述的形状图案11和点图案12的周期性与主板上的图案相同，因此在此省略详细的说明。
[0049]所述拍摄步骤S130为，通过光学系统对在检查对象基板S中推定形成有缺陷的检查区域进行拍摄后，登记为检查图像的步骤。
[0050]在此，对在检查对象基板S中推定形成有缺陷的检查区域进行检索的方法，可使用以往的众所周知的所有的方法。
[0051]图4为示意地表示在图1所示基板缺陷的检查方法S100中的检查对象基板S的图。
[0052]参照图4，在本发明的一实施例中，可使用自动光学检查设备(Auotmatic OpticalInspect1n:Α0Ι)，通过比光学系统更低的倍率获得检查对象基板S的整体图像，并由此而检索推定形成有缺陷的检查区域的大概位置。当然，所述的方式只是一个能够检索检查区域的大概位置的示例，显然不会局限于所述方式，只要是能够判断在检查对象基板S中推测形成有缺陷的区域的方法均能使用。
[0053]另外，检查区域表示检查对象基板S的部分区域，通过拍摄步骤S130获得的检查图像200(参见图5)具有与检查区域相同的形状，因此该检查区域成为在检查对象基板S上是否有缺陷的判断对象。
[0054]另外，在检查对象基板S的整体图像中拍摄到的图案中可存在脱离规定的周期性的图案，可将这些图案判断为缺陷。在此，检查区域可定义为脱离规定周期性的图案所存在的区域，即包括推定为缺陷的图案的区域。当然，除了此类方式外也可通过其他的方式来推定缺陷，但在检查区域包括推定为缺陷的区域这一点上是相同的。
[0055]在此，检查图像200 (参见图5)可拍摄为在检查对象基板S中推定形成有缺陷的地点位于图像的中央部。即，光学系统可在以检查对象基板S中推定形成有缺陷的地点为基准对中后进行拍摄。
[0056]另外，检查图像200(参见图5)和主图像100具有相同的倍率。这是因为，在登记步骤S120和拍摄步骤S130中利用相同的光学系统，对主板Μ和检查对象基板S进行拍摄的原因。
[0057]因此，可通过拍摄步骤S130推定形成有缺陷的区域，并且分析在推定形成有缺陷的区域上是否实质上产生了缺陷。
[0058]图5为示意地表示在图1所示基板缺陷的检查方法S100中，通过拍摄步骤S130拍摄的检查图像的图。在此，图5的(a)示意地表示在检查图像中拍摄到缺陷的情况，图5的(b)示意地表示在检查图像中没有拍摄到缺陷情况下的图像。
[0059]S卩，经拍摄的检查图像200具有与主图像100的形状图案11对应的形状图案211及与主图像100的点图案12对应的点图案212，并且还可包括主图像100中不存在的缺陷D。
[0060]在此，所谓的在检查图像200中存在的缺陷D意味着与用户的意图无关地在检查对象基板S上形成的图案等，该缺陷D可对检查对象基板S的性能带来大大小小的影响。
[0061]这种缺陷D可在执行检查对象基板S的制造工序或在检查对象基板S上印刷图案的工序等过程中形成在检查对象基板S上，并且根本上防止缺陷D的产生实际上不可能，因此在检查对象基板S的制造工序中或在完成检查对象基板S的制造工序后，进一步进行对检查对象基板S的检查工序。
[0062]图6为示意地表示在图1所示基板缺陷的检查方法S100中，将检查图像匹配到主图像上的匹配步骤的图。
[0063]参照图6，所述匹配步骤S140为，对主图像100和检查图像200进行匹配，从而分析在检查对象基板S的检查区域内是否存在缺陷的步骤。
[0064]作为对主图像100和检查图像200进行匹配的方法，在本发明的一实施例中，可通过将所述检查图像200和在所述主图像100上对应所述检查区域的区域互相交替，从而在所述主图像100上插入检查图像200。
[0065]与此不同地，也可从所述主图像100上提取对应检查区域的图像后，直接与检查图像200进行比较。
[0066]进行所述匹配步骤S140的结果，在检查图像200上有可能确认到或者没有确认到缺陷。在检查图像200上确认缺陷时为如所述图5的(a)所示，在检查图像200上没有确认缺陷时为如所述的图5的(b)所示。
[0067]在此，在检查图像200上没有确认到缺陷的情况例如如下:如本发明的一实施例，在拍摄步骤S130中通过Α0Ι等设备拍摄检查对象基板S的整体图像，并推定缺陷的大概位置时，有可能因为根据反光等观察条件拍摄到错误的图像等原因，获得部分错误的检查对象基板S的整体图像，并将该图像推定为缺陷。
[0068]如此，当通过匹配步骤S140在检查图像200中没有检索到缺陷时，相关的缺陷可判断为实质上不是缺陷。
[0069]另外，在检查图像200中确认到缺陷时，进行确定步骤及缺陷处理步骤，其具体方法如下。
