置有四组，且四组所述led补光灯等距固定安装于连接圈的内圈上。
8.优选的，所述移动模组包括伺服电机和槽道，所述伺服电机固定安装于底座一侧的前后两端，所述槽道开设于底座的内部，所述槽道与伺服电机呈对应设置，所述槽道的内腔轴承支撑有螺纹杆，所述伺服电机的输出轴贯穿底座并延伸至槽道的内腔与螺纹杆的一端固定安装，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块的顶部固定安装有连接板，所述连接板的顶端贯穿槽道并延伸至底座的上方，所述连接板通过可调节连接组件与固定环连接在一起。
9.优选的，所述可调节连接组件包括固定安装于固定环前后两侧的固定杆，所述固定杆远离固定环的一端与连接板的表面轴承支撑，所述连接板远离固定环的一侧固定安装
有旋转阻尼器，所述固定杆远离固定环的一端贯穿连接板并延伸至连接板的外部与旋转阻尼器的内圈固定安装。
10.优选的，所述槽道内腔的前后两侧均固定安装有滑杆，所述滑块的前后两侧均开设有与滑杆相适配的滑槽，且滑槽的内壁与滑杆的表面滑动连接。
11.优选的，所述晶片固定组件包括固定安装于底座顶部的支撑板，所述支撑板的表面铰接有底板，所述底板的一侧固定安装有真空吸盘，所述真空吸盘与支撑板之间通过定位组件进行定位。
12.优选的，所述定位组件包括定位槽和定位柱，所述定位柱固定安装于支撑板的表面，所述定位槽开设于底板远离真空吸盘的一侧，所述定位槽的内腔固定安装有磁铁块，所述定位柱的一端贯穿定位槽并延伸至定位槽的内腔与磁铁块磁吸在一起。
13.优选的，所述固定槽内腔的两侧均固定安装有环形限位杆，所述连接圈的表面开设有与环形限位杆相适配的限位槽，且限位槽的内壁与环形限位杆的表面滑动连接。
14.优选的，所述固定环的底部开设有通槽，所述通槽的顶部与固定槽的底部连通，所述驱动齿轮的表面与通槽的内腔滑动连接，所述驱动齿轮的顶部贯穿通槽并延伸至固定槽的内腔与齿圈的表面啮合。
15.优选的，所述底座的表面开设有与连接板相适配的移动槽，所述移动槽的底部与槽道的顶部连通，所述连接板的表面与移动槽的内壁滑动连接。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
17.1、本发明通过可调节光源组件的设置，移动模组可以对光源模组的位置进行移动，光源模组通过led补光灯可对晶片进行补光，调节模组可以对光源模组的使用位置进行调节，通过可调节连接组件的设置，可以对光源模组的使用角度进行调节，通过本组件的设置，可以便于对led补光灯的使用位置以及角度进行调节，有效提高了补光效果，进而提升相机的采像效果；
18.2、本发明通过晶片固定组件的设置，可对待检测晶片进行固定，真空吸盘与支撑板之间通过铰接件可进行九十度旋转，可实现对晶片边缘轮廓以及边缘厚度进行检测的优点，通过定位组件的设置，可以对晶片的检测角度进行固定。
附图说明
19.图1为本发明的结构示意图；
20.图2为本发明固定槽内部的局部结构示意图；
21.图3为本发明环形限位杆的结构示意图；
22.图4为本发明驱动组件的局部结构示意图；
23.图5为本发明晶片固定组件的结构示意图；
24.图6为本发明移动模组的结构示意图；
25.图7为本发明滑杆的结构示意图。
26.图中：1、底座；2、固定环；3、固定槽；4、连接圈；5、固定板；6、齿圈；7、驱动电机；8、驱动齿轮；9、led补光灯；10、伺服电机；11、槽道；12、螺纹杆；13、滑块；14、连接板；15、固定杆；16、旋转阻尼器；17、滑杆；18、支撑板；19、底板；20、真空吸盘；21、定位槽；22、定位柱；23、磁铁块；24、环形限位杆；25、通槽；26、移动槽。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.请参阅图1-7，本发明提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座1，底座1的顶部固定安装有晶片固定组件，晶片固定组件包括固定安装于底座1顶部的支撑板18，支撑板18的表面铰接有底板19，底板19的一侧固定安装有真空吸盘20，真空吸盘20与支撑板18之间通过定位组件进行定位，定位组件包括定位槽21和定位柱22，定位柱22固定安装于支撑板18的表面，定位槽21开设于底板19远离真空吸盘20的一侧，定位槽21的内腔固定安装有磁铁块23，定位柱22的一端贯穿定位槽21并延伸至定位槽21的内腔与磁铁块23磁吸在一起；
29.通过晶片固定组件的设置，可以对需要检测的晶片位置进行固定，以便于对其轮廓进行测试，通过真空吸盘20的设置，可以将将待检测晶片进行固定，本实施例中真空吸盘20通过接管与真空设备(如真空发生器等，未图示)接通，然后将待测试晶片与其接触，并启动真空设备抽吸，使吸盘内产生负气压，从而将待测试晶片吸牢，当使用者需要取下晶片时，可平稳地充气进真空吸盘20内，使真空吸盘20内由负气压变成零气压或稍为正的气压，真空吸盘20就可与晶片脱离；
