于线圈间距P的η倍的区间)内的最初(第I个)的线圈间距P的始端位置所对应的检测位置时的时间设为h。
[0152]将取得了上述预定移动区间(相当于线圈间距P的η倍的区间)内的最后(第η个:例如第256个)的线圈间距ρ的末端位置所对应的检测位置时的时间设为tfT。
[0153]S卩，时间T是在一定速度判断处理(第I 一定速度判断方法或第2 —定速度判断方法或第3 —定速度判断方法)中叙述的移动时间！\或T 2。
[0154]将上述预定移动区间(相当于线圈间距P的η倍的区间)的最初(第I个)的线圈间距P的始端位置所对应的检测位置Xatl)设为基准检测位置。
[0155]将取得该基准检测位置XUtl)起的经过时间t(m)设为t(m) = O?T。
[0156]m为索引编号(O及正的整数)。例如，在索引编号m为O的情况下，t(0) =O0若将索引编号m的最大值设为IV则t (mm) = T0
[0157]索引编号m对应于取得了校正数据E (m)的计算所使用的检测位置数据的上述预定移动区间(相当于线圈间距P的η倍的区间)的从最初(第I个)的线圈间距P的始端位置到最后(第η个)的线圈间距P的末端位置为止的各线圈间距位置。即，m = O对应于最初(第I个)的线圈间距P的始端位置，m = mm对应于最后(第η个)的线圈间距ρ的末端位置，之间的m = 1、2、3、--^m111-1对应于从最初(第I个)的线圈间距P的始端位置到最后(第η个)的线圈间距ρ的末端位置之间的各线圈间距位置。
[0158]并且，建立索引编号m与时间t(m)或检测位置X(tQ+t (m))的对应关系。
[0159]例如，在将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的情况下，只要将At固定并使t(m) =111*八七即可，在将索引编号111与检测位置父&(^(111))建立对应关系的情况下，只要将 Δ X 固定并使 X (tQ+t (m)) = X (t。)+m* Δ X 即可。
[0160]移动体21(滑尺12)以一定速度S移动时的检测位置XajtOii))所对应的理想位置Xi(tQ+t(m))可以如下述的(28)式那样表示。
[0161]Xi (t0+t (m)) ^ X (t0) +S*t (m) (28)
[0162]S卩，判断为以一定速度S进行了移动的上述预定移动区间(相当于线圈间距P的η倍的区间)内的初期的检测位置XUtlM最初(第I个)的线圈间距P的始端位置所对应的检测位置)为基准，向该基准检测位置X Utl)加上一定速度S与时间t(m)的相乘值S*t(m)所得到的值即XatlHS^ (m)是接近于理想位置Xiadt (m))的值。将接近于该理想位置Xi (t0+t (m))的位置X (t0) +S*t (m)称为近似理想位置。
[0163]将索引编号m下的校正数据设为E(m)。
[0164]若如下述的(29)式那样从理想位置XiW+tOn))减去检测位置X (tft (m))，则能够得到理想的校正数据E(m)。然而，无法获知与检测位置XadtOn))对应的理想位置Xi (t0+t (m))。
[0165]E (m) = Xi (t0+t (m)) -X (t0+t (m)) (29)
[0166]另一方面，关于接近于理想位置Xi (h+tOn))的近似理想位置Xaj+S^tOn)，X(to)是在检测位置取得处理中取得的检测位置数据，一定速度S及时间t(m)是已知的值，因此能够基于它们算出。
[0167]因此，若取代理想位置Xi (t0+t (m))而使用近似理想位置X (t0) +S*t (m)，基于下述的(30)式，从近似理想位置XatlHS^ (m)减去检测位置X (h+tOn))，则能够得到接近于理想的校正数据E(m)。
[0168]E (m) = X (t0) +S*t (m) -X (t0+t (m)) (30)
[0169]因此，对应于索引编号m而求出X (t0) +S*t (m)和X (t0+t (m)),使用这些X (t0) +S*t (m)和X(tQ+t(m)),通过上述的(30)式来算出校正数据E (m)。
[0170]此时，作为对应于索引编号m而求出X(tQ)+S*t(m)和X(tQ+t(m))的方法，存在前述那样将At固定而将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的方法、将Δ X固定而将索引编号m与检测位置X (t0+t (m))建立对应关系的方法。
[0171]在图4(a)的表中，示出通过将At固定并将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的方法，对应于索引编号m而求出X(tQ)+S*t(m)和X(tQ+t(m))时的例子。
[0172]在图4(a)的表中，在m = O的情况下，
[0173]t (m) = m* Δ t 为 t (O) =0，
[0174]X(t0+t (m))为 X(t0+t (O)) =X(t0),
[0175]X (t0) +S*t (m)为 X (t。)+S*t (0) =X(t0)。
[0176]因此，E(m)根据(30)式，成为E(O) = X(t0)_X(t0) = 0。
[0177]在图4(a)的表中，在m = I的情况下，
[0178]t (m) =m*At 为 t(l) = At,
[0179]X (t0+t (m))为 X(t0+t ⑴)=Χ(?0+Δ t),
[0180]X (t0)+S*t (m)为 X(t0)+S*t(l) = X (t0)+S* Δ t。
[0181]因此，E(m)根据(30)式，成为E(I) = X (t。)+S* Λ t_X (t。+Λ t)。
