专利名称：用于质谱仪的真空腔系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及质谱仪领域，具体的涉及一种用于质谱仪的真空腔系统。
背景技术：
质谱仪又称质谱计，一种分离和检测不同同位素的仪器，即根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。电离后的分子因接受了过多的能量会进一步碎裂成较小质量的多种碎片离子和中性粒子。它们在加速电场作用下获取具有相同能量的平均动能而进入质量分析器。质量分析器是将同时进入其中的不同质量的离子，按质荷比m/z大小分离的装置。分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制成质谱图。离子源、质量分析器和离子检测器都各有多种类型。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪；按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。质谱仪的真空度是影响离子运动速率的重要因素，真空度不足容易导致离子与气体分子碰撞，从而降低离子的运动速率，对质量分析器的电信号和检测器电信号之间对应关系的影响主要是体现时间对应性等方面从而影响质量准确度，同时真空度不足导致的离子运动速率变化也会影响质谱仪的分辨率。但现有质谱仪的真空腔的设计普遍存在真空度不足的问题。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种用于质谱仪的真空腔系统，该系统可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本发明采用如下技术方案—种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔，所述真空腔通过一连接腔连接一分子泵，所述分子泵连接一不锈钢管。优选的，所述真空腔还连接一真空规。优选的，所述真空腔两端设有端盖，所述端盖与真空腔连接处加设有0型密封圈。优选的，所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。
优选的，所述真空腔使用的是铝材料。与现有技术相比，本发明的用于质谱仪的真空腔系统采用分子泵来产生高真空， 通过采用高精度的表面粗糙度(0. 8-1. 6)，避免表面的高吸附性对真空的影响，以及使用铝材料使得质量非常的轻，表面吸附少，同时使用密封圈对真空腔进行密封，减少了成本以及拆装方便。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。
图1为本发明的用于质谱仪真空腔系统的结构示意图。图2为本发明的用于质谱仪真空腔系统的真空腔的剖视图。图中标号说明1.真空腔，2.分子泵，3.不锈钢管，4.真空规，5.连接腔，6.0型密封圈，7.端盖。
具体实施例方式下面结合附图，对本发明的优选实施例进行详细的介绍。请参见图1，图2所示，一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔1，所述真空腔1通过一连接腔5连接一分子泵2，所述分子泵2连接一不锈钢管3。优选的，所述真空腔1还连接一真空规4。优选的，所述真空腔1两端设有端盖7，所述端盖7与真空腔1连接处加设有0型密封圈6。优选的，所述真空腔1的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。优选的，所述真空腔1使用的是铝材料。以上对本发明实施例所提供的用于质谱仪的真空腔系统进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，因此凡依本发明设计思想所做的任何改变都在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于包括一真空腔(1)，所述真空腔(1)通过一连接腔( 连接一分子泵O)，所述分子泵( 连接一不锈钢管(3)。
2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于所述真空腔(1)还连接一真空规(4)。
3.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于所述真空腔(1)两端设有端盖(7)，所述端盖(7)与真空腔(1)连接处加设有0型密封圈(6)。
4.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于 所述真空腔(1)的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。
5.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于 所述真空腔(1)材料为型号为6061的铝材料。
全文摘要
本发明公开了一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔，所述真空腔通过一连接腔连接一分子泵，所述分子泵连接一不锈钢管，所述真空腔还连接一真空规，所述真空腔两端设有端盖，所述端盖与真空腔连接处加设有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0.8-1.6，所述真空腔使用的是铝材料。本发明的用于质谱仪的真空腔系统结构简单，易于拆装，可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。
文档编号H01J49/24GK102280350SQ20101019401
公开日2011年12月14日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者任建凯, 胡晓斌 申请人:江苏天瑞仪器股份有限公司