偏振轴检测器、偏振测定装置及方法、偏振光照射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于测定偏振光的偏振轴的偏振轴检测器、偏振测定装置、偏振测定方法以及偏振光照射装置。
【背景技术】
[0002]近年来，关于以液晶面板为代表的液晶显示元件的取向膜或视场角补偿膜的取向层等的取向处理，采用照射预定波长的偏振光来进行取向的、被称为光取向的技术。
[0003]光取向中使用的照射装置，通常具备光源和偏振器，使光源的光通过偏振器，并照射由此得到的偏振光。在光取向技术中，从照射装置照射的偏振光的偏振轴(光照射面上的偏振光的轴)是否成为所期望的偏振轴是非常重要的。因此，将偏振器的角度设定为预定的角度之后，实际进行偏振光照射而测定偏振轴，如果没有成为所期望的偏振轴，则需要进行校正偏振器角度的作业。
[0004]作为现有的偏振轴测定方法，存在例如专利文献1记载的技术。在该技术中，除了照射装置所具备的第一偏振器之外，还设置用于检测偏振轴的第二偏振器，一边使第二偏振器旋转，一边检测依次通过了第一偏振器和第二偏振器的光，根据该检测结果，测定偏振光的偏振特性。具体地讲，求出表示第二偏振器旋转时的检测光的光量的周期性变化的变化曲线，根据该变化曲线测定偏振轴和消光比，作为上述偏振特性。
[0005]专利文献1:日本特开2014-20890号公报
[0006]在上述专利文献1记载的技术中，作为光源利用放电灯。在放电灯中，存在电弧的波动所引起的光量的经时变化，在使第2偏振器旋转的期间，光量也时刻变化。但是，在上述专利文献1记载的技术中，由于没有考虑该放电灯的电弧的波动，所以偏振光的偏振轴的测定精度低。
【发明内容】
[0007]在此，本发明的课题在于，提供一种偏振轴检测器、偏振测定装置、偏振测定方法以及偏振光照射装置，在来自光源的光的照度随时间而变动的情况下，也能够高精度地检测偏振光的偏振轴。
[0008]为了解决上述课题，本发明的一种偏振轴检测器，检测从光源照射的偏振光的偏振轴，包括:第一偏振光检测部，具有用于检测所述偏振轴的可旋转的检测用偏振器、以及检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息的第一照度传感器；以及第二偏振光检测部，具有直接检测来自所述光源的偏振光的照度信息的第二照度传感器，与所述第一偏振光检测部并列设置。
[0009]像这样，与第一偏振光检测部并列设置检测不通过检测用偏振器的来自光源的偏振光的第二偏振光检测部。因此，能够利用2个偏振光检测部观看相同的偏振光的波动，能够将由第二偏振光检测部检测到的偏振光的照度信息设为由第一偏振光检测部检测到的偏振光的照度信息的基准值。因此，即使在因光源的出力偏差或波动等导致来自光源的偏振光的照度按时间变动的情况下，也能够进行考虑了该照度变动的偏振轴的检测。
[0010]另外，在上述的偏振轴检测器中，优选所述光源是线状光源，所述第一照度传感器和所述第二照度传感器沿着所述线状光源延伸的方向排列配设。
[0011]像这样，将光源设为线状光源时，将2个照度传感器在线状光源的照度变化少的方向上排列配置，所以能够减小各场所的依赖性，得到可靠性高的测定结果。
[0012]此外，本发明的一种方式的偏振测定装置，具备:上述任意一个偏振轴检测器；以及偏振光测定部，根据所述偏振轴检测器检测到的照度信息来测定所述偏振光，所述偏振光测定部具备:旋转控制部，将所述检测用偏振器旋转到多个指定角度；照度信息修正部，根据检测照度值和参考照度值来运算修正后照度值，所述检测照度值是在所述多个指定角度由所述第一照度传感器检测到的照度信息，所述参考照度值是与所述第一照度传感器进行的该检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的照度信息，所述修正后照度值是对所述检测照度值中包含的由从所述光源照射的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行了修正后的照度值；以及偏振特性运算部，运算表示所述检测用偏振器的旋转角度和由所述照度信息修正部运算出的修正后照度值之间的关系的偏振光角度特性，根据该偏振光角度特性，运算来自所述光源的偏振光的偏振特性。
[0013]像这样，使用由第二偏振光检测部检测到的参考照度值，对由第一偏振光检测部检测到的检测照度值中包含的来自光源的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行修正，所以能够运算出修正了上述误差的偏振光角度特性。因此，即使在使检测用偏振器旋转的期间，来自光源的偏振光变动的情况下，仍能够高精度地运算该偏振光的偏振特性。
[0014]另外，在上述的偏振测定装置中，优选所述照度信息修正部将由所述第一照度传感器检测到的所述检测照度值，除以与该检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的所述参考照度值，从而运算所述修正后照度值。像这样，能够利用除法这样的较简单的手法，适当地对检测照度值中包含的来自光源的偏振光的照度变动引起的误差进行修正。
