一种高温绝压传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种传感器，特别涉及一种高温绝压传感器及其制造方法。
【背景技术】
[0002]传感器(英文名称:transducer/sensor)是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
[0003]现有的传感器不适于在高温条件工作。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种高温绝压传感器及其制造方法。
[0005]为了实现上述目的，本发明所采取的措施:
[0006]—种高温绝压传感器，包括机壳和基板，所述的机壳与基板之间形成一个真空腔，真空腔内安装有由传感器壳和传感器敏感膜片组成的传感器，基板上开设有与传感器敏感膜片连通的压力通道，传感器连接有由机壳引出的传导连接物；
[0007]所述的机壳的后盖板上安装有金属管，金属管内开设有抽真空通道；
[0008]所述的传导连接物为通过弹簧接触片或金属丝连接到传感器的镀金引腿，镀金引腿由机壳引出；
[0009]所述的镀金引腿与机壳之间安装有玻璃密封环；
[0010]所述的基板为螺纹基板，机壳与后盖板之间为一体式结构或分体式结构；
[0011]所述的传感器为金属薄膜压阻式传感器。
[0012]—种制造上述高温绝压传感器的方法，第一步:选取由金属薄膜压阻式传感器为基本元器件;第二步:将传感器焊接在基板上，基板上的压力通道对准传感器上的传感器敏感膜片;第三步:在机壳上装配好镀金引腿和玻璃密封环;第四步:在真空条件下，将镀金引腿通过金属丝焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片连接到传感器的接线端子上，将机壳焊接到基板上，机壳内形成一个真空腔;或在常态下，将镀金引腿通过金属丝焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片连接到传感器的接线端子上，将机壳焊接到基板上，机壳的后盖板上安装有金属管，通过金属管内的抽真空通道将机壳内抽真空形成一个真空腔，抽真空过程中，将抽真空通道焊封，即可加工得到高温绝压传感器。
[0013]本发明的有益效果:实用，生产成本低，使用方便，传感器在真空条件下工作，适宜于在感温环境的工作，稳定好。
【附图说明】
[0014]图1，本发明的螺纹基板后抽真空结构示意图。
[0015]图2，本发明的金属丝封焊后抽真空结构示意图。
[0016]图3，本发明的弹簧接触片连接后抽真空结构示意图。
[0017]图4，本发明的弹簧接触片连接真空条件下封焊结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]—种高温绝压传感器，包括机壳2和基板I，所述的机壳2与基板I之间形成一个真空腔11，真空腔11内安装有由传感器壳5和传感器敏感膜片6组成的传感器，基板I上开设有与传感器敏感膜片6连通的压力通道12，传感器连接有由机壳2引出的传导连接物。
[0019]所述的机壳2的后盖板8上安装有金属管9，金属管9内开设有抽真空通道10。
[0020]所述的传导连接物为通过弹簧接触片71或金属丝7连接到传感器的镀金引腿4，镀金引腿4由机壳2引出。
[0021]所述的镀金引腿4与机壳2之间安装有玻璃密封环3。密封性能好。
[0022]所述的基板I为螺纹基板，机壳2与后盖板8之间为一体式结构或分体式结构。一体式结构适宜于在真空的环境下制造本发明绝压传感器。分体式结构便于在后盖板8上安装金属管9，通过金属管9内的抽真空通道10来抽真空。
[0023]所述的传感器为金属薄膜压阻式传感器。
[0024]整个传感器在真空、绝压的条件下工作，耐高温，工作温度可达320度，并能保证很尚的稳定性。
