侧；
[0054]其中，固体电解质型气体传感器，其由如下方法制作而成:
[0055](I)多孔钇稳定氧化锆(YSZ)制备:
[0056]采用双槽电化学腐蚀法制备多孔结构YSZ ；
[0057]a.取YSZ平板(8mol % Y2O3掺杂，6mm*4mm*0.2mm)，先后用水和无水乙醇多次超声清洗，烘干；
[0058]b.配制预处理溶液:按照质量份数，1%茶皂素，2%苹果酸，其余为纯净水，然后将YSZ平板投入其中，完全浸没，在58°C条件下处理20min，随后用微波处理2min，洗净自然干燥备用；
[0059]所述微波处理的参数为:2450MHz、65W，辐照5s，间隔lOmin，一共照射3次；
[0060]c.配制腐蚀溶液，取HF(体积份数40% )和去离子水按体积比1:5，适量添加高锰酸钾混合，放入双电槽电化学装置(如图1所示)，腐蚀槽与夹具均为耐腐蚀的聚四弗乙烯材料，电极为柱状金属Pt，夹具将腐蚀槽分为两个互不连通区域，夹具中央具有两个l*2mm特定形状的孔洞；
[0061]d.腐蚀过程在黑暗条件下进行，装置所用电源为恒流源，施加腐蚀电流密度为40mA/cm2，经过30min，在YSZ平板上形成两个l*2mm区域的多孔结构，制作完毕清洗后保存在无水乙醇中；
[0062](2)敏感电极材料A制备:
[0063]a.合成氧化钨纳米颗粒:称取1.5gNa2W04溶于45mL去离子水中，在搅拌情况下，滴加浓度为3mol/L的HCl溶液至钨酸沉淀完全；然后离心分离，将沉淀物放入小烧杯中，加Λ 30mL去离子水，再加入75gKN03，剧烈搅拌，形成浆糊状物，在180°C下水热反应12h，自然冷却至室温；将反应物(沉淀)用去离子水充分洗涤，再用乙醇洗涤，过滤，在80°C下脱水干燥，得到产物即氧化钨纳米颗粒；
[0064]b.氧化妈纳米颗粒掺杂氧化镍:取质量比为3:1的氧化妈纳米颗粒与纳米镍粉放入搅拌器中，使其充分混合；然后将混合材料放入真空管式炉中，加热至300°C，保温4h，使镍粉充分氧化，最后自然降温至室温；
[0065](3)敏感电极材料B制备:
[0066]a.首先将粒径为22nm的SnOjfi米粉在80°C真空干燥箱中干燥12小时；
[0067]b.称取干燥的SnO2纳米粉2.0g，然后向其中加入4.0ml氯铂酸溶液，浓度为10mmol/L，浸渍完全后将其超声15min，使其混合均匀；
[0068]c.将混合物静置6h，再放入真空干燥箱中在80°C干燥12h，干燥后将混合物在500°C下烧结12h，自然降至室温，即得敏感电极B ;
[0069](4)气体传感器制作
[0070]氮的氧化物传感器主要由两部分构成:多孔YSZ平板和Pt “几”形电极加热板，器件制作步骤如下:
[0071]a.取步骤(I)处理后的YSZ基板，先后用水和无水乙醇多次超声清洗，烘干后待用；
[0072]b.取铂浆，在清洗过后的YSZ基板的中间制作l*2mm大小的细条状铂浆带，在YSZ的多孔区域分别制作一个小的铂浆圆点，大批量生产时，可以采用丝网印刷工艺；
[0073]c.取三段铂丝分别粘在YSZ片子的刚涂好铂浆的区域，然后将YSZ基板放置在红外灯下烘烤数小时；
[0074]d.取适量敏感电极材料A、B，分别放入玛瑙研钵中充分研磨后加入少量去尚子水，调配成粘稠状浆料A、B，分别将浆料A、B于基板多孔结构处涂上形成传感器的两个敏感电极A、B，厚度为0.5mm ；
[0075]e.将上步骤得到的基板放入马弗炉高温800°C烧结两小时；
[0076]f.在“几”形Pt加热板印有Pt电极的一面均匀涂上一层无机胶(用水玻璃和Al2O3混合制得)，然后将加热板与上步骤中得到的基板粘在一起，放入马弗炉中200°C烧结20分钟，取出，即得传感器原型器件。
[0077]该实施例器件工作温度为300°C时，对10ppm的NO2,灵敏度可达21mV/decade，响应恢复速度较快，为约18s ;对200ppm的CO，灵敏度可达39mV/decade，响应恢复速度约为
5s0
[0078]本实施例中，YSZ基板为掺杂8mol % Y2O3,其物理大小为6mm*4mm*0.2mm，采用电化学方法腐蚀出两个l*2mm区域的纳米多孔结构，该结构分别用来放置敏感电极A和敏感电极B ;在YSZ基板的纳米多孔区域上制作直径0.1?0.3mm的铂金圆点作为YSZ基板与电极的连结；敏感电极A和敏感电极B的厚度均为0.5mm，敏感电极B中SnOjfi米粉的粒径为15_22nm0
[0079]实施例2:
[0080]一种燃气输配装置的制造方法，在燃气输配装置外壁每隔2Km位置设置固体电解质型气体传感器，固体电解质型气体传感器包括多孔钇稳定氧化锆(YSZ)基板，和布置在YSZ基板上的铂(Pt)参考电极、敏感电极A和敏感电极B，其中敏感电极A和敏感电极B分别布置在Pt参考电极的两侧；
[0081]其中，固体电解质型气体传感器，其由如下方法制作而成:
[0082](I)多孔钇稳定氧化锆(YSZ)制备:
[0083]采用双槽电化学腐蚀法制备多孔结构YSZ ；
