谱量测需求的情况。
[0038]以上介绍了用于波片光轴量测的设备，接下来介绍一种采用上述设备的波片光轴量测方法。
[0039]本发明提供的一种波片光轴量测方法，请参阅图2，包括如下步骤:
[0040]如SI所示，提供相对设置的第一起偏件21和第二起偏件41，所述第一起偏件21和所述第二起偏件41分别放置在第一载物台20和第二载物台40上且穿透轴呈正交设置，所述第一起偏件21和所述第二起偏件41之间的可旋转载物台30上设有待测λ/4波片31ο
[0041]由于所述第一起偏件和所述第二起偏件的穿透轴呈正交设置。因此，当中间没有待测λ/4波片时，光强测量仪器量测到的光强最低。当中间设有待测λ/4波片时，由于待测λ/4波片31会改变起偏件射出的线偏振光的偏振态。因此会改变光强测量仪器量测到的光强。且出射光偏振态由待测λ/4波片光轴方向与偏振方向的夹角决定。
[0042]然后如S2所示，提供一光源10和一光强测量仪器50，所述光源10发出的光线能依次透过所述第一起偏件21、所述待测λ /4波片31和所述第二起偏件41后到达所述光强测量仪器50。
[0043]接着如S3所示，开启所述光源10和所述光强测量仪器50，旋转可旋转载物台30，带动所述待测λ /4波片31旋转，所述光强测量仪器50监测光强变化值，记录相邻两次出现最小光强值时待测λ/4波片31的旋转位置。
[0044]如上所述，所述第二起偏件41的出射光偏振态由待测λ/4波片31光轴方向与偏振方向的夹角决定。即λ/4波片e轴或ο轴与线偏振光偏振方向夹角Θ决定。具体改变如下:
[0045]当λ /4波片e轴或ο轴与偏振方向夹角Θ = 45度时，则出射光为圆偏振光。
[0046]当λ/4波片e轴或ο轴与偏振方向夹角Θ = O度时，则出射光为线偏振光。
[0047]当λ/4波片e轴或O轴与偏振方向夹角Θ =其他角度时，贝Ij出射光为椭圆偏振光。
[0048]因此，只要旋转可旋转载物台30，使得光强测量仪器50检测到光强最低值时，第一起偏件21的穿透轴方向就是待测λ /4波片31的e轴或ο轴的方向。记录相邻两次出现最小光强值时待测λ/4波片的旋转位置，便可以得到两条相交的轴第一轴和第二轴(旋转位置确定后，第一起偏件21的穿透轴在待测λ /4波片31上的投影就是e轴或ο轴的方向，即第一轴或第二轴方向)。当出现相邻两次出现最小光强值时，其中一次与所述第一起偏件21透光轴方向相同的方向为e轴，另一次与所述第一起偏件21透光轴方向相同的方向为ο轴。即通过上述方法可以得到第一轴和第二轴，但还无法确认e轴(光轴)是第一轴还是第二轴。
[0049]最后，如S4所示，在所述第一起偏件21和所述第二起偏件41之间固定一标准λ/4波片，S卩，所述标准λ/4波片可以放置在所述第一载物台20上介于所述第一起偏件21和待测λ /4波片31之间，或者放置在所述第二载物台40上，介于述第二起偏件41和待测λ/4波片31之间。将所述标准λ/4波片的光轴与所述第一起偏件的穿透轴、所述标准λ/4波片的光轴与和所述第二起偏件的穿透轴的夹角为锐角，即所述标准λ/4波片的光轴方向不与第一起偏件(或第二起偏件)的穿透轴方向平行或垂直。旋转所述待测λ/4波片31，使得所述第一轴和所述第二轴分别与标准λ/4波片的光轴方向重合，并检测此时亮度，对比第一轴与标准λ/4波片的光轴方向重合时的亮度和所述第二轴与标准λ/4波片的光轴方向重合时的亮度，亮度较亮时标准λ/4波片光轴方向即为所量测的光轴?轴)方向，亮度较暗时的标准λ/4波片光轴方向为ο轴方向。
[0050]其原理是，当待测λ/4波片31的光轴与标准λ/4波片光轴方向一致时，入射线偏振光经过这两层波片后，入射线偏振光偏振方向被偏转。(两层标准λ/4波片波片光轴一致叠加时，可以简单认为是1/2λ波片，线偏振光经过1/2λ波片后偏振方向会变化，此时偏振方向与第二起偏件41穿透方向非正交，光线透过，亮度变亮，为Lvl。
[0051]当待测λ /4波片31的光轴与标准λ /4波片光轴方向垂直时，入射线偏振光经过两个光轴垂直的λ/4波片时，入射光分别变为旋向相反的椭圆偏振光，彼此之间会相互抵消。因此亮度有所下降，此时亮度为LV2。并且有LV1>LV2。因此比较两个位置，两者之中相对较亮位置的标准λ /4波片光轴即为所量测的光轴方向。