[0182]在图4(a)的表中，在m = 2的情况下，
[0183]t (m) = m* Δ t 为 t (2) = 2* Δ t,
[0184]X (t0+t (m))为 X(t0+t ⑵)=X (t0+2* Δ t),
[0185]X (t0)+S*t (m)为 X (t0)+S*t (2) = X (t0)+S*2* Δ t。
[0186]因此，E(m)根据(30)式，成为E(m) = X (tQ)+S*2* Λ t_X (tQ+2* Λ t)。
[0187]在图4(a)的表中，在m = 3的情况下，
[0188]t (m) = m* Δ t 为 t (3) = 3* Δ t,
[0189]X (t0+t (m))为 X(t0+t(3)) = X (t0+3* Δ t),
[0190]X (t0)+S*t (m)为 X (t0)+S*t (3) = X (t0)+S*3* Δ t。
[0191]因此，E(m)根据(30)式，成为E(m) = X (tQ)+S*3* Λ t_X (tQ+3* Λ t)。
[0192]以下，虽然在图4(a)的表中省略记载，但是m = 4、5、…、Hi111的情况也同样，
[0193]在图4(a)的表中，在m = Hini的情况下，
[0194]t (m) = m* Δ t 为 t (mm) = mm* At = T,
[0195]X (t0+t (m))为 X(t0+t(mJ) = X(t0+T),
[0196]X(t0)+S*t(m)为 X (t0)+S*t (mm) =X(t0)+S*T。
[0197]因此，E(m)根据(30)式，成为E(m) = X (tQ)+S*T_X (tQ+T)。
[0198]另外，t(m) = 0、Δ t、2* Δ t、3* Δ t、…、T通过m* Δ t来得到。即，将取得了检测位置Xatl)时的时间h设为基准时间(ο)，得到作为从该基准时间(ο)起每经过At时间的时间 At、2*At、3*At、...、T。
[0199]X (t0+t (m)) = X(t0)、X(t0+At)、X(t0+2*At)、X(t0+3*At)、…、X(tQ+T)作为在时间h得到的检测位置X (t 0)和之后每经过Λ t时间的检测位置Xatl+Λ t) ,X(t0+2* Δ t)、X(t0+3*At)、...、X(t0+T)而被得到。
[0200]在图4(b)的表中，示出通过将Λχ固定并将索引编号m与检测位置Xac^t(Hi))建立对应关系的方法，对应于索引编号m而求出X(tQ)+S*t(m)和X(tQ+t(m))的情况的例子。
[0201]在图4(b)的表中，在m = O的情况下，
[0202]t(m)为 t(0)=0，
[0203]X (t0+t (m)) =X (t0) +m* Δ x 为 X (t0+t (0)) =X (t0)，
[0204]X (t0) +S*t (m)为 X (t0) +S*t (0) = X (t0)。
[0205]因此，E(m)根据(30)式，成为E(O) = X(t0)_X(t0) = O。
[0206]在图4(b)的表中，在m = I的情况下，
[0207]t(m)为 t⑴，
[0208]X (t0+t (m)) = X (t0)+m* Δ X 为 X (t0+t (I)) = X (t0) + Δ χ,
[0209]X(t0)+S*t(m)为 X(t0)+S*t(l)。
[0210]因此，E(m)根据(30)式，成为E(I) = X (tQ)+S*t (I)-X (tQ) + Λ X。
[0211]在图4(b)的表中，在m = 2的情况下，
[0212]t(m)为 t(2)，
[0213]X (t0+t (m)) = X (t0)+m* Δ χ 为 X (t0+t (2)) =Χ(?0)+2*Δχ,
[0214]X (t0) +S*t (m)为 X (t0) +S*t (2)。
[0215]因此，E(m)根据(30)式，成为E (2) = X (tQ)+S*t ⑵-X (tQ)+2* Λ χ。
[0216]在图4(b)的表中，在m = 3的情况下，
[0217]t (m)为 t ⑶，
[0218]X (t0+t (m)) = X (t0)+m* Δ χ 为 X (t0+t (3)) = X (t0) +3* Δ χ,
[0219]X (t0) +S*t (m)为 X (t0) +S*t (3)。
[0220]因此，E(m)根据(30)式，成为 E (3) =X (t0) +S*t (3) -X (t0) +3* Λ χ。
[0221]以下，在图4(b)的表中虽然省略记载，但是m = 4、5、…、Hini的情况也同样，
[0222]在图4(b)的表中，在m = Hini的情况下，
[0223]t(m) = t(mm) = T,
[0224]X (t0+t (m)) = X (t0)+m* Δ χ 为 X (t0+t (mm)) = X(t0+T) = X (t0)+mm* Δ x，
[0225]X(t0)+S*t(m)为 X (t0)+S*t (mm) =X(t0)+S*T。
[0226]因此，E(m)根据(30)式，成为E(m) = X(tQ)+S*T_X(tQ)+mm* Δ χ。
[0227]另夕卜，X(t0+t (m)) = X (t0) +m* Δ χ = X (t0)、X (t0) + Δ χ、X (t0)+2* Δ χ、X(t0) +3*ΔΧ>…、Χα^+π^Λχ作为在时间h得到的检测位置Xatl)、之后的每移动量Λχ的检测位置 X(tQ) + Ax、X(t(l)+2*Ax、X(tQ)+3*Ax、...、X (t0)+mm* Δ χ 而得到。
[0228]t (m) = t (O)