热式空气流量计的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备用树脂覆盖具备流量检测部的传感器芯片与处理由流量检测部检测的信号的LSI而构成的传感器部件的热式空气流量计。
【背景技术】
[0002]测量气体流量的热式空气流量计具备用于测量流量的流量检测部，通过在上述流量检测部与作为测量对象的气体之间进行热传递，测量气体的流量。热式空气流量计测量的流量在各种各样的装置中作为重要的控制参数而广泛地被使用。热式空气流量计的特征为能够以相比较于其他方式的流量计相对高的精度测量气体流量、如质量流量。
[0003]可是，期望更进一步提高气体流量测量精度。例如，在搭载内燃机构的车辆中，节省燃油费的期望与尾气净化的期望非常高。对应这些期望，谋求以高精度测量作为内燃机构主要参数的吸入空气量。测量被导入内燃机构的吸入空气的热式空气流量计具备取入吸入空气量的一部分的副通路与配置于上述副通路的流量检测部，通过上述流量检测部在与被测量气体之间进行热传递，测量流经上述副通路的被测量气体的状态，输出表示向上述内燃机构导入的吸入空气量的电力信号。这样的技术例如公开于日本特开2011-252796号公报(专利文献1)中。
[0004]在专利文献1中的空气流量测量装置中，具备形成取入的空气流经的内部流路的箱体、配置于副流路内的传感器芯片、处理传感器芯片产生的电力信号的电路芯片，传感器芯片与电路芯片作为成为一个结构部件的传感器部件而组装(段落0027、0031)。箱体具备嵌入传感器部件的孔，在形成孔的面上设置分别面接触于设置于传感器部件上的两个抵接面的两个抵接面(段落0033)。在形成孔的面上，在除了两个抵接面的面部上设置肋，传感器部件通过以压接于肋的顶端的方式压入孔中，固定于箱体中(段落0034)。由此，在传感器部件与箱体之间遮断线膨胀的传递，以线膨胀差引起的应力不作用在传感器芯片、电路芯片的方式，抑制传感器芯片、电路芯片的元件的阻值的变动(摘要)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2011-252796号公报
【发明内容】
[0008]发明所要解决的课题
[0009]为了通过热式空气流量计以高精度测量空气的流量，谋求在设置于用于测量流经主通路的空气流量的热式空气流量计上的副通路上，以高精度定位流量检测部并固定，准确地测量由流量检测部检测的流量。在记载于专利文献1中的技术中，预先用树脂制作具备开有用于嵌入传感器部件的孔的内部流路的箱体，与该箱体不同地制造具备流量检测部传感器部件，其次以向内部流路的孔插入传感器部件的状态，将传感器部件固定于箱体中。在向内部流路开口的孔与传感器芯片之间的间隙、以及传感器部件向箱体中的嵌入部分的间隙中填充弹性粘接剂，以粘接剂的弹性力吸收相互的线膨胀系数差。
[0010]而且，为了减小传感器部件与设置于箱体上的副通路之间的位置与角度的偏差，相对于副通路(内部流路)准确地定位传感器部件(尤其是流量检测部)，与箱体的模制成型的同时固定含有流量检测部的传感器部件有效。
[0011]可是，在这种情况下，由于传感器部件与箱体之间的线膨胀系数差，引起在LSI:Large Scale Integrat1n(电路芯片)内抵抗中产生的热应力相比较于使用粘接剂的情况高，测量精度降低的课题。
[0012]本发明的目的在于提供一种热式空气流量计，该热式空气流量计通过确保流量检测部的高定位精度、并降低在LSI内的电阻产生的热应力的影响，从而测量精度高。
[0013]用于解决课题的方法
[0014]为了实现上述目的，本发明的热式空气流量计具备将具备电阻的电路部与流量检测部以上述流量检测部的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件、具备副通路将上述流量检测部配置于上述副通路内并收纳上述传感器部件的箱体，在上述传感器部件用第一树脂模制成形、上述箱体用第二树脂模制成形的热式空气流量计中，上述传感器部件具备用形成上述箱体的上述第二树脂固定于上述箱体、相对于上述传感器部件产生与上述流量检测部露出的面平行的方向的拉伸应力的树脂结构。
[0015]此时，在将电路部(LSI)的电阻配置面侧作为表面的情况下，可以使形成于传感器部件的背面侧、覆盖传感器部件的箱体树脂体积比形成于传感器部件的表面侧、覆盖传感器部件的箱体树脂体积大。或者，在将LSI的电阻配置面侧作为表面侧的情况下，形成于LSI的表面侧的传感器部件树脂的厚度tl与形成于LSI的背面侧的传感器部件树脂的厚度t2的关系可以为tl〈t2。
[0016]发明效果
[0017]根据本发明，在与箱体的模制成型同时固定传感器部件的情况下，由于能降低对LSI的产生应力，所以能够得到确保流量检测部的高的定位精度、测量精度高的热式空气流量计。
[0018]上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明而变得清楚。
【附图说明】
[0019]图1A是表示本发明的一实施例中的热式空气流量计的上面的俯视图。
[0020]图1B是关于图1A所示的热式空气流量计的右侧面，拆下设置于侧面的罩部件并表不的俯视图。
[0021]图2是表示涉及本发明的第一实施方式中的传感器部件的俯视图。
[0022]图3是表示图2中的II1-1II剖面的剖视图。
[0023]图4是示意地表示图1B中IV -1V剖面的剖视图。
[0024]图5是关于图2中的V - V剖面，表示传感器部件的变形样式的示意图。
[0025]图6是涉及本发明的第二实施例中的传感器部件的俯视图。
[0026]图7是表示图6中II1-1II剖面的剖视图。
[0027]图8是关于涉及本发明的第三实施例中的传感器部件，用与图3以及图7相同的剖面表示的剖视图。
【具体实施方式】
[0028]以下，关于本发明的一实施例进行说明。
[0029]首先，关于热式空气流量计的整体结构，使用图1A以及图1B进行说明。图1A是表示热式空气流量计300的上面的俯视图。图1B是关于热式流量计300的侧面拆除设置于侧面的罩部件302、303而表示的俯视图。而且，图1B表示图1A的右侧面。另外，图1B所表示的箭头26表示流经吸气管(未图示)的空气的方向。在图1A以及图1B中所说明的整体结构共通于以下所说明的各实施例。
[0030]热式空气流量计300的图1A所示的面朝向流经吸气管中的空气流的上游侧设置。以下，热式空气流量计300中的上下方向相对于流经吸气管中的空气流将位于上游侧的方向作为上方向、将位于下游侧的方向作为下方向而进行说明。该上下方向并不意味着在热式空气流量计300安装于汽车等的内燃机中的实装状态下的上下方向。另外，如图1中箭头表示那样定义热式空气流量计300的长度方向300L、宽度方向300W。而且，将相对于长度方向300L以及宽度方向300W垂直的方向作为高度方向。300C表示宽度方向300L中的中心线。
[0031]如图1A所示，在热式流量计300的外壳(箱体)301的两侧面安装薄板状的罩部件302、303。热式空气流量计300在吸气管的壁面固定凸缘部(安装部)304，在外壳301的前端侧设有取入流经吸气管的空气的一部分的副通路305。305a是副通路305的入口开口。入口开口 305a在外壳301的宽度方向3