专利名称:质谱计与真空计复合电源的制作方法
本发明属于一种可进行真空度测量的小型质谱计。
质谱计和真空计通常是配备在一起工作的，若质谱计本身能测量真空度，就能省去一台真空计，这对大量应用的小型质谱计来说，有很大经济价值。目前研究的主要是四极质谱计，其研究结果可归纳成两类一是用其积分谱进行真空度测量〔西德AMP——3型，中国北京分析仪器厂小型四极质谱计〕；另一种方法是在离子源中再设置一个独立的作真空度测量的离子收集极〔日本ANELVA公司产，四极质谱计〕。上述两种方法的共同缺点是离子源的污染，质谱计参数的调整都会影响压强的刻度值，更重要的是共用一根质谱管灯丝，进行真空度测量时会污染离子源和质量分析器，并有可能烧毁灯丝，以致损坏价贵的质谱管。
本发明的目的在于研制一种具有常规热阴极电离真空计电源功能的质谱计电源。
在质谱计和热阴极电离真空计电源中，两者都有功能相同的阴极发射电流稳定器和离子流放大器，质谱计离子源供电电源和质量扫描电路的供电电源与真空计电极供电电源可方便地相互变换。因此，通过转换开关就能实现把质谱计电路变换成热阴极电离真空计电源。同样，一台热阴极真空计电源在增加质量扫描电路后，就可以转换成质谱计电源。压强传感器采用真空计规管。
该复合电源作真空计应用时，因压强传感器是真空计规管，
故能测出正确的真空度，并能免去其用质谱管灯丝的缺点。
附图是复合电源的原理图。
本发明所述的质谱计可为四极质谱计，也可为小型磁质谱计，真空计规管是热阴极电离规。图中采用四极质谱计(1)和B－A型真空计规管(2)，离子流放大器(3)和阴极发射电流稳定器(4)两电路通用，离子源电极电压分配器(5)，仍保留质谱计专用。
离子源供电的整流电源E1经稳压管BG1和BG2稳定的250伏电压为真空计规管的栅极电压。质量扫描电路的电源电压E2与E1串联后作真空计规管的电子轰击除气电源。稳压管BG3的100伏稳定电压为真空计规管的离子收集极电压，它与阴极发射电流值的大小无关，故能有可变发射电流工作的优点。离子流放大器按装在质谱管上，通过继电器J转接到真空计规管的离子收集极。继电器的线包供电取自离子流放大器的一组电源E3。R1·R2和R3分别为质谱计、真空计测量和真空计除气时的取样电阻。转换开关S1的位置是a－质谱计；b－真空度测量；c－真空计除气。
权利要求
1.一种质谱计和真空计复合电源由质谱计电源和热阴极电离真空计电源组成，其特征在于复合电源中，离子流放大器[3]和阴极发射电流稳定器[4]通用，质谱计离子源和真空计规管的电极供电电源用开关[S1]转换，压强传感器采用真空计规管。
2.按照权利要求
1所述的复合电源，其特征是质谱计电源可为四极质谱计电源，也可为磁质谱计电源。
3.按照权利要求
1所述的复合电源，其特征是真空计规管是热阴极电离真空计规管。
4.按照权利要求
3所述的复合电源，其特征在于真空计规管可为B－A型电离真空计规管。
专利摘要
质谱计与真空计复合电源属于一种可以进行真空度测量的小型质谱计。质谱计电源通过转换开关变换成谱通热阴极电离真空计电流，它既保持了质谱计的原有功能，又可以配用普通热阴极电离真空计规管作精确真空度测量。解决了在质谱计离子源中设置一个离子收集极，或用四极质谱计积分谱作真空度测量的不准确性等缺点。
文档编号H01J49/26GK85200266SQ85200266
公开日1985年12月20日 申请日期1985年4月1日
发明者毛福明, 徐巾奎 申请人:南京工学院, 南京分析仪器厂导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan