r>[0156]此外，偏振光的测定点是跨过设定基准值Θ a的预定旋转角度范围内的4点，该设定基准值Θ a被设定为使第一偏振光检测部311的检光器311a旋转时的检测光的照度为最小。而且，根据这4各测定点的照度信息，计算表示使第一偏振光检测部311的检光器311a旋转时的检测光的照度的周期性变化的角度特性。
[0157]像这样，在角度特性的计算中使用在检测光的照度为最小的角度附近测定到的照度信息，所以能够计算抑制了噪声成分的影响的角度特性。
[0158]另外，由于设置直接测定来自光照射部10A、10B的偏振光的第二偏振光检测部，所以在测定偏振光的偏振轴角度和消光比的同时，还能够测定偏振光的照度。像这样，能够同时进行偏振光的偏振特性的测定和偏振光的照度的测定，效率较高。
[0159]如上所述，在本实施方式中，即使在使用了具有随时间的照度变动的光源的情况下，也能够不受该照度变动的影响而简单且高精度地测定偏振光的偏振轴角度以及消光比。
[0160]因此，能够适当地判断从光照射部照射的偏振光的偏振轴是否成为所需的偏振轴。而且，在没有成为所需的偏振轴的情况下，能够进行为了设定为所需的偏振轴而调整光照射部的偏振器的配置角度等的处理，能够进行适当的光取向处理。
[0161](变形例)
[0162]在上述实施方式中，说明了将检测照度值Cd除以参考照度值Cr来计算修正后照度值Cc的情况，但例如也能够采用其他方式。
[0163]下面，作为其他方式，说明使用减法运算和平均值进行修正的方式。
[0164]首先，在Θ = 0a±2O°、θ = 0a±lO°的共计4点，第一偏振光检测部311和第二偏振光检测部312分别测定检测照度值Cd和参考照度值Cr。在此，将在各指定角度测定到的检测照度值Cd设为Cdl、Cd2、Cd3、Cd4，将在各指定角度测定到的参考照度值Cr设为 Crl、Cr2、Cr3、Cr4。
[0165]然后，控制部34计算在各指定角度测定到的参考照度值Crl?Cr4的平均值Cra，计算从检测照度值Cdn减去了平均值Cra与参考照度值Crn之差得到的值作为修正后照度值Cc。也就是说，修正后照度值Cc为Cel = Cdl - (Cra 一 Crl)、Cc2 = Cd2 一 (Cra 一Cr2)、Cc3 = Cd3 — (Cra — Cr3)、Cc4 = Cd4 — (Cra — Cr4)。
[0166]之后的处理与图9的步骤S5之后的处理相同。也就是说，控制部34根据修正后照度值Cel?Cc4，通过最小二乘法和牛顿法进行曲线拟合，求出拟合函数Acos2( θ +B) +C的常数A、B、Co控制部34采用这种方式计算偏振光角度特性。
[0167]在这种情况下，根据对检测照度值Cd中包含的由放电灯11的电弧波动引起的随时间的照度变动造成的误差进行了修正的照度值，求出偏振光角度特性，能够高精度地测定偏振轴角度以及消光比。
[0168]此外，在上述实施方式中，说明在Θ = Θ a±20°和Θ = Θ a±10°处各1次共计4次利用第一偏振光检测部311测定照度的情况，但测定次数可以根据允许测定时间适当设定。基于最小二乘法的计算在测定点为3点时也能够进行，所以测定次数也可以为3次。在测定了 4点的情况下，使用4组3点组合，对各组进行角度特性等，从而提高测定结果的精度。另外，测定次数当然也可以是5次以上。
[0169]另外，上述实施方式中，说明了在进行照度测定时以10°刻度旋转检光器311a的情况，也可以适当设定单位角度。
[0170]此外，在上述实施方式中，说明了将偏振测定位置设定在各偏振器13Aa、13Ba的中央的1处的情况，但考虑到在1个偏振器内的偏振轴角度的偏差，也可以对于各偏振器设置多处偏振测定位置。这种情况下，也可以通过对各偏振测定位置的测定结果进行加权平均等，计算最终偏振特性。
[0171]另外，在上述实施方式中，也可以设置根据由偏振测定装置30测定到的偏振轴角度来自动调整偏振器13Aa和偏振器13Ba的角度而使偏振器13Aa和偏振器13Ba的偏振轴角度成为所需偏振轴角度的机构。另外，偏振器13Aa和偏振器13Ba的角度调整也可以由操作者手动进行。
[0172]此外，在上述实施方式中，说明了通过支承部件311d将第一照度传感器311b的受光部311c固定到偏振轴检测器31的框体的情况，但是受光部311c也可以构成为与检光器311a—起旋转。其中，为了稳定地测定照度，优选如上述实施方式那样，将受光部311c固定，使检光器311a和受光部311c相对旋转。
[0173]另外，在上述实施方式中，说明了作为光源采用2灯式的放电灯11的情况，但也可以采用1灯式，也可以是3灯式以上。
[0174]此外，在上述实施方式中，说明了作为工件W使用形成了光取向膜的液晶面板的情况，也可以是例如、视场角补偿膜这样的缠绕到滚子上的长条带状的工件。
【主权项】