[0025]—种制造上述高温绝压传感器的方法，第一步:选取由金属薄膜压阻式传感器为基本元器件;第二步:将传感器焊接在基板I上，基板I上的压力通道12对准传感器上的传感器敏感膜片6;第三步:在机壳2上装配好镀金引腿4和玻璃密封环3;第四步:在真空条件下，将镀金引腿4通过金属丝7焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片71连接到传感器的接线端子上，将机壳2焊接到基板I上，机壳2内形成一个真空腔11;或在常态下，将镀金引腿4通过金属丝7焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片71连接到传感器的接线端子上，将机壳2焊接到基板I上，机壳2的后盖板8上安装有金属管9，通过金属管9内的抽真空通道10将机壳2内抽真空形成一个真空腔11，抽真空过程中，将抽真空通道10焊封，即可加工得到高温绝压传感器。
[0026]如图1、图2和图3所示:在常态下，组装好本发明后，通过金属管9来抽真空得到真空腔11。
[0027]如图4所示:直接在真空的条件焊接安装连接带有镀金引腿4的机壳2。
【主权项】
1.一种高温绝压传感器，包括机壳(2)和基板(I)，其特征在于:所述的机壳(2)与基板(I)之间形成一个真空腔(11)，真空腔(11)内安装有由传感器壳(5)和传感器敏感膜片(6)组成的传感器，基板(I)上开设有与传感器敏感膜片(6)连通的压力通道(12)，传感器连接有由机壳(2)引出的传导连接物。2.根据权利要求1所述的一种高温绝压传感器，其特征在于:所述的机壳(2)的后盖板(8)上安装有金属管(9)，金属管(9)内开设有抽真空通道(10)。3.根据权利要求1或2所述的一种高温绝压传感器，其特征在于:所述的传导连接物为通过弹簧接触片(71)或金属丝(7)连接到传感器的镀金引腿(4)，镀金引腿(4)由机壳(2)弓丨出。4.根据权利要求3所述的一种高温绝压传感器，其特征在于:所述的镀金引腿(4)与机壳(2)之间安装有玻璃密封环(3)。5.根据权利要求2所述的一种高温绝压传感器，其特征在于:所述的基板(I)为螺纹基板，机壳(2)与后盖板(8)之间为一体式结构或分体式结构。6.根据权利要求5所述的一种高温绝压传感器，其特征在于:所述的传感器为金属薄膜压阻式传感器。7.一种制造上述高温绝压传感器的方法，其特征在于:第一步:选取由金属薄膜压阻式传感器为基本元器件;第二步:将传感器焊接在基板(I)上，基板(I)上的压力通道(12)对准传感器上的传感器敏感膜片(6);第三步:在机壳(2)上装配好镀金引腿(4)和玻璃密封环(3);第四步:在真空条件下，将镀金引腿(4)通过金属丝(7)焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片(71)连接到传感器的接线端子上，将机壳(2)焊接到基板(I)上，机壳(2)内形成一个真空腔(11);或在常态下，将镀金引腿(4)通过金属丝(7)焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片(71)连接到传感器的接线端子上，将机壳(2)焊接到基板(I)上，机壳(2)的后盖板(8)上安装有金属管(9)，通过金属管(9)内的抽真空通道(10)将机壳(2)内抽真空形成一个真空腔(11)，抽真空过程中，将抽真空通道(10)焊封，即可加工得到高温绝压传感器。
【专利摘要】本发明公开了一种高温绝压传感器，包括机壳和基板，所述的机壳与基板之间形成一个真空腔，真空腔内安装有由传感器壳和传感器敏感膜片组成的传感器，基板上开设有与传感器敏感膜片连通的压力通道，传感器连接有由机壳引出的传导连接物；制造上述高温绝压传感器的方法，选取由金属薄膜压阻式传感器为基本元器件；将传感器焊接在基板上，基板上的压力通道对准传感器上的传感器敏感膜片；在机壳上装配好镀金引腿和玻璃密封环；在真空条件下，将镀金引腿通过金属丝焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片连接到传感器的接线端子上，将机壳焊接到基板上；有益效果：使用方便，传感器在真空条件下工作，适宜于在感温环境的工作，稳定好。
【IPC分类】G01L9/06, G01L19/06
【公开号】CN105547569
【申请号】CN201511005272
【发明人】黄福春, 胡波
【申请人】黄福春, 胡波
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月30日