能够向手抖补正装置104进行供给。手抖补正装置104能够对应陀螺仪传感器1000的检测信号，使例如镜片组105内的特定的镜片移动。由此能够校正手抖。此外，手抖校正能够用于数码摄像机。
[0150]另外，本发明的具备振动片的电子设备除了图11的便携式电话机、图12的数码相机之外，还适用于例如个人计算机(移动型个人计算机)、喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、笔记本电脑、电视机、摄像机、磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(包括带通信功能)、电子词典、电子计算器、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗监控设备、电子望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、探鱼器、各种测量设备、仪器(例如、车辆、飞机、船舶仪表)、飞行模拟装置等。
[0151]移动体
[0152]图13示意性示出作为移动体的一个具体示例的汽车106。汽车106中被组装有具有振动片2的陀螺仪传感器1000。陀螺仪传感器1000能够检测车体107的姿态。陀螺仪传感器1000的检测信号能够被供给到车身姿态控制装置108中。车体姿态控制装置108能够对应例如车体107的姿态，控制悬架的硬度，并能够控制分别的车轮109的制动。此外，姿态控制能够用于双足步行机器人或飞机、直升机等各种移动体中。
[0153]以上，对本发明的振动片、角速度传感器以及电子设备基于图示的实施方式进行了说明，但本发明并非限定于此，各部分的构成可以以具有相同功能的任意构成而置换。此夕卜，本发明在所述各实施方式中，还可以以任意的两种以上的构成(特征)而组合。
[0154]此外，各振动臂的顶端部中，根据需要，还可以设置与基端部相比横截面积较大的质量部(锤头)。由此，能够将振动片较小地设置，并将振动臂的弯曲振动的频率设置得较低。
[0155]此外，本发明的振动片(振动片)还能够应用于晶体振荡器(SPXO)、压控晶体振荡器(VCXO)、温度补偿晶体振荡器(TCXO)、恒温水浴晶体振荡器(OCXO)等压电振荡器。
[0156]被形成于振动部5、6的槽部55、56的形状能够设置为图14或图15中所示的截面形状。即，槽部55、56的截面形状对应蚀刻特性而形成。特别地，将振动片2由具有向异性的晶体形成的情况下，将晶体湿法蚀刻时，能够如图14或图15所示的形状进行蚀刻加工。另外，如图15所示，振动部5、6的四角可被斜切。这种情况下，能够满足al >bl且a2 >b2，并在第一中心线L”上振动部具有连续的最大宽度。
[0157]符号说明
[0158]2……振动片；3……陀螺仪传感器(角速度传感器)；4……基部；5……振动臂(驱动臂);511……第一主面；512……第二主面；513……第一侧面；514……第二侧面；55……第一槽部;56……第二槽部;6……振动臂(驱动臂);65……第一槽部;66……第二槽部；613……第一侧面；614……第二侧面；7……振动臂(检测臂)；81……第一驱动电极；82……第二驱动电极；9……封装件；91……底基板；92……框部件；93……盖部件；
96......固定材料；900......电源；101......智能手机(电子设备)；103......数码相机(电子设备)；106……汽车(移动体)；1000陀螺仪传感器；P……二等分点；S……内部空间；L’……第二中心线；L”……第一中心线。
【主权项】
1.一种振动片，其特征在于， 具备振动部，所述振动部包含第一主面、所述第一主面的相反侧的第二主面、第一侧面、与所述第一侧面相反侧的第二侧面，且所述振动部在第一方向上延伸，其中， 所述振动部具有: 第一槽部，其形成在所述第一主面； 第二槽部，其形成在所述第二主面， 从与所述第一主面正交的方向俯视观察时，所述第一槽部与所述第二槽部相比，向远离所述第一侧面的方向偏移设置， 在与所述振动部所延伸的所述第一方向正交的横截面上，所述第一槽部的所述第一侧面侧的第一开口端、和所述第一主面与所述第一侧面相交的第一端之间的长度al长于，所述第一槽部的所述第二侧面侧的第二开口端、和所述第一主面与所述第二侧面相交的第二端之间的长度bl， 在所述横截面上，所述第二槽部的所述第二侧面侧的第三开口端、和所述第二主面与所述第二侧面相交的第三端之间的长度a2长于，所述第二槽部的所述第一侧面侧的第四开口端、和所述第二主面与所述第一侧面相交的第四端之间的长度b2， 当将所述第一槽部的深度设为dl，将所述第二槽部的深度设为d2，将所述第一主面与所述第二主面之间的距离设为t时，满足dl+d2 < to2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 沿着将所述第一主面与所述第二主面之间的距离二等分的第一中心线，所述振动部跨所述横截面的最大宽度而连续地被形成。3.