[0070]图7为示意地表示在图1所示基板缺陷的检查方法S100中用于检查缺陷位置的确定步骤S150的图。
[0071]参照图7，确定步骤S150为，在通过匹配步骤S140在检查图像200中确认到缺陷时，确定缺陷位置的步骤。
[0072]如上所述，在拍摄检查图像200时，以检查对象基板S中推定形成有缺陷的地点位于检查图像200的中央部的方式进行拍摄，因此当推定形成有缺陷的地点和形成有缺陷的地点一致时，可将检查图像200的中央部判断为缺陷的形成位置。
[0073]与所述内容不同地，推定形成有缺陷的地点和形成有缺陷的地点有可能实质上不一致。此时，可将主图像100上的缺陷位置设定为第一坐标值XI，将主图像100上的检查图像200的位置设定为第二坐标值XI，并通过第一坐标值XI及第二坐标值X2的变位来确定检查图像200上的缺陷的位置。
[0074]在此，作为第二坐标值X2可由在主图像100上的检查图像200的特定位置来设置，例如，可将在主图像100上的检查图像200的左上端边缘位置设定为第二坐标值X2。
[0075]所述缺陷处理步骤S150为，利用通过所述的确定步骤S140获得的缺陷的绝对坐标，来处理检查对象基板S上缺陷的步骤。在此，作为处理缺陷的方法，可使用在以往技术中使用的任何一种方法。
[0076]本发明的权利范围并不限于上述实施例，在所附的权利要求书的范围内可由多种形式的实施例实现。在不脱离权利要求书所要求保护的本发明精神的范围内，本发明所属技术领域的技术人员均能变形的各种范围也属于本发明的权利要求书所记载的范围内。
【主权项】
1.一种图案缺陷检查方法，其特征在于，包括: 准备步骤，准备不存在缺陷的主板； 登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像； 拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及 匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷。2.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 所述登记步骤及所述拍摄步骤分别进行多次， 所述登记步骤在所述拍摄步骤之前至少进行一次。3.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 所述匹配步骤通过将所述主图像上的与所述检查图像对应的区域取代为所述检查图像，从而检索所述缺陷。4.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 进一步包括缺陷处理步骤，当通过确定步骤检索到所述缺陷的位置时，在所述检查对象基板上处理所述缺陷。5.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 所述光学系统具有可转换的多个倍率， 所述登记步骤在所述光学系统的各个倍率下，登记所述主图像。6.根据权利要求1?5中的任一项所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 在所述匹配步骤之后，进一步包括确定步骤，利用在所述主图像上的所述检查图像的位置及所述检查图像上的所述缺陷的位置中的至少一个来确定所述缺陷的位置。7.根据权利要求6所述的图案缺陷检查方法，其特征在于， 所述确定步骤将所述主图像上的所述缺陷的位置设定为第一坐标值，指定所述主图像上的所述检查图像的位置并将其设定为第二坐标值，通过所述第一坐标值及所述第二坐标值之间的变位，确定在所述检查图像上的所述缺陷的位置。
【专利摘要】本发明涉及一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法利用对主板通过光学系统多次拍摄后进行结合而成的主图像，能够容易地检查基板上形成的缺陷，其中包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统，以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷。
【IPC分类】G01N21/956
【公开号】CN105301015
【申请号】CN201510435019
【发明人】黃映珉, 金相润, 裵贞奉, 朴喜载
【申请人】株式会社Snu精密
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年7月22日