数的材料的接触机构。
[0082]利用诸如根据本实施例等的可装配盖，例如，甚至可以将该可装配盖装配至已具有探测器盖的探测器，由此实现能够抑制二次反射的探测器。
_3] 其它实施例
[0084]本发明不限于上述实施例，并且可以使用各种其它实施例。
[0085]在上述实施例中，将构成探测器盖的表面的各面描述为“顶面”、“底面”和“侧面”；然而，该表示法仅是为了便于理解而使用的。例如，在不是装配至如图1所示的形状测量设备100、而是将探测器装配至多关节臂并且作业人员手动操作该臂以进行测量的情况下，探测器的姿势不限于上/下和左/右方向，而是可以具有任意姿势。
[0086]作为根据上述实施例的照射光学系统20的光源，使用生成相干光的激光二极管21 ;然而，还可以使用LED(发光二极管)等。
[0087]根据上述实施例的线性光生成元件23是棒状透镜；然而，作为代替，还可以使用诸如DMD、检电镜元件或多面镜元件等的能够以线状扫描光的光扫描元件。
[0088]根据上述实施例的探测器应用Scheimpflug光学系统的原理；然而，探测器不必局限于此，并且作为代替，可以采用通用的反射型光传感器。
[0089]图12A、12B和13所示的探测器盖95的形状不限于圆弧块形状。例如，探测器盖的整体形状还可以是长方体形状，并且底面(相对区域)可以由多个面构成。
[0090]在根据上述实施例的形状测量设备100中，将探测器的姿势设置成使得照射光学系统20的出射光轴位于沿着Z方向；然而，探测器的姿势还可以被设置成使得出射光轴倾斜。
[0091 ] 还可以组合上述各实施例的至少两个特性特征。
[0092]注意，已提供的上述示例仅用于说明的目的，并且决没有被构造成对本发明进行限制。尽管已参考典型实施例说明了本发明，但应当理解，这里已使用的词语是用于描述和说明的词语，而不是用于进行限制的词语。在没有背离本发明的各方面的精神和范围的情况下，可以在如当前陈述和修改的权利要求书的界限内进行改变。尽管这里已参考特定结构、材料和实施例说明了本发明，但本发明并不意图局限于这里所公开的细节；相反，本发明扩展至诸如处于所附权利要求书的范围内等的在功能上等同的所有结构、方法和用途。
[0093]本发明不限于上述实施例，并且可以在没有背离本发明的范围的情况下进行各种改变和修改。
_4] 相关串请的交叉引用
[0095] 本申请根据要求2014年2月7日提交的日本申请2014-022768的优先权，在此通过引用明确包含其全部内容。
【主权项】
1.一种光学探测器，包括: 探测器盖，其包括: 与被测物相对的相对区域；以及 出射区域和入射区域，用于使光穿过，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；以及 光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物所反射的光， 其中，所述探测器盖的至少所述相对区域包括用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。
2.根据权利要求1所述的光学探测器，其中， 所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的平面，以及 所述面相对于所述光学系统的出射光轴而倾斜。
3.根据权利要求2所述的光学探测器，其中，所述平面相对于所述出射光轴成45°以上且85°以下的角度。
4.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的凸面或者是设置在所述出射区域和所述入射区域之间的凸面。
5.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的台阶状的面。
6.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，还包括可装配盖，所述可装配盖能够相对于所述探测器盖进行装配和拆卸以覆盖所述相对区域，并且所述可装配盖具有用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光在远离所述入射区域的方向上反射的面。
7.一种可装配盖，包括: 安装部，用于连接至探测器盖，所述探测器盖包括与被测物相对的相对区域、以及用于使光穿过的出射区域和入射区域，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中； 相对部，其包括: 开口，在所述可装配盖安装在所述探测器盖上以覆盖所述相对区域的状态下，所述开口分别与所述出射区域和所述入射区域相对，从而使得来自所述出射区域的出射光和入射到所述入射区域的测量光穿过；以及 用于使所述被测物所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。
8.根据权利要求7所述的可装配盖，其中， 所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的平面，以及 所述面相对于所述探测器盖内所设置的光学系统的出射光轴而倾斜，其中所述光学系统经由所述出射区域使光射出，并且经由所述入射区域接收被测物所反射的光。
9.根据权利要求8所述的可装配盖，其中，所述平面相对于所述出射光轴成45°以上且85°以下的角度。
10.根据权利要求7所述的可装配盖，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的凸面或者是设置在所述出射区域和所述入射区域之间的凸面。
11.根据权利要求7所述的可装配盖，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的台阶状的面。
12.—种形状测量设备，包括: 光学探测器，其包括: 探测器盖，其具有与被测物相对的相对区域，并且还具有用于使光穿过的出射区域和入射区域，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；以及 光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物所反射的光； 台，用于承载被测物；以及 测量处理器，用于基于所述光学探测器所获得的信号，来测量放置在所述台上的被测物的形状， 其中，所述探测器盖的至少所述相对区域包括用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。
【专利摘要】本发明涉及一种光学探测器、可装配盖和形状测量设备。该光学探测器包括探测器盖，其中在该探测器盖内，安装了具有照射光学系统和接收光学系统的光学系统。向探测器盖的形成与工件相对的相对区域的底面设置用于使光穿过的出射区域和入射区域。该底面形成了从工件所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自出射区域的出射光照射在工件上的位置起、在远离入射区域的方向上反射的面。因此，可以抑制入射到入射区域的二次反射光的量，因此可以抑制接收光分布中的错误值的发生。
【IPC分类】G01B11-24
【公开号】CN104833315
【申请号】CN201510065230
【发明人】根本贤太郎, 山县正意, 森内荣介, 岩本正
【申请人】株式会社三丰
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年2月6日
【公告号】DE102015001217A1, US20150226543