备的加速度计的示例性形成的框图。在图7A的示例中，加速度计100A是衬底102A。在某些示例中，衬底102A可由晶体石英或硅构成。
[0055]在图7B的示例中，加速度计100B是具有光致抗蚀剂104的掩蔽的衬底102B，其被掩蔽以在衬底102B上限定多个特征。在某些示例中，具有光致抗蚀剂104的掩蔽的衬底102B被暴露到光和/或酸以从衬底102B去除(例如，蚀刻)材料从而形成多个特征。在某些示例中，被蚀刻到衬底102B中的所述多个特征中的一个特征是一个或多个应变监视设备118A和118B(共同地“应变监视设备118”)。在其它示例中，应变监视设备118可以是电阻膜，诸如在图4中所述的电阻膜82。
[0056]在图7C的示例中，加速度计100C是被蚀刻衬底102C。在某些示例中，被蚀刻衬底102C的蚀刻可限定多个特征，其可包括支撑底座110、检验质量112、加速度双端音叉(DETF)114A和114B、弯曲部分116、应变监视设备118以及可选系绳122，其可对应于如图1中所述的支撑底座10、检验质量2、谐振器16A和16B、弯曲部分6、应变监视设备8以及可选系绳12。在某些示例中，应变监视设备118可以是被蚀刻为所述多个特征中的一个的DETF。在某些示例中，应变监视设备118可以是电阻膜，其是被真空沉积在被蚀刻衬底102C上的金属化膜。
[0057]图8是图示出根据本文所述技术的使用包括应变监视设备的加速度计来补偿应变误差的示例性过程200的流程图。在图1和2的上下文中描述图8。
[0058]处理器(例如，如图1中所述的处理器18 )可接收加速度计(例如，如图1中所述的加速度计I)上的应变量(202)。在某些示例中，可用加速度计上的一个或多个应变监视设备(例如，如图1中所述的应变监视设备8)来测量加速度计上的应变量。在某些示例中，应变监视设备8可包括与两个或更多谐振器(例如，如图1中所述的谐振器16A和16B)位于平面内的双端音叉(例如，如图4中所述的DETF 28)，并且测量应变监视设备的应变可基于测量应变监视设备的谐振频率，并且应变监视设备的谐振频率在加速度计的张力期间增加且在其压缩期间减小。在某些示例中，应变监视设备可包括围绕DETF的尖齿的至少一部分的多个电极表面(例如，类似于如图1中所述的电极14A和14B)。在某些示例中，应变监视设备8可包括电阻膜的条，并且测量应变监视设备的应变可基于测量电阻膜条的电阻。在某些示例中，应变监视设备8可包括DETF和在DETF的末端处的弹簧，并且该弹簧可降低DETF的应变灵敏度。在某些示例中，应变监视设备8可包括电阻膜条，并且测量应变监视设备的应变可基于测量电阻膜条的电阻。
[0059]处理器(例如，如图1中所述的处理器18)可接收加速度计(例如，如图1中所述的加速度计I)的加速度量(204)。在某些示例中，可用加速度计上的两个或更多谐振器(例如，如图1中所述的谐振器16A和16B)来测量加速度计的加速度量。在某些示例中，两个或更多谐振器中的至少一个可包括双端音叉，并且测量加速度计的加速度量可基于两个或更多谐振器之间的频率的差。在某些示例中，两个或更多谐振器中的至少一个包括围绕DETF的尖齿的至少一部分的多个电极表面(例如，如图1中所述的电极14A和14B)。
[0060]处理器(例如，如图1中所述的处理器18)可至少部分地基于加速度计上的应变量和加速度计的加速度量来确定加速度计的已修改加速度值(206)。处理器18还可输出已修改加速度值(208)。在某些示例中，加速度计可以由整体材料构成，并包括检验质量、支撑底座、弯曲部分以及两个或更多谐振器。在某些示例中，该整体材料可以是石英或硅中的至少一个。
