力检测器以及力检测系统的制作方法

文档序号:30583885发布日期:2022-06-29 14:22阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种力检测器,包括:层状结构,该层状结构包括:第一层,该第一层包括接收待检测的力的检测面;以及第二层,该第二层设置在与所述检测面相对的面上,其中所述第一层的杨氏模量与所述第二层的杨氏模量不同;应力发生器,该应力发生器在所述层状结构中形成,并且该应力发生器:接收沿所述检测面的切线方向作用的力;并且在所述应力发生器周围生成关于所述检测面的法线方向呈不对称分布的应力;以及多个传感器,该多个传感器设置在所述应力发生器周围。2.根据权利要求1所述的力检测器,其中,所述多个传感器通过嵌入具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层的内部来设置。3.根据权利要求1或2所述的力检测器,其中,具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的突起。4.根据权利要求1或2所述的力检测器,其中,具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的空隙。5.根据权利要求1或2所述的力检测器,还包括:力分散层,该力分散层堆叠在所述第一层的所述检测面上,并且由杨氏模量大于所述第一层的材料形成。6.根据权利要求5所述的力检测器,其中,将从所述力分散层向所述第一层突出而形成的力分散层突起用作所述应力发生器。7.根据权利要求3所述的力检测器,其中,所述多个传感器被设置为围绕所述突起的顶点。8.根据权利要求1所述的力检测器,其中,具有较大杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的凹槽。9.根据权利要求1所述的力检测器,其中,所述第一层的杨氏模量小于所述第二层的杨氏模量,其中,所述第一层是检测层,并且其中,所述第二层是支撑所述检测层的支撑层。10.根据权利要求9所述的力检测器,还包括:导线,该导线与所述多个传感器连接,并且通过嵌入所述检测层来设置。11.一种力检测系统,包括:根据权利要求1所述的力检测器;以及计算设备,该计算设备基于所述力检测器的输出和预定的校正值执行计算作用在所述力检测器上的力的值的计算处理。
12.根据权利要求11所述的力检测系统,其中,所述多个传感器通过嵌入具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层的内部来设置。13.根据权利要求11或12所述的力检测系统,其中,具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的突起。14.根据权利要求11或12所述的力检测系统,其中,具有较小杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的空隙。15.根据权利要求11或12所述的力检测器系统,还包括:力分散层,该力分散层堆叠在所述第一层的所述检测面上,并且由杨氏模量大于所述第一层的材料形成。16.根据权利要求15所述的力检测系统,其中,将从所述力分散层向所述第一层突出而形成的力分散层突起用作所述应力发生器。17.根据权利要求13所述的力检测系统,其中,所述多个传感器被设置为围绕所述突起的顶点。18.根据权利要求11所述的力检测系统,其中,具有较大杨氏模量的所述第一层或所述第二层具有用作所述应力发生器的凹槽。19.根据权利要求11所述的力检测系统,其中,所述第一层的杨氏模量小于所述第二层的杨氏模量,其中,所述第一层是检测层,并且其中,所述第二层是支撑所述检测层的支撑层。20.根据权利要求19所述的力检测系统,还包括:导线,该导线与所述多个传感器连接,并且通过嵌入所述检测层来设置。

技术总结
本公开提供了一种力检测器,该力检测器包括:包括第一层和第二层的层状结构,第一层具有待检测的力作用在其上的检测面,第二层设置在第一层的与所述检测面相对的面上,并且由杨氏模量与第一层不同的材料形成;应力发生器,该应力发生器在层状结构中形成,并且被配置为接收沿检测面的切线方向作用的力并且在应力发生器周围生成关于检测面的法线方向呈不对称分布的应力;以及多个传感器,该多个传感器分布并布置在应力发生器周围。分布并布置在应力发生器周围。分布并布置在应力发生器周围。


技术研发人员:浓野友人
受保护的技术使用者:横河电机株式会社
技术研发日:2021.12.22
技术公布日:2022/6/28
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