专利名称：用于质谱仪的真空腔系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及质谱仪领域，具体的涉及一种用于质谱仪的真空腔系统。
背景技术：
质谱仪又称质谱计，一种分离和检测不同同位素的仪器，即根据带电粒子在电磁 场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测物质组成 的一类仪器。质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在 高真空条件下离子化的装置。电离后的分子因接受了过多的能量会进一步碎裂成较小质量 的多种碎片离子和中性粒子。它们在加速电场作用下获取具有相同能量的平均动能而进入 质量分析器。质量分析器是将同时进入其中的不同质量的离子，按质荷比m/z大小分离的 装置。分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制成质谱 图。离子源、质量分析器和离子检测器都各有多种类型。质谱仪按应用范围分为同位素质 谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪；按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作 原理分为静态仪器和动态仪器。质谱仪的真空度是影响离子运动速率的重要因素，真空度不足容易导致离子与气 体分子碰撞，从而降低离子的运动速率，对质量分析器的电信号和检测器电信号之间对应 关系的影响主要是体现时间对应性等方面从而影响质量准确度，同时真空度不足导致的离 子运动速率变化也会影响质谱仪的分辨率。但现有质谱仪的真空腔的设计普遍存在真空度 不足的问题。
实用新型内容为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于质谱仪的真空腔 系统，该系统可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本实用新型采用如下技术方案一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔，所述真空腔通过一连接腔连接 一分子泵，所述分子泵连接一不锈钢管。优选的，所述真空腔还连接一真空规。优选的，所述真空腔两端设有端盖，所述端盖与真空腔连接处加设有0型密封圈。优选的，所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。优选的，所述真空腔使用的是铝材料。与现有技术相比，本实用新型的用于质谱仪的真空腔系统采用分子泵来产生高真 空，通过采用高精度的表面粗糙度(0. 8-1. 6)，避免表面的高吸附性对真空的影响，以及使 用铝材料使得质量非常的轻，表面吸附少，同时使用密封圈对真空腔进行密封，减少了成本 以及拆装方便。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技 术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。
图1为本实用新型的用于质谱仪真空腔系统的结构示意图。图2为本实用新型的用于质谱仪真空腔系统的真空腔的剖视图。图中标号说明1.真空腔，2.分子泵，3.不锈钢管，4.真空规，5.连接腔，6.0型密 封圈，7.端盖。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型的优选实施例进行详细的介绍。请参见图1，图2所示，一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔1，所述真 空腔1通过一连接腔5连接一分子泵2，所述分子泵2连接一不锈钢管3。优选的，所述真空腔1还连接一真空规4。优选的，所述真空腔1两端设有端盖7，所述端盖7与真空腔1连接处加设有0型 密封圈6。优选的，所述真空腔1的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。优选的，所述真空腔1使用的是铝材料。以上对本实用新型实施例所提供的用于质谱仪的真空腔系统进行了详细介绍，对 于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式
及应用范围上 均会有改变之处，因此凡依本实用新型设计思想所做的任何改变都在本实用新型的保护范 围之内。
权利要求1.一种用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于包括一真空腔(1)，所述真空腔(1)通 过一连接腔( 连接一分子泵O)，所述分子泵( 连接一不锈钢管(3)。
2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于所述真空腔(1)还 连接一真空规(4)。
3.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于所述真空腔(1)两 端设有端盖(7)，所述端盖(7)与真空腔(1)连接处加设有0型密封圈(6)。
4.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于 所述真空腔(1)的表面粗糙度Ra达到0. 8-1. 6。
5.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于 所述真空腔(1)材料为铝材料。
专利摘要本实用新型公开了一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔，所述真空腔通过一连接腔连接一分子泵，所述分子泵连接一不锈钢管，所述真空腔还连接一真空规，所述真空腔两端设有端盖，所述端盖与真空腔连接处加设有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0.8-1.6，所述真空腔使用的是铝材料。本实用新型的用于质谱仪的真空腔系统结构简单，易于拆装，可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。
文档编号H01J49/04GK201829450SQ20102021807
公开日2011年5月11日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者任建凯, 胡晓斌 申请人:江苏天瑞仪器股份有限公司