30.本实施例中真空吸盘20与支撑板18之间通过铰接件铰接在一起，可以对晶片的检测角度进行调节，本实施例中支撑板18设置为l型，在支撑板18的顶部和侧面均固定安装有定位柱22，在需要对晶片的边缘轮廓进行检测时，可通过支撑板18侧面的定位柱22与磁铁块23磁吸在一起，在需要对晶片的边缘厚度进行检测时，可使支撑板18顶部的定位柱22与磁铁块23磁吸在一起，本实施例中晶片的旋转角度为九十度，可以有效对晶片的边缘轮廓和边缘厚度进行检测，本实施例中定位柱22为金属材质，可以与磁铁块23磁吸在一起；
31.底座1的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，调节模组包括固定环2，固定环2的内圈开设有固定槽3，固定槽3的内腔滑动连接有连接圈4，固定槽3内腔的两侧均固定安装有环形限位杆24，连接圈4的表面开设有与环形限位杆24相适配的限位槽，且限位槽的内壁与环形限位杆24的表面滑动连接，连接圈4的表面贯穿固定槽3并延伸至固定槽3的外部，光源模组固定安装于连接圈4的内圈上，光源模组包括led补光灯9，led补光灯9设置有四组，且四组led补光灯9等距固定安装于连接圈4的内圈上；
32.通过光源模组的设置，led补光灯9可以对晶片进行补光，以提升相机的采像效果，通过调节模组的设置，连接圈4与固定槽3滑动连接在一起，可以通过转动连接圈4对led补光灯9的使用位置进行调节，以提升补光效果，通过环形限位杆24和限位槽的配合使用，可以提升连接圈4转动的稳定性，有效对连接圈4起到了限位作用；
33.连接圈4通过驱动组件进行驱动，驱动组件包括固定板5和齿圈6，固定板5固定安装于固定环2的表面，齿圈6固定安装于连接圈4的外圈上，齿圈6与固定槽3的内壁滑动连接，固定板5的表面固定安装有驱动电机7，驱动电机7的输出轴固定安装有驱动齿轮8，驱动齿轮8的顶部贯穿固定环2并延伸至固定槽3的内腔与齿圈6的表面啮合，固定环2的底部开设有通槽25，通槽25的顶部与固定槽3的底部连通，驱动齿轮8的表面与通槽25的内腔滑动
连接，驱动齿轮8的顶部贯穿通槽25并延伸至固定槽3的内腔与齿圈6的表面啮合；
34.通过驱动组件的设置，在需要对led补光灯9的使用位置进行调节时，可通过外置控制器打开驱动电机7，驱动电机7的输出轴带动驱动齿轮8转动，驱动齿轮8的转动带动齿圈6转动，齿圈6的转动带动连接圈4转动，进而对led补光灯9的位置进行调整，通过通槽25的设置，可以为驱动齿轮8提供转动空间，通过固定板5的设置，可以便于安装驱动电机7；
35.移动模组包括伺服电机10和槽道11，伺服电机10固定安装于底座1一侧的前后两端，槽道11开设于底座1的内部，槽道11与伺服电机10呈对应设置，槽道11的内腔轴承支撑有螺纹杆12，伺服电机10的输出轴贯穿底座1并延伸至槽道11的内腔与螺纹杆12的一端固定安装，螺纹杆12的表面螺纹连接有滑块13，槽道11内腔的前后两侧均固定安装有滑杆17，滑块13的前后两侧均开设有与滑杆17相适配的滑槽，且滑槽的内壁与滑杆17的表面滑动连接，滑块13的顶部固定安装有连接板14，连接板14的顶端贯穿槽道11并延伸至底座1的上方，底座1的表面开设有与连接板14相适配的移动槽26，移动槽26的底部与槽道11的顶部连通，连接板14的表面与移动槽26的内壁滑动连接；
36.通过移动模组的设置，可以对调节模组和光源模组的使用位置进行调节，使用者在需要对调节模组和光源模组的使用位置进行调节时，可通过外置控制器打开伺服电机10，伺服电机10的输出轴带动螺纹杆12转动，螺纹杆12的转动带动滑块13在槽道11的内腔移动，滑块13的移动带动连接板14移动，连接板14的移动通过可调节连接组件带动调节模组和光源模组进行移动，进而实现对调节模组和光源模组的使用位置进行调节的目的，通过滑杆17和滑槽的配合使用，可以对滑块13进行限位，以提升滑块13移动的稳定性，通过移动槽26的设置，可以为连接板14提供移动空间；
37.连接板14通过可调节连接组件与固定环2连接在一起，可调节连接组件包括固定安装于固定环2前后两侧的固定杆15，固定杆15远离固定环2的一端与连接板14的表面轴承支撑，连接板14远离固定环2的一侧固定安装有旋转阻尼器16，固定杆15远离固定环2的一端贯穿连接板14并延伸至连接板14的外部与旋转阻尼器16的内圈固定安装，可调节连接组件包括固定安装于固定环2前后两侧的固定杆15，固定杆15远离固定环2的一端与连接板14的表面轴承支撑，连接板14远离固定环2的一侧固定安装有旋转阻尼器16，固定杆15远离固定环2的一端贯穿连接板14并延伸至连接板14的外部与旋转阻尼器16的内圈固定安装；
38.通过可调节连接组件的设置，可以对固定环2的角度进行调节，进而调整光源模组的使用角度，使用者在需要对光源模组的使用角度进行调节时，可转动固定环2，固定环2的转动可带动led补光灯9同步转动，对其使用角度进行调节，以提升补光效果，通过固定杆15的设置，固定杆15通过支撑轴承与连接板14转动连接在一起，可以便于对固定环2进行角度调节，通过旋转阻尼器16的设置，可以对固定环2的倾斜角度进行固定，使其以固定的倾斜角度进行补光工作。
39.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。