磁悬浮转子真空规的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空校准领域，特别涉及一种磁悬浮转子真空规。
【背景技术】
[0002]真空规是用于测量真空度的传感器，其主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能能集热管制作，真空冶炼等。还有一些真空规，由于自身累积误差小、可靠性高、重复性好而被用于真空测量用具的校准，如电容式薄膜真空规，但这类真空规容易受热效应及辐射效应影响，从而影响校准结果的精确度，且因量程较窄使其适用范围受到了限制，而且有些规管的体积较大，其吸气和放气现象会对被测空间的气体成分及压力产生影响，进而影响校准的准确性以及测量的精度。
【实用新型内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型在于提供一种不受热效应及辐射效应影响的磁悬浮转子真空规，不仅累计误差小、可靠性高和重复性好，且量程较宽，适用范围较广。
[0004]为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案:磁悬浮转子真空规，包括检测端和法兰端，所述检测端包括壳体、两个驱动用线圈、两个稳定用线圈、永磁体和线缆，所述壳体上设有贯穿壳壁的安装孔，所述永磁体包括两个碟形永磁体，两个所述碟形永磁体设在所述壳体内且位置关于所述安装孔的中心轴对称，两个所述稳定用线圈设在两个所述碟形永磁体之间且关于所述安装孔的中心轴对称，两个所述驱动用线圈设在所述壳体内且与所述安装孔同轴并关于两个所述稳定用线圈的中心轴对称，所述线缆的一端分别与所述驱动用线圈和所述稳定用线圈固定连接，所述线缆的另一端设在所述壳体外；所述法兰端包括检测用钢球、检测管、两块定位钢板和法兰；所述检测用钢球设在所述检测管内，所述检测管的一端与所述法兰的第一底面同轴固定连接，所述检测管的另一端设有抽气管，所述抽气管与所述检测管内部流体导通，所述定位钢板的一端与所述法兰的第一底面固定连接且两块所述定位钢板关于所述检测管轴向对称，所述定位钢板上设有定位顶紧螺栓；所述壳体设在两块所述定位钢板之间，所述检测管通过所述安装孔设在所述壳体内；所述检测用钢球设在位于所述稳定用线圈中心轴与所述驱动用线圈中心轴相交的所述检测管内；所述定位顶紧螺栓与所述壳体定位连接。
[0005]上述磁悬浮转子真空规，所述检测管为铜管或硬质铝管。
[0006]上述磁悬浮转子真空规，所述检测管与所述法兰螺纹连接。
[0007]上述磁悬浮转子真空规，所述安装孔对穿所述壳体的壳壁，所述抽气管设在所述壳体的外侧。
[0008]上述磁悬浮转子真空规，所述检测端还包括气泡水平仪，所述气泡水平仪设在所述壳体的壳壁上。
[0009]上述磁悬浮转子真空规，所述检测用钢球为直径大于或等于4mm且小于或等于5mm的钢球。
[0010]上述磁悬浮转子真空规，所述检测用钢球的直径为4.5mm。
[0011]上述磁悬浮转子真空规，所述法兰的第一底面设有定位凹槽，所述定位凹槽与所述法兰同轴；所述定位凹槽的内径与所述壳体的长度相同。
[0012]上述磁悬浮转子真空规，所述定位凹槽为碟形定位凹槽。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]1.本实用新型为无源器件，其内部没有高速电子和离子，没有热热效和辐射效应，从而保证了以其为标准真空规对其他真空规进行校准时的校准精度。
[0015]2.本实用新型具有较宽的量程，满足多种量程的真空规的校准以及对不同真空度的测量。
[0016]3.由于本实用新型中的转子体积较小，吸气和放弃现象可以完全忽略，不会影响被测空间的气体成分和压力，因而其累积误差小、可靠性高和重复性好，特别适合用作真空规校准用的标准真空规。
[0017]4.本实用新型中法兰上所设定位凹槽便于检测端与法兰端的组装，降低本实用新型的组装难度，从而节约组装时间。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型磁悬浮转子真空规的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型磁悬浮转子真空规的法兰端的结构示意图；
[0020]图3为本实用新型磁悬浮转子真空规的法兰端(带有定位凹槽)的结构示意图；
[0021]图4为本实用新型磁悬浮转子真空规的检测端的内部结构示意图；
[0022]图5为本实用新型磁悬浮转子真空规的检测端的外部结构示意图。
[0023]图中:1_检测端，2-法兰端，3-检测用钢球，4-线缆，5-壳体，6-驱动用线圈，7-稳定用线圈，8-碟形永磁体，9-检测管，10-定位钢板，11-定位顶紧螺栓，12-法兰，13-抽气管，14-气泡水平仪，15安装孔，16-定位凹槽。
【具体实施方式】
[0024]为清楚说明本实用新型中的方案，下面给出优选的实施例并结合附图详细说明。
[0025]如图1?5所示，本实用新型磁悬浮转子真空规，包括检测端I和法兰端2，所述检测端I包括壳体5、两个驱动用线圈6、两个稳定用线圈7、永磁体和线缆4，所述壳体5上设有贯穿壳壁的安装孔15，所述永磁体包括两个碟形永磁体8，两个所述碟形永磁体8设在所述壳体5内且位置关于所述安装孔15的中心轴对称，两个所述稳定用线圈7设在两个所述碟形永磁体8之间且关于所述安装孔15的中心轴对称，两个所述驱动用线圈6设在所述壳体5内且与所述安装孔15同轴并关于两个所述稳定用线圈7的中心轴对称，所述线缆4的一端分别与所述驱动用线圈6和所述稳定用线圈7固定连接，所述线缆4的另一端设在所述壳体5外；所述法兰端2包括检测用钢球3、检测管9、两块定位钢板10和法兰12 ;所述检测用钢球3设在所述检测管9内，所述检测管9的一端与所述法兰12的第一底面同轴固定连接，所述检测管9的另一端设有抽气管13，所述抽气管13与所述检测管9内部流体导通，所述定位钢板10的一端与所述法兰12的第一底面固定连接且两块所述定位钢板10关于所述检测管9轴向对称，所述定位钢板10上设有定位顶紧螺栓11 ;所述壳体5设在两