定，可以将反渗透(RO)膜分离装置、离子交换装置、脱盐装置、吸附装置、有机物分解装置(紫外线氧化装置等)、脱气装置、及杀菌装置等按任意的顺序进行配置。
[0126]超纯水制造系统(超纯水制造工序)102是将一次纯水制造工序101得到的纯水W进一步纯化处理至高纯度的系统，通常，通过组合热交换器、紫外线氧化装置、离子交换装置、及超滤装置等来构成。
[0127]作为本实施方式的超纯水制造系统102，将一次纯水制造系统101制造的一次纯水W经由配管103a输送至蓄水槽104，用给水栗105抽取后，依次用热交换器106、低压紫外线氧化装置107、脱气装置108、离子交换装置109、及超滤(UF)膜装置110进行处理。进而，作为该超纯水制造系统102，将各处理中得到的超纯水通过配管103b输送至用水点111，并将剩余水通过配管103c送回至蓄水槽104。
[0128]超纯水制造系统102中设置有本发明的微粒测定系统31。对于超纯水制造系统102中的微粒测定系统31的设置位置没有特别的限定。本实施方式中，在超纯水制造系统102的UF膜装置110的后部，将UF膜装置110的处理水(超纯水)流经的配管103b进行分支后设置微粒测定系统21。进而，形成了 UF膜装置110的处理水(超纯水)被导入到微粒测定系统31的构成。
[0129]微粒测定系统31具有微粒计量仪(计量部)32，过滤器(过滤部)33a、33b，及控制部(未图示)。作为过滤器33a、33b，可以采用在上述第二实施方式的微粒测定方法及微粒测定系统中可以适用的第I离心过滤器33a及第2离心过滤器33b。就第I过滤器33a及第2过滤器33b的运转方式而言，与在上述第二实施方式中提到的相同。
[0130]此外，将在第一实施方式中提到的微粒测定方法及微粒测定系统整合到如图5所示的超纯水制造设备100 (超纯水制造系统102)中时，可以去除第2过滤器33b。
[0131]并且，在图5所示的超纯水制造设备100(超纯水制造系统102)中，替代第I离心过滤器33a及第2离心过滤器33b，也可以采用利用通水压(给水压)的分离膜单元(第I分离膜单元33c及第2分离膜单元33d，图5中用括号表示)。采用分离膜单元33c、33d时，优选设置可以切换分离膜单元33c、33d的过滤的停止及运转的开关阀331、332。
[0132]此时，将第I分离膜单元33c设定为正常时运转用、将第2分离膜单元33d设为异常时运转用。进而，在微粒计量仪32及第I分离膜单元33c的运转状态，微粒计量仪32的测定结果出现异常时，将第I分离膜单元33c的后部的第I开关阀331由开变为关的同时，将处于停止状态的第2分离膜单元33d的后部的第2开关阀332由关变为开。第I开关阀331及第2开关阀332均可以用控制部(未图示)进行控制，控制部通过与微粒计量仪32协同运转，可以自动地开启、闭合第I开关阀331及第2开关阀332。
[0133]如上所述，根据第三实施方式的超纯水制造系统102 (超纯水制造设备100)，具有本发明的微粒测定系统31，因而可以发挥该微粒测定系统31所具有的效果。进而，用该微粒测定系统31可以适时地捕获微粒，因而可以进一步提尚所制造的超纯水的水质(品质)。因此，本实施方式的超纯水制造系统102适用于半导体制造领域及药品制造领域等各种工业领域。
[0134]此外，本发明的微粒测定方法及微粒测定系统也可以采用如下的构成。
[0135]在上述实施方式示出的微粒测定系统中，作为监控水质的组件还可以设置溶存气体浓度仪、TOC仪、过氧化氢浓度仪、氧化硅计量仪、硼计量仪、蒸发残留测定仪、及水温计等各种计量仪。
[0136]在第二实施方式及第三实施方式中示出了具有两个过滤器的构成，但过滤器的数量也可以是两个以上。此时，优选具有可以控制各过滤器的控制部。
[0137]作为本发明，也可以采用以下的构成。
[0138][I]微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。
[0139][2]如上述[I]所述的微粒测定方法，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时也使所述过滤部继续运转。
[0140][3]如上述[I]所述的微粒测定方法，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第I过滤部和第2过滤部，在所述计量部和所述第I过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，停止所述第I过滤部的同时，使所述第2过滤部开始运转。
[0141][4]如上述[I]?[3]中任意一项所述的微粒测定方法，其中，在所述异常解除后，停止所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部。
[0142][5]如上述[I]?[4]中任意一项所述的微粒测定方法，其中，对由所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部捕获到的微粒进行分析。
[0143][6]如上述[I]?[5]中任意一项所述的微粒测定方法，其中，在所述计量部测定到所述微粒在规定数量以上且持续规定时间时，判断为所述异常。
[0144][7]微粒测定系统，其中，采用了上述[I]?[6]中任意一项所述的微粒测定方法。
[0145][8]微粒测定系统，其中，具有对试样水中的微粒进行测定的计量部，过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部，及在所述计量部和所述过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，控制所述试样水的过滤而使其继续进行的控制部。
[0146][9]如上述[8]所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部也可以使所述过滤部继续运转。
[0147][10]如上述[8]所述的微粒测定系统，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第I过滤部和第2过滤部，在所述计量部和所述第I过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部停止所述第I过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。
[0148][11]如上述[8]?[10]中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述异常解除后，所述控制部使所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部停止。
[0149][12]如上述[8]?[11]中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部测定到所述微粒在规定数量以上且持续规定时间时，所述控制部判断为所述异常。
[0150][13]超纯水制造系统，其中，在超纯水制造工序中采用上述[I]?[6]中任意一项所述的微粒测定方法。
[0151][14]超纯水制造系统，其中，在超纯水的制造工序中配备有上述[8]?[12]中任意一项所述的微粒测定系统。
【主权项】
1.一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。2.如权利要求1所述的微粒测定方法，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时也使所述过滤部继续运转。3.如权利要求1所述的微粒测定方法，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第I过滤部和第2过滤部， 在所述计量部和所述第I过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，停止所述第I过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。4.如权利要求1?3中任意一项所述的微粒测定方法，其中，在所述异常解除后，停止所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部。5.如权利要求1?4中任意一项所述的微粒测定方法，其中，对由所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部捕获到的微粒进行分析。6.一种微粒测定系统，该微粒测定系统具有 对试样水中的微粒进行测定的计量部， 过滤所述试样水，并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部，及 在所述计量部和所述过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，控制所述试样水的过滤而使其继续进行的控制部。7.如权利要求6所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部也可以使所述过滤部继续运转。8.如权利要求6所述的微粒测定系统，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第I过滤部和第2过滤部， 在所述计量部和所述第I过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部停止所述第I过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。9.如权利要求6?8中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述异常解除后，所述控制部使所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部停止。10.如权利要求6?9中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部测定到所述微粒在规定数量以上且持续规定时间时，所述控制部判断为所述异常。11.一种超纯水制造系统，其中，在超纯水的制造工序中配备有权利要求6?10中任意一项所述的微粒测定系统。
【专利摘要】本发明提供一种在测定试样水中的微粒的计量部的测定结果出现异常的状况下，也可以及时地捕获试样水中的微粒的技术。本发明提供一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。
【IPC分类】G06M11/00, G01N1/00, C02F1/00, G01N15/06
【公开号】CN105051519
【申请号】CN201480017748
【发明人】田中洋一
【申请人】栗田工业株式会社
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2014年3月13日
【公告号】WO2014156694A1