0088]根据第二实施方式的微粒测定方法及微粒测定系统，作为捕获直接镜检法的分析用的微粒的过滤部，采用了两个过滤器，这一点与第一实施方式不同。
[0089]第二实施方式的微粒测定方法中，作为上述过滤部，采用了设置成可以互相切换试样水(本实施方式中为纯水)的供给的、第I过滤部(第I过滤器)和第2过滤部(第2过滤器)。
[0090]进而，根据本实施方式的微粒测定方法，在作为上述计量部的微粒计量仪、和第I过滤器一同运转的状态，微粒计量仪的测定结果出现异常时，停止第I过滤器的同时使第2过滤器开始运转。
[0091]本实施方式的微粒测定方法中，通过采用第I过滤器和第2过滤器，使纯水过滤持续地进行。
[0092]图3是表示采用本实施方式的微粒测定方法的、微粒测定系统21的一个构成例(第二实施方式的微粒测定系统21)的系统图。
[0093]本实施方式的微粒测定系统21具有微粒计量仪12、第I过滤器23a、第2过滤器23b、及控制部24。本实施方式中，微粒计量仪12、第I过滤器23a及第2过滤器23b由蓄水槽15储存的试样水(纯水)W流经的配管16分支出来后彼此相连。
[0094]本实施方式中使用的微粒计量仪12与第一实施方式中使用的微粒计量仪12相同。并且，作为本实施方式中使用的第I过滤器23a及第2过滤器23b，均与第一实施方式中使用的过滤器13说明中的相同，但在控制部24的控制方式上与第一实施方式不同。此夕卜，本实施方式中，作为第I过滤器23a及第2过滤器23b也采用了离心过滤器23a、23b，但也可以采用分离膜单元等其他的过滤器。
[0095]本实施方式中，控制部24至少具有控制第I过滤器23a及第2过滤器23b的功能。进而，控制部24在微粒计量仪12和第I过滤器23a —同运转的状态，在微粒计量仪12的测定结果出现异常时进行控制，从而停止第I过滤器23a的同时使第2过滤器23b开始运转，使纯水W的过滤得以继续进行。
[0096]控制部24可以配置在第I过滤器23a和/或第2过滤器23b上，也可以在第I过滤器23a及第2过滤器23b以外进行设置。
[0097]并且，除了控制第I过滤器23a及第2过滤器23b以外，控制部24还可以具有控制微粒计量仪12的功能。
[0098]例如，其构成可以是微粒计量仪12和控制部24协同运转，微粒计量仪12的测定结果输出到控制部24，由控制部24判断该测定结果是否异常。通过这种微粒计量仪12和控制部24协同运转，可以精确且快速地判断微粒计量仪12的测定结果是否异常。
[0099]通过控制部24判断异常的有无时，例如，可以将测定结果的正常值和异常值存储在与控制部24协同运转的存储介质中，控制部24基于存储介质中存储的测定结果的正常值和异常值的数据来进行判断。
[0100]并且，考虑到微粒计量仪12的测定结果的异常迅速解除的情况、或确认到因微粒计量仪12本身的故障导致的异常的情况，优选控制部24将规定数量以上且规定时间以上连续地测定到微粒的情况判断为异常。由此，可以只对微粒计量仪12测定的微粒的数量及大小等引起的切实的异常进行判断。
[0101]微粒计量仪12的测定结果的异常解除时，控制部24可以进行控制，从而使用于继续进行过滤而运转的第2过滤器23b停止，并使处于停止状态的第I过滤器23a再度运转。
[0102]如上所述，控制部24通过控制第I过滤器23a及第2过滤器23b，在微粒计量仪12的测定结果为正常时，用第I过滤器23a进行过滤，而在微粒计量仪12的测定结果为异常时，可以用第2过滤器进行过滤。从而，可以将第I过滤器23a设定为正常时用，将第2过滤器23b设定为异常时用。
[0103]通过将第I过滤器23a设定为正常时用、将第2过滤器23b设定为异常时用，可以在微粒计量仪12的异常解除后，停止第2过滤器23b，取出该第2过滤器23b的过滤膜，进行过滤膜上捕获的微粒的分析。进而，在此期间也可以使第I过滤器23a运转，在正常时也可以捕获微粒。
[0104]此外，就控制部24对于第I过滤器23a及第2过滤器23b的控制而言，例如，可以通过切换对于各过滤器23a、23b的试样水W的导入来进行。更具体地说，对于各过滤器23a、23b，在试样水W的导入侧的配管16上设置切换阀(未图示)，由控制部24控制该切换阀，从而可以对第I过滤器23a和第2过滤器23b的停止及运转进行控制。
[0105]图4是表示本实施方式的微粒测定方法的流程图。此外，该流程图也示出了上述的本实施方式的微粒测定系统21的运转方式。
[0106]图4中，作为本实施方式的微粒测定方法开始运行的前提，将在微粒计量仪12及第I过滤器23a中导入了纯水W的状态设定为开始状态。
[0107]根据本实施方式的微粒测定方法，使微粒计量仪12及第I过滤器23a两者运转(步骤S21)。微粒计量仪12和第I过滤器23a无需同时开始运转，只要微粒计量仪12和第I过滤器23a同时处于运转状态即可。