1.一种偏振轴检测器，检测从光源照射的偏振光的偏振轴，其特征在于，具备: 第一偏振光检测部，具有用于检测所述偏振轴的可旋转的检测用偏振器、以及检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息的第一照度传感器；以及 第二偏振光检测部，具有直接检测来自所述光源的偏振光的照度信息的第二照度传感器，与所述第一偏振光检测部并列设置。2.根据权利要求1所述的偏振轴检测器，其特征在于， 所述光源是线状光源， 所述第一照度传感器和所述第二照度传感器沿着所述线状光源延伸的方向排列配设。3.一种偏振测定装置，其特征在于，具备: 权利要求1或2所述的偏振轴检测器；以及 偏振光测定部，根据所述偏振轴检测器检测到的照度信息来测定所述偏振光， 所述偏振光测定部具备: 旋转控制部，将所述检测用偏振器旋转到多个指定角度； 照度信息修正部，根据检测照度值和参考照度值来运算修正后照度值，所述检测照度值是在所述多个指定角度由所述第一照度传感器检测到的照度信息，所述参考照度值是与所述第一照度传感器进行的该检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的照度信息，所述修正后照度值是对所述检测照度值中包含的由从所述光源照射的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行了修正后的照度值；以及 偏振特性运算部，运算表示所述检测用偏振器的旋转角度和由所述照度信息修正部运算出的修正后照度值之间的关系的偏振光角度特性，根据该偏振光角度特性，运算来自所述光源的偏振光的偏振特性。4.根据权利要求3所述的偏振测定装置，其特征在于， 所述照度信息修正部将由所述第一照度传感器检测到的所述检测照度值，除以与该检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的所述参考照度值，从而运算所述修正后照度值。5.根据权利要求3所述的偏振测定装置，其特征在于， 所述照度信息修正部通过从由所述第一照度传感器检测到的所述检测照度值，减去在所述多个指定角度由所述第二照度传感器检测到的各参考照度值的平均值和与所述检测照度值的检测同步地由所述第二照度传感器检测到的所述参考照度值之差，从而运算所述修正后照度值。6.根据权利要求3?5的任意一项所述的偏振测定装置，其特征在于， 所述偏振特性运算部具备偏振轴角度运算部，该偏振轴角度运算部根据所述偏振光角度特性，确定通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度成为极值的所述检测用偏振器的旋转角度，根据所确定的旋转角度，运算所述偏振光的偏振轴角度作为所述偏振特性。7.根据权利要求3?6的任意一项所述的偏振测定装置，其特征在于， 所述偏振特性运算部具备消光比运算部，该消光比运算部根据所述偏振光角度特性，确定通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度的最大值和最小值，根据所确定的最大值和最小值，运算所述偏振光的消光比作为所述偏振特性。8.一种偏振测定方法，测定从光源照射的偏振光，包括如下步骤: 使用于检测偏振轴的检测用偏振器旋转到多个指定角度，在各指定角度检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息、即检测照度值； 与检测通过了所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息的定时同步地，直接检测未通过所述检测用偏振器的来自所述光源的偏振光的照度信息、即参考照度值。9.根据权利要求8所述的偏振测定方法，包括如下步骤: 根据在所述多个指定角度检测到的所述检测照度值和所述参考照度值，运算对所述检测照度值中包含的由从所述光源照射的偏振光的随时间的照度变动引起的误差进行了修正的修正后照度值； 运算表示所述检测用偏振器的旋转角度与所述修正后照度值之间的关系的偏振光角度特性； 根据所述偏振光角度特性来运算来自所述光源的偏振光的偏振特性。10.一种偏振光照射装置，向取向膜照射偏振光而进行光取向，其特征在于，具有: 线状光源； 多个偏振器，沿着所述线状光源延伸的方向配设； 光照射部，照射利用所述偏振器将所述线状光源的光偏振后的偏振光；以及 权利要求3?7的任一项所述的偏振测定装置，测定所述光照射部照射的偏振光。
【专利摘要】一种偏振轴检测器、偏振测定装置、偏振测定方法和偏振光照射装置，在来自光源的光存在随时间的照度变动时，仍能高精度检测偏振光的偏振轴。偏振轴检测器具备：第一偏振光检测部(311)，具有用于检测偏振轴的可旋转的检测用偏振器(311a)和检测通过了检测用偏振器(311a)的来自光源的偏振光的照度信息的第一照度传感器(311b)；以及第二偏振光检测部(312)，与第一偏振光检测部(311)并列设置，具有直接检测来自光源的偏振光的照度信息的第二照度传感器(312a)。偏振测定装置根据第一偏振光检测部(311)检测到的照度信息和第二偏振光检测部(312)检测到的照度信息来运算来自光源的偏振光的偏振特性。
【IPC分类】G01N21/21, G01N21/01, G01J4/04
【公开号】CN105300524
【申请号】CN201510121772
【发明人】吉田启二
【申请人】优志旺电机株式会社
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年3月19日