由端口四输出并经端口二进入矢 量网络分析仪，经定向禪合器二进入信号处理单元； 信号处理单元对直接禪合的信号和经待测光电器件后的信号进行处理，得出矢量网络 分析仪电平面S参数，经过计算得出待测光电器件的各项S参数信息。
4. 根据权利要求3所述的基于矢量网络分析仪的光电器件S参数测量方法，其特征在 于，待测光电器件的各项S参数信息的计算过程如下： 根据mason公式得出；
实际上，待测光电器件的光端口反射和电光转换模块的光端口反射均比较微弱，故此 (3) 处Siie〇22取0,即有： 式（1)中，S22M为矢量网络分析仪测得的矢量网络分析仪电平面S参数，可从矢量网络 分析仪得出； Edk、Ekk、Es巧矢量网络分析仪误差，其中，Edk表示方向性后向误差，Ew表示反射跟踪后 向误差，Esc表示源匹配后向误差； 由式（1)求得光电器件的S22参数； 式（3)中，S21M为矢量网络分析仪测得的矢量网络分析仪电平面S参数，可从矢量网络 分析仪得出； e〇ii、e〇2i均为电光转换模块的S参数，通过计量得到； Exk、Esf、Etf、Elf为矢量网络分析仪误差，其中，EXK表不隔离后向误差，ESF表不源匹配前 向误差，Etp表示传输跟踪前向误差，EU表示负载匹配前向误差； 由式做求得光电器件的S21参数。
5. 基于矢量网络分析仪的电光器件S参数测量方法，采用如权利要求2所述的基于矢 量网络分析仪的光器件S参数测量系统，其特征在于， 信号源产生的测试信号，一部分直接禪合到信号处理单元，另一部分经定向禪合器一 由端口一输出并经端口=进入光波控制模块； 信号进入光波控制模块后，沿着端口五所在支路到达端口五，并经端口五输出到达待 测电光器件，然后由端口八、端口八所在支路到达端口四，由端口四输出并经端口二进入矢 量网络分析仪，经定向禪合器二进入信号处理单元； 信号处理单元对直接禪合的信号和经待测电光器件后的信号进行处理，得出矢量网络 分析仪电平面S参数，经过计算得出待测电光器件的各项S参数信息。
6. 根据权利要求5所述的基于矢量网络分析仪的电光器件S参数测量方法，其特征在 于，待测电光器件的各项S参数信息的计算过程如下： 根据mason公式得出；
实际上，光电转换模块的光端口反射和待测电光器件的光端口反射均比较微弱，故此 处取〇曰1&2为0,即有：
(6) 式（4)中，Sum为矢量网络分析仪测得的矢量网络分析仪电平面S参数，可从矢量网络 分析仪得出； Ew、Ew、Es巧矢量网络分析仪误差，其中，Ed康示方向性前向误差，Ew表示反射跟踪前 向误差，Esp表示源匹配前向误差； 由式（4)求得被测电光器件的S。参数； 式化）中，S21M为矢量网络分析仪测得的矢量网络分析仪电平面S参数，可从矢量网络 分析仪得出； 0621、0622均为光电转换模块的S参数，通过计量得到； Ew、Eu、Etp、Esp为矢量网络分析仪误差，其中，EW表示隔离前向误差，EU表示负载匹配 前向误差，Etp表示传输跟踪前向误差，ESP表示源匹配前向误差； 由式做求得电光器件的S21参数。
7. 基于矢量网络分析仪的光光器件S参数测量方法，采用如权利要求2所述的基于矢 量网络分析仪的光器件S参数测量系统，其特征在于， 信号源产生的测试信号，一部分直接禪合到信号处理单元，另一部分经定向禪合器一 由端口一输出并经端口=进入光波控制模块； 信号进入光波控制模块后，沿着端口走所在支路到达端口走，并经端口走输出到达待 测光光器件，然后由端口八、端口八所在支路到达端口四，由端口四输出并经端口二进入矢 量网络分析仪，经定向禪合器二进入信号处理单元； 信号处理单元对直接禪合的信号和经待测光光器件后的信号进行处理，得出矢量网络 分析仪电平面S参数，经过计算得出待测光光器件的各项S参数信息。
8. 根据权利要求7所述的基于矢量网络分析仪的光光器件S参数测量方法，其特征在 于，待测光光器件的各项S参数信息的计算过程如下： 根据mason公式得出；
实际上，电光转换模块的光端口反射、待测光光器件的光端口反射和光电转换模块的 光端口反射均比较微弱，故此处Siie〇22、〇eiiS22均取0,可得：
脚 式巧）中，S21M为矢量网络分析仪测得的矢量网络分析仪电平面S参数，可从矢量网络 分析仪得出； e〇2i、eo。为电光转换模块的S参数，oe21、〇622为光电转换模块的S参数，eo21、60。、0621、0622均通过计量得到； Ew、Eu、Etp、Esp为矢量网络分析仪误差，其中，EW表示隔离前向误差，EU表示负载匹配 前向误差，Etp表示传输跟踪前向误差，ESP表示源匹配前向误差； 由式（8)求得光光器件的S21参数。
【专利摘要】本发明公开了一种基于矢量网络分析仪的光器件S参数测量系统及方法。本发明适用于高速光器件S参数测量，且在S参数测量时，只需要对矢量网络分析仪进行双端口电校准，无需进行光校准，简化了校准过程；将矢量网络分析仪与光波控制模块连接带来的误差综合考虑，建立适用于测量系统的新误差模型，提高了系统的精度；光器件S参数的计算只需在矢量网络分析仪测得结果的基础上进行简单计算，算法简单；采用射频开关控制信号流向，增加了矢量网络分析仪端口的利用率。与现有技术相比，本发明测量系统集成度高，测量方法操作简易、计算简单且精度高。
【IPC分类】G01M11-00, G01R31-26, G01R31-00
【公开号】CN104849585
【申请号】CN201510179432
【发明人】王瑞霞, 王广彪, 魏石磊, 张志辉
【申请人】中国电子科技集团公司第四十一研究所
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月16日