以tl〈t2的方式形成。
[0050]其次，关于由第二实施例产生的作用效果进行说明。在传感器部件100'中，在LSI3与第一树脂24之间的界面，在电阻7上产生由第一树脂24的树脂收缩以及热收缩而产生的压缩应力。在本实施例中，关于传感器部件100'的表面侧与背面侧的树脂厚度tl、t2，由于tl〈t2的关系成立，因此通过第一树脂24的表面侧与背面侧的热收缩差在传感器部件10(V上产生图5中所示的弯曲，在LSI3上也会产生同样的弯曲。其结果，对LSI3内的电阻7施加拉伸应力，能够降低或相抵产生于电阻7上的压缩应力。并且，即使对于在本实施例中所表示的传感器部件10(V的结构上安装实施例1中所表示的箱体301的结构来说，能够降低产生于电阻7上的压缩应力也是理所当然的。
[0051]实施例3
[0052]使用图8，关于热式空气流量计的第三实施例进行说明。以下，关于作为本实施例的特征性部分的传感器部件100'进行说明。图8是关于在涉及本发明的第三实施例中的传感器部件100"用与图3以及图7相同的剖面表示的剖视图。
[0053]在本实施例中，在第二实施例中的传感器部件10(V中，传感器芯片4与LSI (电路部)3 —体化，作为一个半导体芯片而构成。即使在该情况下，通过位于传感器部件100"的表面侧的树脂厚度tl与位于传感器部件100"的背面侧的树脂厚度t2以tl〈t2的方式形成，能够得到与实施例2相同的效果，提高流量的测量精度。
[0054]即使在本实施例中也能组装实施例1中的保持部20、21。或者，在实施例1中可以如同本实施例那样将传感器芯片4与LSI3 —体化，作为一个半导体结构而构成。
[0055]在第一实施例、第二实施例以及第三实施例中，具备相对于传感器部件100、100r、100"产生与流量检测部4a露出的面平行的方向的拉伸应力的树脂结构。该树脂结构是使位于流量检测部4a相对于LSI (电路部)3露出的传感器部件100、100r、100"的表面侧的树脂体积与位于传感器部件100、100'、100"的背面侧的树脂体积不同的结构。并且，拉伸应力由于该树脂结构在传感器部件100、100'、100"上产生弯曲变形而产生，通过LSI3的电阻7位于拉伸应力作用的部分上，能够抵消或减轻上述压缩应力。在第一实施例中，该树脂结构是使接触于传感器部件100的表面侧的表面接触的第二树脂(构成保持部20的树脂)的体积与接触于传感器部件100的背面侧的表面的第二树脂(构成保持部21的树脂)的体积不同的结构。并且，相比较于接触于传感器部件100的表面侧的表面的第二树脂(构成保持部20的树脂)的体积，接触于传感器部件100的背面侧的表面的第二树脂(构成保持部21的树脂)的体积大。此时，如记载于第二实施例中的传感器部件100'，可以使相对于LSI3设置于传感器部件100的背面侧的第一树脂24的厚度比相对于LSI3设置于传感器部件100的表面侧的第一树脂24的厚度厚。另外，在第二实施例中，树脂结构通过使相对于LSI3设置于传感器部件100'的背面侧的第一树脂的厚度比相对于LSI3设置于传感器部件100'的表面侧的第一树脂的厚度厚的结构而能实现。
[0056]并且，本发明不限定于上述各实施例，包含多种的变形例。例如，上述实施例为了容易地理解本发明进行说明而进行详细说明，未必限定于具备全部结构。另外，可将某个实施例结构的一部分置换为其他实施例的结构，另外，也可在某个实施例的结构中追加其他实施例的结构。另外，关于各实施例的结构的一部分，可以进行其他结构的追加?删除?置换。
[0057]产业上的可利用性
[0058]本发明能够适用于上述的用于测量气体流量的测量装置。
[0059]符号说明
[0060]1—导线框，2—换气板，3 —LSI，4—传感器芯片，5—粘接带，6—粘接带，7 —电阻，8—金线，9—金线，100、100'、100"—传感器部件，11—箱体，12—副通路，14—保持部，20—保持部，21—保持部，24—第一树脂，26—空气。
【主权项】
1.一种热式空气流量计，具备:传感器部件，其通过将具备电阻的电路部与流量检测部以上述流量检测部的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成；以及箱体，其具有副通路，将上述流量检测部配置于上述副通路内，并收纳上述传感器部件，上述传感器部件由第一树脂模制成形，上述箱体由第二树脂模制成形，该热式空气流量计的特征在于， 上述传感器部件利用形成上述箱体的上述第二树脂固定于上述箱体， 具备相对于上述传感器部件产生与上述流量检测部露出的面平行的方向的拉伸应力的树脂结构。2.根据权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于， 上述树脂结构是使位于上述流量检测部相对于上述电路部露出的上述传感器部件的表面侧的树脂的体积与位于上述传感器部件的背面侧的树脂的体积不同的结构。3.根据权利要求2所述的热式空气流量计，其特征在于， 上述拉伸应力通过上述树脂结构在上述传感器部件上产生弯曲变形而产生，上述电路部的电阻位于上述拉伸应力作用的部分。4.根据权利要求3所述的热式空气流量计，其特征在于， 上述树脂结构是使与上述传感器部件的表面侧的表面接触的上述第二树脂的体积和与上述传感器部件的背面侧的表面接触的上述第二树脂的体积不同的结构。5.根据权利要求4所述的热式空气流量计，其特征在于， 与上述传感器部件的背面侧的表面接触的上述第二树脂的体积比与上述传感器部件的表面侧的表面接触的上述第二树脂的体积大。6.根据权利要求5所述的热式空气流量计，其特征在于， 使相对于上述电路部设置于上述传感器部件的背面侧的上述第一树脂的厚度比相对于上述电路部设置于上述传感器部件的表面侧的上述第一树脂的厚度厚。7.根据权利要求3所述的热式空气流量计，其特征在于， 上述树脂结构是使相对于上述电路部设置于上述传感器部件的背面侧的上述第一树脂的厚度比相对于上述电路部设置于上述传感器部件的表面侧的上述第一树脂厚度厚的结构。8.根据权利要求5或7所述的热式空气流量计，其特征在于， 上述第一树脂是热固化性树脂，上述第二树脂是热可塑性树脂。
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计，该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此，在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301)，传感器部件(100)由第一树脂模制成形，箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中，传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301)，具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。
【IPC分类】G01F1/684
【公开号】CN105408727
【申请号】CN201480041230
【发明人】绪方公俊, 石塚典男, 田代忍, 德安升, 森野毅
【申请人】日立汽车系统株式会社
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2014年2月3日
【公告号】EP3026402A1, US20160161312, WO2015011936A1