图案缺陷检查方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种图案缺陷检查方法，更为详细地涉及一种能够在大面积的基板上形成的图案中容易地检查缺陷的存在与否及缺陷位置的图案缺陷检查方法。
【背景技术】
[0002]设备用基板的表面有时会有将单位图案周期性地排列以形成重复图案的情况。此类的单位图案本来是有规则地排列的，但是有规则地排列的图案有时会包括无意中产生的具有另一规则性的缺陷(defect)。
[0003]当产生此类缺陷时，此类缺陷在后续工艺中会被转印到设备用基板上形成的图案上，从而最终会产生设备用基板不良的问题，因此有必要事先检查重复图案是否产生有缺陷。
[0004]通过检查每个图案的形状的方法来检查此类缺陷，在时间和成本的角度来看几乎不可能。因此通过在整个区域上具有周期性的其他图案中检查没有周期性的部分，并且将没有周期性的部分确定为缺陷的方式来进行检查。
[0005]另外，最近的设备用基板具有大面积化的倾向，而在这种大面积化的基板表面上排列的整个图案区域中，难以执行对是否存在缺陷的精密的检查。因此对整个图案区域拍摄低倍率图像并确认推定为缺陷的图案，即没有周期性的图案的大概位置，并通过高倍率的光学系统，对包括该没有周期性的图案的区域进行图像拍摄，并进行没有周期性的图案是否为缺陷的分析过程，从而判断缺陷的产生与否。
[0006]S卩，对整个基板的图案形状进行低倍率拍摄，并且确认是否存在没有周期性的图案后，当存在没有周期性的图案时，对该没有周期性的图案通过高倍率的光学系统进行放大拍摄，从而判断该没有周期性的图案是否为缺陷。
[0007]然而，在所述方法中，在通过高倍率光学系统拍摄的部分中有时会产生只拍摄到有周期性图案的一部分的情况，从而会产生将其认为没有周期性的图案的问题。而且，在通过高倍率光学系统拍摄的部分的图案中无法确认周期性，从而会产生无法确认通过高倍率光学系统拍摄的部分在基板中相当于哪一部分的问题。
[0008]当产生此类问题时，尝试了通过高倍率光学系统重新拍摄先前所拍摄部分的周围区域后进行结合，从而消除所述的问题，但是进一步产生在缺陷的分析过程中所需的时间显著增加的问题。
【发明内容】
[0009]因此，本发明是为了解决所述的以往的问题而提出的，其目的是提供一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法通过对检查图像和已登记的主图像推定进行匹配，从而能够容易地检查基板上形成的缺陷。其中，所述主图像为通过用于检查基板的光学系统来登记的，所述检查图像为通过光学系统对检查对象基板中推定为存在缺陷的区域进行拍摄而形成的图像。
[0010]所述目的通过本发明的图案缺陷检查方法来实现，该图案缺陷检查方法的特征在于，包括:准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷(defect)的检查区域，通过所述光学系统以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷(defect)。
[0011]在此，优选所述登记步骤及所述拍摄步骤分别进行多次，所述登记步骤在所述拍摄步骤之前至少进行一次。
[0012]此外，优选所述匹配步骤通过将所述主图像上的与所述检查图像对应的区域取代为所述检查图像，从而检索所述缺陷。
[0013]此外，优选所述光学系统具有可转换的多个倍率，所述登记步骤按照所述光学系统的各个倍率，登记所述主图像。
[0014]此外，优选在所述匹配步骤之后进一步包括确定步骤，利用在所述主图像上的所述检查图像的位置及所述检查图像上的所述缺陷的位置中的至少一个来确定所述缺陷的位置。
[0015]此外，优选进一步包括缺陷处理步骤，当通过所述确定步骤检索到所述缺陷的位置时，在所述检查对象基板上处理所述缺陷。
[0016]此外，优选所述确定步骤将所述主图像上的所述缺陷的位置设定为第一坐标值，指定所述主图像上的所述检查图像的位置并将其设定为第二坐标值，通过所述第一坐标值及所述第二坐标值之间的变位，确定在所述检查图像上的所述缺陷的位置。
[0017]根据本发明，提供一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法能够迅速且简单地检查到在基板上形成的缺陷。
[0018]此外，通过将主图像事先或实时登记，从而能够最大限度地减少在检查每个缺陷所需的时间。
[0019]此外，当在基板上形成有缺陷时，能够准确地确认缺陷的位置。
【附图说明】
[0020]图1为示意地表示本发明的一实施例的基板缺陷的检查方法的顺序图，