[0108]此外，就第I过滤器(离心过滤器)23a的旋转数、过滤压力、及连续运转的一个循环而言，可以基于作为对象的试样水、或本发明的微粒测定方法适用的场所等适宜设定。
[0109]其次，对微粒计量仪12的测定结果中异常的有无进行确认(步骤S22)。对于该异常的有无，可以与第一实施方式所述相同地由控制部24来判断，在通过控制部24进行判断时，也可以采用控制部24和存储介质协同运转的构成。
[0110]并且，与第一实施方式相同，优选控制部24将规定数量以上且规定时间以上连续地测定到微粒的情况判断为异常。由此，可以只对微粒计量仪12测定的微粒的数量及大小等引起的切实的异常进行判断。
[0111]在步骤S22确认到异常时，停止第I过滤器23a，并使第2过滤器23b开始运转(步骤S23)。由此，微粒计量仪12确认到异常时也可以继续进行过滤。就第I过滤器23a的停止及第2过滤器23b的运转而言，可以由控制部24控制第I过滤器23a及第2过滤器23b来进行。此外，对于第2过滤器(第2离心过滤器)23b的旋转数及过滤压力也可以适宜设定，出于继第I过滤器23a之后继续进行过滤的观点，优选采用与第I过滤器23a相同的条件。
[0112]作为第I过滤器23a的停止和第2过滤器23b的运转的时机，优选在第I过滤器23a停止后即刻使第2过滤器23b开始运转，更优选在大致相同的时机进行第I过滤器23a的停止和第2过滤器23b的运转。通过按以上方式使第I过滤器23a和第2过滤器23b连动，可以在减少时间损耗、抑制没有捕获的微粒数(丢失数)的同时提尚微粒的捕获量。
[0113]此外，在步骤S22没有确认到异常时，微粒计量仪12及第I过滤器23a仍保持运转状态，这些在正常时始终处于运转状态(步骤S21)。
[0114]其次，使微粒计量仪12的测定结果出现异常后继续运转的第2过滤器23b在规定后停止的同时，使第I过滤器23a再次运转(步骤S25)。
[0115]作为停止第2过滤器23b的时机，为了用第2过滤器23b更为切实地捕获异常时的微粒，优选设定在上述异常解除的时间。此时，为了将该异常解除的情况设定为第2过滤器23b的停止条件，优选进行该异常是否解除的判断(步骤S24)。该判断也可以由上述控制部24来进行。
[0116]并且，作为停止第2过滤器23b的时机，可以设定为异常确认后、经过了规定时间以后。作为该规定时间，可以根据要求水质或作为对象的试样水，设定为可以解除异常的充分的时间。
[0117]停止第2过滤器23b后，从第2过滤器23b中取出过滤膜，对于过滤膜上捕获到的微粒，与第一实施方式所述的方法相同地用直接镜检法进行微粒的数量、大小(粒径)、及组成等的分析及测定(步骤S26)。
[0118]如上所述，根据第二实施方式的微粒测定方法及微粒测定系统21，使微粒计量仪12和第I过滤器23a —同运转，在微粒计量仪12的测定结果出现异常时，停止第I过滤器23a，并使第2过滤器23b开始运转，从而在异常时可以适时地捕获微粒。因此，可以减少没有捕获的微粒数，使微粒的捕获量增多。进而，所捕获的微粒用直接镜检法进行详细的分析，可以迅速地查出微粒计量仪12的测定结果的异常原因，可以提高纯水中的微粒管理的品质O
[0119]并且，通过将第I过滤器23a设定为正常时用、将第2过滤器23b设定为异常时用，在用直接镜检法对第2过滤器23b捕获的微粒进行分析时也可以使第I过滤器23a运转，从而可以始终监控纯水中的微粒。
[0120]〈第三实施方式〉
[0121]其次，对于将本发明的微粒测定方法及微粒测定系统用于超纯水制造系统的实施方式，通过示例进行说明。
[0122]图5是表示用于说明本实施方式的超纯水制造设备100的一个构成例的系统图。作为在本实施方式中说明的超纯水制造设备100，具有一次纯水制造系统101、及超纯水制造系统(也称之为次级系统及二次纯水制造系统)102。
[0123]作为该超纯水制造设备100，是将一次纯水制造系统101制造的纯水进一步用超纯水制造系统102进行纯化处理，从而制造超纯水的设备。
[0124]一次纯水制造系统(一次纯水制造工序)101位于超纯水制造系统(超纯水制造工序)102的前阶段，是将试样水(纯水)W导入到超纯水制造系统102的装置。在一次纯水制造系统101的前阶段，通常具有前处理装置(前处理工序、未图示)。前处理工序中，除去作为被处理水的原水(工业用水、市用水及井水等)中含有的悬浮物质的大部分和有机物的一部分，从而减轻后一阶段的一次纯水制造工序的负担。对于前处理装置的构成没有特别的限定，可以采用凝集过滤、凝集沉淀过滤、凝集加压浮上过滤、及膜过滤等。
[0125]对于一次纯水制造系统101的构成也没有特别的限