技术特征：
1.一种检测设备，其特征在于，包括：定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，用于产生定位光束，所述定位光束经待测物的待测目标之后形成定位信号光；成像组件，包括第一成像单元，用于探测至少部分所述定位信号光并根据探测的定位信号光形成第一定位图像；第二成像单元，用于探测至少部分所述定位信号光并根据探测的定位信号光形成第二定位图像；所述第一成像单元和第二成像单元的放大倍数不同；处理模块，用于根据所述第一定位图像和/或第二定位图像对所述待测目标进行定位，获取待测目标的位置信息；检测模块，用于根据所述位置信息对所述待测目标进行检测。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元包括：第一管镜和第一图像采集器，所述第一管镜用于使所述定位信号光汇聚至所述第一图像采集器，所述第一管镜与第一图像采集器之间具有第一距离；所述第二成像单元包括：第二管镜和第二图像采集器，所述第二管镜用于使定位信号光汇聚至所述第二图像采集器，所述第二管镜与第二图像采集器之间具有第二距离；所述第一管镜和第二管镜的焦距不同，和/或所述第一距离和第二距离不同。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，第一成像单元和第二成像单元还包括物镜，所述物镜用于收集所述定位信号光；第一分束器，用于对所述物镜收集的定位信号进行分光，使至少部分第一定位信号光沿第一路径到达所述第一成像单元，至少部分第二定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一距离为第一管镜的焦距，所述第二距离为所述第二管镜的焦距。5.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述物镜还用于接收所述定位光束使所述定位光束汇聚至待测物。6.根据权利要求1～5任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测模块包括：检测光源，用于向待测物发射检测光束，所述检测光束经待测物后形成检测信号光；探测组件，用于接收所述检测信号光，并根据所述检测信号光对所述待测物进行检测；所述检测设备还包括：第三分束器，用于使所述检测信号光与定位信号光分束；第四分束器，用于使所述检测光束反射至待测物，并使所述检测信号光透过至所述探测组件；或者，用于使所述检测光束透射至待测物，并使所述检测信号光反射至所述探测组件。7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括物镜时，所述物镜还用于接收所述检测光束使所述检测光束汇聚至待测物，并收集所述检测信号光，所述探测组件用于探测所述物镜收集的检测信号光。8.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述检测光源为宽光谱光源，所述探测组件为光谱仪，所述检测模块用于检测待测目标的厚度。9.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元的放大倍数大于第二成像单元的放大倍数，所述检测设备还包括控制模块；所述控制模块被配置为：当所述待测目标的尺寸处于第一预设尺寸范围时，使所述第一成像单元根据定位信号
光形成第一定位图像；并使所述处理模块根据所述第一定位图像获取所述待测目标的位置信息，得到第一位置信息；使所述检测模块根据所述第一位置信息对待测目标进行定位后对待测目标进行检测；当所述待测目标的尺寸处于第二预设尺寸范围时，使所述第二成像单元根据定位信号光形成第二定位图像；并使所述处理模块根据所述第二定位图像获取所述待测目标的位置信息，得到第二位置信息；使所述检测模块根据所述第二位置信息对待测目标进行定位后对待测目标进行检测；所述第一预设尺寸范围的上限小于或等于第二预设尺寸范围下限。10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述处理模块还用于根据所述第一位置信息和/或第二位置信息对待测目标的检测路径进行规划，使检测路径的长度最小或小于预设阈值。11.据权利要求10所述的检测设备，其特征在于，所述控制模块具体用于：控制所述第一成像组件对待测物进行扫描，获取待测物中各待测目标的待测图像；所述处理模块具体用于根据所述待测图像获取各待测目标的尺寸，并获取尺寸位于所述第一预设尺寸范围的待测目标作为复检目标；将所述复检目标的位置信息反馈给所述控制模块；根据所述待测图像获取位于所述第二预设尺寸范围的待测目标的待测图像作为所述第一定位图像；所述控制模块还用于使所述第二成像单元根据所述复检目标的位置信息探测复检目标的定位信号光，获取所述复检目标的第二定位图像。12.据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括：第二分束器，用于使定位光束反射后到达待测物，并使所述定位信号光透射后达到所述成像组件；或者，使定位光束头透射后到达待测物，并使所述定位信号光反射后达到所述成像组件。
技术总结
本实用新型提供一种检测设备，包括：定位模块，所述定位模块包括：成像组件，包括第一成像单元，用于探测至少部分所述定位信号光并根据探测的定位信号光形成第一定位图像；第二成像单元，用于探测至少部分所述定位信号光并根据探测的定位信号光形成第二定位图像；所述第一成像单元和第二成像单元的放大倍数不同；处理模块，用于根据所述第一定位图像和/或第二定位图像对所述待测目标进行定位，获取待测目标的位置信息；检测模块，用于根据所述位置信息对所述待测目标进行检测。能够对不同尺寸的待测目标的精确定位，提高检测模块的检测精度。度。度。
技术研发人员：王秋实 王南朔 卢继奎 马砚忠 张嵩 陈鲁
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2021.07.02
技术公布日：2022/1/14