[0021]图2为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法中的准备步骤中所需的主板的图，
[0022]图3为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法中，对主板进行多次拍摄，并登记为主图像的登记步骤的图，
[0023]图4为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法的拍摄步骤中的检查对象基板的图，
[0024]图5为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法中通过拍摄步骤拍摄的检查图像的图，
[0025]图6为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法中将检查图像匹配到主图像上的匹配步骤的图，
[0026]图7为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法中用于检查缺陷位置的确定步骤的图。
[0027]附图标记说明
[0028]100:主图像200:检查图像
[0029]S100:图案缺陷检查方法S110:准备步骤
[0030]S120:登记步骤S130:拍摄步骤
[0031]S140:匹配步骤S150:确定步骤
[0032]S160:缺陷处理步骤
【具体实施方式】
[0033]下面，参照附图对本发明的一实施例的图案缺陷的检查方法S100进行详细说明。
[0034]图1为示意地表示本发明的一实施例的基板缺陷的检查方法S100的顺序图。
[0035]参照图1，本发明的一实施例的基板缺陷的检查方法S100即使在检查对象基板为大面积的状态下，也能够迅速简单地检查到在检查对象基板上是否形成有缺陷，该方法包括准备步骤S110、登记步骤S120、拍摄步骤S130、匹配步骤S140、确定步骤S150及缺陷处理步骤S160。
[0036]图2为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法S100中的准备步骤中所需的主板的图。
[0037]参照图1，所述准备步骤S110为准备不存在缺陷的主板Μ的步骤。S卩，所谓的主板Μ意味着，用户所要印刷的图案印刷为超出用户所要求的准确性的基板。
[0038]在本发明的一实施例中，主板Μ上的图案10包括横向和纵向排列的形状图案11及在形状图案11的上侧形成的点图案12。当将形状图案11和在形状图案11的上侧配置的点图案12视作一组(set)时，以六组图案作为一个单位来重复并具有周期性。
[0039]图3为示意地表示在图1的基板缺陷的检查方法S100中，对主板进行多次拍摄，并登记为主图像的登记步骤的图。
[0040]参照图3，所述登记步骤S120为，利用第一倍率的光学系统，对主板Μ的彼此不同的区域进行多次拍摄后进行结合，并且登记为主板Μ的整体图像即主图像100的步骤。
[0041]在此，主图像100为拍摄所述主板Μ而形成的图像，在后述步骤中，该主图像100成为判断推定在检查对象基板S上形成的缺陷是否为实质上的缺陷的基准，并且成为当确认为缺陷时检索缺陷的准确位置在哪个位置的基准。
[0042]此外，主图像100通过对主板Μ的彼此不同的区域进行多次拍摄后，对其进行结合而形成。进一步，主图像100可表示主板Μ的整体形貌，也可表示推定在主板Μ上形成有缺陷的区域的周边区域的部分形貌。
[0043]在此，所谓的彼此不同的区域包括各区域设置为彼此独立的区域的情况，也包括各区域边缘的部分区域重叠设置的情况。
[0044]另外，在实施本发明的实施例中使用的光学系统可以多个倍率转换，并且可在各个倍率下，对主板Μ的彼此不同的区域分别进行拍摄后进行结合，从而登记多个主图像。
[0045]例如，当本发明的一实施例中的光学系统可转换为10倍、20倍及30倍中的一个倍率时，可登记分别在10倍、20倍及30倍下的主图像。
[0046]此外，为了登记主图像而对主板Μ进行拍摄的光学系统，与在后述的拍摄步骤S130中针对检查对象基板拍摄检查图像的装置相同，最终主图像100和检查图像200被拍摄为相同倍率的图像。
[0047]在图3所示的本发明的一实施例中，光学系统对主板Μ共四次进行拍摄并进行结合，从而登记主图像。即，对左侧上端的第一图像110、右侧上端的第二图像120、左侧下端的第三图像130及右侧下端的第四图像140进行结合，在各图像之间的边界都包括部分重叠的区域。
[0048]在本发明的一实施例中，主图像100具有与主板Μ相同地沿行和列排列的形状图案11及在形状图案11的上侧形成的点图案12，所