[0084]a.取YSZ平板(8mol % Y2O3掺杂，7mm*5mm*0.2mm)，先后用水和无水乙醇多次超声清洗，烘干；
[0085]b.配制预处理溶液:按照质量份数，1.8%茶皂素，2%苹果酸，其余为纯净水，然后将YSZ平板投入其中，完全浸没，在50°C条件下处理28min，随后用微波处理2min，洗净自然干燥备用；
[0086]所述微波处理的参数为:2450MHz、65W，辐照2s，间隔lOmin，一共照射5次；
[0087]c.配制腐蚀溶液，取HF (体积份数40% )和去离子水按体积比1: 5，适量添加高锰酸钾混合，放入双电槽电化学装置(如图1所示)，腐蚀槽与夹具均为耐腐蚀的聚四弗乙烯材料，电极为柱状金属Pt，夹具将腐蚀槽分为两个互不连通区域，夹具中央具有两个2*2mm特定形状的孔洞；
[0088]d.腐蚀过程在黑暗条件下进行，装置所用电源为恒流源，施加腐蚀电流密度为40mA/cm2,经过30min，在YSZ平板上形成两个2*2mm区域的多孔结构，制作完毕清洗后保存在无水乙醇中；
[0089](2)敏感电极材料A制备:
[0090]a.合成氧化妈纳米颗粒:称取1.58~&2胃04溶于45mL去离子水中，在搅拌情况下，滴加浓度为3mol/L的HCl溶液至钨酸沉淀完全；然后离心分离，将沉淀物放入小烧杯中，加入30mL去离子水，再加入75gKN03，剧烈搅拌，形成浆糊状物，在180°C下水热反应12h，自然冷却至室温；将反应物(沉淀)用去离子水充分洗涤，再用乙醇洗涤，过滤，在80°C下脱水干燥，得到产物即氧化钨纳米颗粒；
[0091]b.氧化妈纳米颗粒掺杂氧化镍:取质量比为3:1的氧化妈纳米颗粒与纳米镍粉放入搅拌器中，使其充分混合；然后将混合材料放入真空管式炉中，加热至300°C，保温4h，使镍粉充分氧化，最后自然降温至室温；
[0092](3)敏感电极材料B制备:
[0093]a.首先将粒径为15nm的SnOjfi米粉在80°C真空干燥箱中干燥12小时；
[0094]b.称取干燥的SnO2纳米粉2.0g，然后向其中加入4.0ml氯铂酸溶液，浓度为10mmol/L，浸渍完全后将其超声15min，使其混合均匀；
[0095]c.将混合物静置6h，再放入真空干燥箱中在80°C干燥12h，干燥后将混合物在500°C下烧结12h，自然降至室温，即得敏感电极B ;
[0096](4)气体传感器制作
[0097]氮的氧化物传感器主要由两部分构成:多孔YSZ平板和Pt “几”形电极加热板，器件制作步骤如下:
[0098]a.取步骤⑴处理后的YSZ基板，先后用水和无水乙醇多次超声清洗，烘干后待用；
[0099]b.取铂浆，在清洗过后的YSZ基板的中间制作2*2_大小的细条状铂浆带，在YSZ的多孔区域分别制作一个小的铂浆圆点，大批量生产时，可以采用丝网印刷工艺；
[0100]C.取三段铂丝分别粘在YSZ片子的刚涂好铂浆的区域，然后将YSZ基板放置在红外灯下烘烤数小时；
[0101]d.取适量敏感电极材料A、B，分别放入玛瑙研钵中充分研磨后加入少量去离子水，调配成粘稠状浆料A、B，分别将浆料A、B于基板多孔结构处涂上形成传感器的两个敏感电极A、B，厚度为0.5mm ；
[0102]e.将上步骤得到的基板放入马弗炉高温800°C烧结两小时；
[0103]f.在“几”形Pt加热板印有Pt电极的一面均匀涂上一层无机胶(用水玻璃和A1203混合制得)，然后将加热板与上步骤中得到的基板粘在一起，放入马弗炉中200°C烧结20分钟，取出，即得传感器原型器件。
[0104]该实施例器件工作温度为300°C时，对10ppm的NO2,灵敏度可达52mV/decade，响应恢复速度较快，为约8s ;对200ppm的CO，灵敏度可达62mV/decade，响应恢复速度约为
3s0
[0105]本实施例中，YSZ基板为掺杂8mol % Y2O3,其物理大小为7臟*5臟*0.2mm，米用电化学方法腐蚀出两个2*2mm区域的纳米多孔结构，该结构分别用来放置敏感电极A和敏感电极B ;在YSZ基板的纳米多孔区域上制作直径0.1?0.3mm的铂金圆点作为YSZ基板与电极的连结；敏感电极A和敏感电极B的厚度均为0.5mm，敏感电极B中SnOjfi米粉的粒径为15_22nm0
[0106]通过对YSZ基板、多孔纳米结构尺寸及实验参数的调整，其对危险气体CO的检测灵敏度提高到62mV/decade，响应时间缩短为3s，得到了意想不到的结果。
[0107]实施例3:
[0108]—种燃气输配装置的制造方法，在燃气输配装置外壁每隔2Km位置设置固体电解质型气体传感器，固体电解质型气体传感器包括多孔钇稳定氧化锆(YSZ)基板，和布置在YSZ基板上的铂(Pt)参考电极、敏感电极A和敏感电极B，其中敏感电极A和敏感电极B分别布置在Pt参考电极的两侧；
[0109]其中，固体电解质型气体传感器，其由如下方法制作而成:
[0110](I)多孔钇稳定氧化锆(YSZ)制备:
[0111]采用双槽电化学腐蚀法制备多孔结构YSZ ；