[0061]在一个或多个示例中，可用硬件、软件、固件或其任何组合来实现所述功能。如果用软件实现，则可将功能作为一个或多个指令或代码存储在计算机可读介质上或者通过计算机可读介质发射并被基于硬件的处理单元执行。计算机可读介质可包括计算机可读存储介质，其对应于诸如数据存储介质之类的有形介质或者包括促进例如根据通信协议将计算机程序从一地传输到另一地的任何介质的通信介质。这样，计算机可读介质一般地可对应于(I)有形计算机可读存储介质，其是非临时的，或者(2)通信介质，诸如信号或载波。数据存储介质可以是可以被一个或多个计算机或一个或多个处理器访问以取回用于实现本公开中所述的技术的指令、代码和/或数据结构的任何可用介质。计算机程序产品可包括计算机可读介质。
[0062]作为示例并且并非限制，此类计算机可读存储介质可以包括RAM、R0M、EEPR0M、CD-ROM或其它光盘储存器、磁盘储存器或其它磁存储设备、闪速存储器或者可以用来以指令或数据结构的形式存储期望程序代码且可以被计算机访问的任何其它介质。并且，将任何连接适当地称为计算机可读介质。例如，如果使用同轴电缆、光纤电缆、扭绞线对、数字订户线(DSL)或诸如红外、无线电以及微波之类的无线技术从网站、服务器或其它远程源发射指令，则在介质的定义中包括同轴电缆、光纤电缆、扭绞线对、DSL、或者诸如红外、无线电和微波之类的无线技术。然而，应理解的是计算机可读存储介质和数据存储介质不包括连接、载波、信号或其它暂态介质，而是替代地针对非暂态、有形存储介质。如本文所使用的磁碟和磁盘包括紧凑式磁盘(CD)、激光磁盘、光盘、数字多功能磁盘(DVD)、软盘和蓝光磁盘，其中，磁碟通常磁性地再现数据，而磁盘用激光光学地再现数据。上面的组合也应被包括在计算机可读介质的范围内。
[0063]指令可以被一个或多个处理器执行，诸如一个或多个数字信号处理器(DSP)、通用微处理器、专用集成电路(ASIC)、现场可编程逻辑阵列(FPGA)或其它等价集成或分立逻辑电路。因此，如本文所使用的术语“处理器”可指代前述结构中的任何结构或适合于实现本文所述技术的任何其它结构。另外，在某些方面，可在被配置成用于编码和解码的专用硬件和/或软件模块内提供本文所述的功能，或者将其结合在组合的编解码器中。并且，该技术可完全用一个或多个电路或逻辑元件来实现。
[0064]本公开的技术可在各种各样的设备或装置、集成电路(IC)或一组IC(例如，芯片组)中实现。在本公开中描述了各种部件、模块或单元以强调被配置成执行公开技术的设备的功能方面，但不一定要求用不同的硬件单元来实现。更确切地说，如上所述，可将各种单元组合在编解码器硬件单元中，或者用许多互操作硬件单元来提供，包括与适当的软件和/或固件相结合的如上所述的一个或多个处理器。
[0065]已描述了本公开的各种示例。这些及其它示例在以下权利要求的范围内。
[0066]支撑底座。
【主权项】
1.一种设备，包括: 检验质量； 支撑底座，其被配置成支撑所述检验质量，其中，所述检验质量被配置成响应于设备的加速度而移位； 弯曲部分，其被配置成将检验质量柔性地连接到支撑底座；以及 应变监视设备，其被配置成测量支撑底座上的应变量。2.权利要求1的设备，其中，所述应变监视设备包括双端音叉(DETF)或电阻膜中的至少一个。3.—种方法，包括: 由处理器从加速度计接收加速度计上的应变量； 由处理器从加速度计接收加速度计的加速度量； 由处理器至少部分地基于加速度计上的应变量和加速度量来确定加速度计的已修改加速度值；以及 由处理器来输出已修改加速度值。
【专利摘要】具有应变补偿的加速度计。在某些示例中，一种设备包括检验质量和被配置成支撑检验质量的支撑底座，其中，所述检验质量被配置成响应于设备的加速度而移位。该设备还包括被配置成将检验质量柔性连接到支撑底座的弯曲部分。该设备还包括被配置成测量支撑底座上的应变量的应变监视设备。
【IPC分类】G01P15/097, G01P15/08
【公开号】CN105606844
【申请号】CN201510774038
【发明人】P.W.德怀尔, S.F.贝卡
【申请人】霍尼韦尔国际公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年11月13日
【公告号】EP3021124A1, US20160139170