技术特征：
1.晶片边缘轮廓测试仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座(1)的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环(2)，所述固定环(2)的内圈开设有固定槽(3)，所述固定槽(3)的内腔滑动连接有连接圈(4)，所述连接圈(4)的表面贯穿固定槽(3)并延伸至固定槽(3)的外部，所述光源模组固定安装于连接圈(4)的内圈上，所述连接圈(4)通过驱动组件进行驱动；所述驱动组件包括固定板(5)和齿圈(6)，所述固定板(5)固定安装于固定环(2)的表面，所述齿圈(6)固定安装于连接圈(4)的外圈上，所述齿圈(6)与固定槽(3)的内壁滑动连接，所述固定板(5)的表面固定安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴固定安装有驱动齿轮(8)，所述驱动齿轮(8)的顶部贯穿固定环(2)并延伸至固定槽(3)的内腔与齿圈(6)的表面啮合。2.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述光源模组包括led补光灯(9)，所述led补光灯(9)设置有四组，且四组所述led补光灯(9)等距固定安装于连接圈(4)的内圈上。3.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述移动模组包括伺服电机(10)和槽道(11)，所述伺服电机(10)固定安装于底座(1)一侧的前后两端，所述槽道(11)开设于底座(1)的内部，所述槽道(11)与伺服电机(10)呈对应设置，所述槽道(11)的内腔轴承支撑有螺纹杆(12)，所述伺服电机(10)的输出轴贯穿底座(1)并延伸至槽道(11)的内腔与螺纹杆(12)的一端固定安装，所述螺纹杆(12)的表面螺纹连接有滑块(13)，所述滑块(13)的顶部固定安装有连接板(14)，所述连接板(14)的顶端贯穿槽道(11)并延伸至底座(1)的上方，所述连接板(14)通过可调节连接组件与固定环(2)连接在一起。4.根据权利要求3所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述可调节连接组件包括固定安装于固定环(2)前后两侧的固定杆(15)，所述固定杆(15)远离固定环(2)的一端与连接板(14)的表面轴承支撑，所述连接板(14)远离固定环(2)的一侧固定安装有旋转阻尼器(16)，所述固定杆(15)远离固定环(2)的一端贯穿连接板(14)并延伸至连接板(14)的外部与旋转阻尼器(16)的内圈固定安装。5.根据权利要求3所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述槽道(11)内腔的前后两侧均固定安装有滑杆(17)，所述滑块(13)的前后两侧均开设有与滑杆(17)相适配的滑槽，且滑槽的内壁与滑杆(17)的表面滑动连接。6.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述晶片固定组件包括固定安装于底座(1)顶部的支撑板(18)，所述支撑板(18)的表面铰接有底板(19)，所述底板(19)的一侧固定安装有真空吸盘(20)，所述真空吸盘(20)与支撑板(18)之间通过定位组件进行定位。7.根据权利要求6所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述定位组件包括定位槽(21)和定位柱(22)，所述定位柱(22)固定安装于支撑板(18)的表面，所述定位槽(21)开设于底板(19)远离真空吸盘(20)的一侧，所述定位槽(21)的内腔固定安装有磁铁块(23)，所述定位柱(22)的一端贯穿定位槽(21)并延伸至定位槽(21)的内腔与磁铁块(23)磁吸在一起。8.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述固定槽(3)内腔的两
侧均固定安装有环形限位杆(24)，所述连接圈(4)的表面开设有与环形限位杆(24)相适配的限位槽，且限位槽的内壁与环形限位杆(24)的表面滑动连接。9.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述固定环(2)的底部开设有通槽(25)，所述通槽(25)的顶部与固定槽(3)的底部连通，所述驱动齿轮(8)的表面与通槽(25)的内腔滑动连接，所述驱动齿轮(8)的顶部贯穿通槽(25)并延伸至固定槽(3)的内腔与齿圈(6)的表面啮合。10.根据权利要求3所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述底座(1)的表面开设有与连接板(14)相适配的移动槽(26)，所述移动槽(26)的底部与槽道(11)的顶部连通，所述连接板(14)的表面与移动槽(26)的内壁滑动连接。
技术总结
本发明公开了晶片边缘轮廓测试仪，属于晶片检测设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环；本发明通过可调节光源组件的设置，移动模组可以对光源模组的位置进行移动，光源模组通过LED补光灯可对晶片进行补光，调节模组可以对光源模组的使用位置进行调节，通过可调节连接组件的设置，可以对光源模组的使用角度进行调节，通过本组件的设置，可以便于对LED补光灯的使用位置以及角度进行调节，有效提高了补光效果，进而提升相机的采像效果。进而提升相机的采像效果。进而提升相机的采像效果。
技术研发人员：潘金平 肖世豪 沈益军 张立安 饶伟星 许琴
受保护的技术使用者：浙江海纳半导体有限公司
技术研发日：2021.11.23
技术公布日：2022/1/14