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 从与所述第一主面正交的方向俯视观察时，所述第一槽部的一部分与所述第二槽部的一部分重叠。4.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述第一槽部以在将所述第一侧面和所述第二侧面之间的最大宽度二等分的第二中心线与所述第二侧面之间于所述第一主面上开口的方式而被形成， 所述第二槽部以在所述第二中心线与所述第一侧面之间于所述第二主面上开口的方式而被形成。5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于， 满足 al > 2父131，且，32 > 2Xb2。6.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于，满足 0.3t ( dl+d2 ( 0.95to7.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于，满足 0.4t ( dl+d2 ( 0.9t。8.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于，满足 0.5t ( dl+d2 ( 0.8t。9.如权利要求2至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于， 当将所述第一主面与所述第二主面之间的距离设为t时，所述第一槽部的深度dl和所述第二槽部的深度d2满足dl < 0.5t，且d2 < 0.5t。10.如权利要求9所述的振动片，其特征在于，满足 0.15t 彡 dl 彡 0.475t，且，0.15t 彡 d2 彡 0.475t。11.如权利要求9所述的振动片，其特征在于，满足 0.2t ^ dl ^ 0.45t，且，0.2t ^ d2 ^ 0.45t。12.如权利要求9所述的振动片，其特征在于，满足 0.25t ^ dl ^ 0.4t，且，0.25t ^ d2 ^ 0.4t。13.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的振动片，其特征在于， 在所述横截面上，将所述第一侧面与所述第二侧面之间的最大宽度设为W，将所述第一槽部的开口宽度以及所述第二槽部的开口宽度设为Μ时，满足0.1ff ^ Μ ^ 0.8W。14.如权利要求13所述的振动片，其特征在于，满足 0.2W ^ Μ ^ 0.7ff015.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于， 在与所述振动部所延伸的所述第一方向正交、且与所述第一主面平行的第二方向上，所述第一开口端位于与所述第四开口端相比靠一侧的位置处，所述第二开口端位于与所述第三开口端相比靠所述一侧的位置处。16.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片，其特征在于， 具有: 基部； 第一驱动部以及第二驱动部，其由从所述基部起沿着所述第一方向平行地延伸的所述振动部而形成； 所述第一驱动部以及所述第二驱动部以相对于沿着所述第一方向的线段而呈线对称的方式而被配置，且在所述横截面的与所述第一主面平行的方向上进行反相振动，而在所述横截面的与所述第一主面正交的方向上进行同相振动。17.如权利要求16所述的振动片，其特征在于， 还具备检测部，当所述振动片旋转时，所述检测部对应于向所述第一驱动部以及所述第二驱动部施加的科里奥利力而进行弯曲振动。18.一种角速度传感器，其特征在于，具备: 权利要求1至权利要求4中任一项所述的振动片； 检测电路，其检测围绕所述振动片的与所述第一方向平行的轴的角速度。19.一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求18所述的角速度传感器。20.一种移动体，其特征在于， 具备权利要求18所述的角速度传感器。
【专利摘要】本发明提供一种抑制不必要的振动而生成稳定的斜向振动的振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片(2)具备振动部(5)，振动部(5)包含第一主面(511)、第二主面(512)、第一侧面(513)、第二侧面(514)，且所述振动部(5)在第一方向(y)上延伸。振动部具有形成在第一主面的第一槽部(55)和形成在第二主面的第二槽部(56)，从与第一主面正交的方向俯视观察时，第一槽部以及第二槽部在第二方向y上并且以向彼此的反方向偏移的方式设置。
【IPC分类】G01C19/5621
【公开号】CN105444747
【申请号】CN201510595038
【发明人】石井昌宏, 菊池尊行
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年9月17日
【公告号】US20160087190