[0052]可以理解的是，当待测λ/4波片上设有基准边，且光轴与待测λ/4波片上的基准边的夹角为已知值。此时由于待测λ/4波片为透明的，无法确定光轴的方向，此时可以通过上述步骤S1-S3，得到相交的第一轴和第二轴，再结合待测λ/4波片的光轴与待测λ/4波片上的基准边的夹角即可确认光轴方向，因此这种情况下可以省去标准λ/4波片。
[0053]以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。
【主权项】
1.一种波片光轴量测设备，其特征在于，包括光源、标准λ/4波片、依光传播方向依次层叠设置的第一载物台、可旋转载物台、第二载物台和光强测量仪器，所述第一载物台上固定有第一起偏件片，所述第二载物台上固定有第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件相对设置，且所述第一起偏件的穿透轴和所述第二起偏件的穿透轴呈正交设置，所述可旋转载物台用于放置待测λ/4波片，所述标准λ/4波片可拆卸地放置在所述第一载物台和所述第二载物台两者之一上，所述标准λ/4波片介于所述第一起偏件和所述第二起偏件之间。2.如权利要求1所述的波片光轴量测设备，其特征在于，还包括伺服电机，所述可旋转载物台与所述伺服电机连接，所述伺服电机控制可旋转载物台的旋转范围满足光强测量仪器能够检测到两次最小光强值。3.如权利要求2所述的波片光轴量测设备，其特征在于，伺服电机控制可旋转载物台的旋转范围为0-360°。4.如权利要求2所述的波片光轴量测设备，其特征在于，还包括控制系统，控制系统中预设所述伺服电机的转动角度和转动频率。5.如权利要求4所述的波片光轴量测设备，其特征在于，所述控制系统控制所述伺服电机旋转的时间间隔大于光强测量仪器的反应时间。6.如权利要求1所述的波片光轴量测设备，其特征在于，所述第一起偏件和所述第二起偏件为偏振片或起偏镜。7.如权利要求1所述的波片光轴量测设备，其特征在于，所述光强测量仪器为亮度测量仪或功率计。8.一种波片光轴量测方法，其特征在于，包括如下步骤: 提供相对设置的第一起偏件和第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件的穿透轴正交，所述第一起偏件和所述第二起偏件之间放置可旋转的待测λ/4波片； 提供光源和光强测量仪器，所述光源的光线能依次透过所述第一起偏件、所述待测λ /4波片和所述第二起偏件后到达所述光强测量仪器； 开启所述光源和所述光强测量仪器，旋转所述待测λ /4波片，所述光强测量仪器监测光强变化值，记录相邻两次出现最小光强值时所述第一起偏件穿透轴在待测λ/4波片上的投影方向，得到第一轴和第二轴； 在所述第一起偏件和所述第二起偏件之间固定一标准λ/4波片，设置标准λ/4波片的光轴方向与所述第一起偏件的穿透轴方向的夹角为锐角，旋转所述待测λ/4波片，记录并比较所述第一轴和所述第二轴分别与标准λ /4波片的光轴方向重合时的光强值。9.如权利要求8所述的波片光轴量测方法，其特征在于，所述第一起偏件和所述第二起偏件为偏振片或起偏镜。10.如权利要求8所述的波片光轴量测方法，其特征在于，所述光强测量仪器为亮度测量仪或功率计。
【专利摘要】本发明提供一种波片光轴量测设备，包括光源、标准λ/4波片、依光传播方向依次层叠设置的第一载物台、可旋转载物台、第二载物台和光强测量仪器，所述第一载物台上固定有第一起偏件片，所述第二载物台上固定有第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件相对设置，且所述第一起偏件的穿透轴和所述第二起偏件的穿透轴呈正交设置，所述可旋转载物台用于放置待测λ/4波片，所述标准λ/4波片可拆卸地放置在所述第一载物台和所述第二载物台两者之一上，所述标准λ/4波片介于所述第一起偏件和所述第二起偏件之间。通过本发明的设备可以确认待测λ/4波片的光轴。
【IPC分类】G01M11/02
【公开号】CN105277341
【申请号】CN201510818800
【发明人】海博
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年11月23日