[0015]此外，在上述的偏振测定装置中，优选所述照度信息修正部通过从由所述第一照度传感器检测到的所述检测照度值，减去在所述多个指定角度由所述第二照度传感器检测到的各参考照度值的平均值和与所述检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的所述参考照度值之差，从而运算所述修正后照度值。像这样，利用减法和平均值计算这样的较简单的手法，能够适当地对检测照度值中包含的由来自光源的偏振光的照度变动引起的误差进行修正。
[0016]此外，在上述的偏振测定装置中，优选所述偏振特性运算部具备偏振轴角度运算部，该偏振轴角度运算部根据所述偏振光角度特性，确定通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度成为极值的所述检测用偏振器的旋转角度，根据所确定的旋转角度，运算所述偏振光的偏振轴角度来作为所述偏振特性。由此，能够高精度地运算偏振轴角度。
[0017]另外，在上述的偏振测定装置中，优选所述偏振特性运算部具备消光比运算部，该消光比运算部根据所述偏振光角度特性，确定通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度的最大值和最小值，根据所确定的最大值和最小值，运算所述偏振光的消光比作为所述偏振特性。由此，能够高精度地运算消光比。
[0018]此外，本发明的一种方式的偏振测定方法，测定从光源照射的偏振光，包括如下步骤:使用于检测偏振轴的检测用偏振器旋转到多个指定角度，在各指定角度检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息、即检测照度值；以及与检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息的定时同步地，直接检测未通过所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息、即参考照度值。
[0019]像这样，同步检测通过了检测用偏振器的来自光源的偏振光和不通过检测用偏振器的来自光源的偏振光。因此，将参考照度值设为检测照度值的基准值，即使在来自光源的偏振光的照度按时间变动的情况下，也能够进行考虑了该照度变动的偏振轴的检测。
[0020]另外，在上述的偏振测定方法中，包括如下步骤:根据在所述多个指定角度检测到的所述检测照度值和所述参考照度值，运算对所述检测照度值中包含的由从所述光源照射的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行了修正的修正后照度值；运算表示所述检测用偏振器的旋转角度与所述修正后照度值之间的关系的偏振光角度特性；以及根据所述偏振光角度特性来运算来自所述光源的偏振光的偏振特性。
[0021]像这样，能够使用参考照度值对检测照度值中包含的来自光源的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行修正。因此，能够运算出对上述误差进行了修正的偏振光角度特性。因此，即使在检测用偏振器旋转的期间，来自光源的偏振光变动了的情况下，仍能够高精度地检测该偏振光的偏振特性。
[0022]此外，本发明的一种方式的偏振光照射装置，向取向膜照射偏振光而进行光取向，具有:线状光源；多个偏振器，沿着所述线状光源延伸的方向配设；光照射部，照射利用所述偏振器将所述线状光源的光偏振后的偏振光；以及上述任一项所述的偏振测定装置，测定所述光照射部照射的偏振光。
[0023]由此，偏振测定装置能够高精度地测定从光照射部照射的偏振光的偏振特性。因此，能够恰当地判断从光照射部照射的偏振光的偏振轴是否成为所需的偏振轴。
[0024]发明效果
[0025]在本发明的偏振轴检测器中，与检测通过了检测用偏振器的来自光源的偏振光的第一偏振光检测部并列设置检测不通过检测用偏振器的来自光源的偏振光的第二偏振光检测部。因此，即使在来自光源的偏振光的照度按时间变动的情况下，能够进行考虑了该照度变动的偏振轴的检测。
[0026]另外，在具备该偏振轴检测器的偏振测定装置中，能够使用由第二偏振光检测部检测到的参考照度值，对由第一偏振光检测部检测到的检测照度值进行修正，所以即使在检测用偏振器旋转的期间，来自光源的偏振光变动的情况下，能够高精度地运算该偏振光的偏振特性。
【附图说明】
[0027]图1是示出本实施方式的偏振光照射装置的概要结构图。
[0028]图2是光照射部的与长边方向正交的方向的截面图。
[0029]图3是光照射部的长边方向的截面图。
[0030]图4是不出偏振器的配置例的图。
[0031]图5是示出偏振轴检测器的主要部分的立体图。
[0032]图6是示出偏振轴检测器的主要部分的截面立体图。
[0033]图7是示出第一偏振光检测部的构成的示意图。
[0034]图8是示出偏振测定装置的构成的框图。
[0035]图9是示出由控制部执行的偏振测定处理步骤的流程图。
[0036]图10是示出偏振光的角度特性的一个例子的图。
[0037]图11是用于说明本实施方式的效果的图。
[0038]附图标记说明:
[0039]10A、10B…光照射部；11…放电灯;12…反射镜;13A、13B…偏振器单兀;13Aa、13Ba…偏振器;13Ab、13Bb…框架;14…灯罩;20…搬运部;21…工作台;22…导向件;23…电磁铁；30…偏振测定装置；31…偏振轴检测器；311…第一偏