一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置的制造方法

文档序号:8681015阅读:215来源:国知局
一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种样品定位装置,属于显微观测领域。
【背景技术】
[0002]在扫描隧道显微镜系统中,将曲率半径为原子量级的针尖和被研究物质的表面作为两个电极,当样品与针尖的距离非常接近时(通常小于lnm),在外加电场的作用下,电子会穿过两个电极之间的绝缘层流向另一个电极,产生穿隧电流。计算机记录穿隧电流并控制施加于压电管的电压,以产生与样品表面相应的三维地图,从而反映样品表面的形貌特征。扫描隧道显微镜的传统用法是用于扫描平放材料上下两端的表面形貌,部分材料,例如薄片结构的材料,由于材料无法立向摆放,无法扫描材料的其他侧面,造成了扫描的局限性,同时,现有显微镜无法扫描样品的截面。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于:提供一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,以解决现有扫描隧道显微镜由于没有特定的样品定位装置,样品的截面和部分侧面无法直接扫描,使得扫描具有局限性的问题。
[0004]本实用新型的方案如下:一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,包括样品盘,样品盘上固定设置有滑道,滑道上滑动设置有定位滑块,滑道的一端固定设置有限位座。
[0005]优选地,所述滑道包括相互平行设置的第一滑杆和第二滑杆,第一滑杆和第二滑杆分别设置在定位滑块的两侧,且定位滑块的两侧对应滑动设置在第一滑杆和第二滑杆上。
[0006]优选地,还包括有旋钮,旋钮设置在与限位座相对的定位滑块的另一侧,旋钮5与定位滑块的滑动方向相平行,且旋钮的一端固定在定位滑块上,滑道与限位座相对的另一端设置有侧壁,旋钮的另一端穿过侧壁,且旋钮与侧壁螺纹连接。
[0007]优选地,滑道、定位滑块和限位座的表面均为镜面结构,在对准探针时,通过探针在样品盘上的倒影可以确定探针与托盘的距离,这样可以方便探针的对准。
[0008]将样品垂直固定在样品盘上,在固定样品之前,将要扫描截面选好,并用刀片获取,为防止扫描截面在空气中氧化,并不取下样品的多余部分,而是待传到真空环境中之后,使样品和样品台碰撞,让多余部分与样品脱落,从而露出截面,样品截面,样品截面和样品盘表面位于同一平面。传入STM中扫描,从而反映样品截面的形貌特征。本实用新型与现有技术相比,主要优点是在原有样品盘上增加了用于固定样品的装置,能够使样品以多种角度进行固定,从而通过扫描隧道显微镜对样品的各个表面进行扫描,消除了现有显微镜的扫描部位具有局限性的问题,同时,采用本装置后,能够实现对样品各个截面的扫描,对于研究样品截面的显微结构具有十分重要的意义,本装置结构简单,操作方便,成本也较低,便于推广应用。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图;
[0010]图2是本实用新型的主视结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将参照附图对本发明作进一步地详细描述,
[0012]实施例:
[0013]参照图1,本实施例所述一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,包括:
[0014]样品盘1、滑道2、定位滑块3、限位座4、旋钮5和侧壁6 ;
[0015]所述滑道2、定位滑块3和限位座4的表面均为镜面结构,滑道2固定设置在样品盘I上,定位滑块3滑动设置在滑道2上,限位座4和侧壁6对应固定设置在滑道2的两端,滑道2包括相互平行设置的第一滑杆21和第二滑杆22,第一滑杆21和第二滑杆22分别设置在定位滑块3的两侧,且定位滑块3的两侧对应滑动设置在第一滑杆21和第二滑杆22上。
[0016]旋钮5设置在与限位座4相对的定位滑块3的另一侧,旋钮5与定位滑块3的滑动方向相平行,且旋钮5的一端固定在定位滑块3上,旋钮5上设置有外螺纹,侧壁6上设置有螺纹孔61,旋钮5上的外螺纹恰好与螺纹孔61的内螺纹相匹配,旋钮5的另一端穿过螺纹孔61,转动旋钮5即可控制定位滑块3在滑道2上的滑动,对于薄片类的样品7来说,只需将其竖在定位滑块3和限位座4之间,控制定位滑块3,使样品7夹紧定位在定位滑块3和限位座4之间,再通过扫描隧道显微镜系统进行扫描,即可得到以前无法扫描到的,样品7侧面或截面等的显微结构。
【主权项】
1.一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,包括样品盘(1),其特征在于:样品盘(I)上固定设置有滑道(2),滑道(2)上滑动设置有定位滑块(3),滑道(2)的一端固定设置有限位座(4)。
2.根据权利要求1所述一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,其特征在于:所述滑道(2)包括相互平行设置的第一滑杆(21)和第二滑杆(22),第一滑杆(21)和第二滑杆(22)分别设置在定位滑块(3)的两侧,且定位滑块(3)的两侧对应滑动设置在第一滑杆(21)和第二滑杆(22)上。
3.根据权利要求1所述一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,其特征在于:还包括有旋钮(5),旋钮(5)设置在与限位座(4)相对的定位滑块(3)的另一侧,旋钮(5)与定位滑块(3)的滑动方向相平行,且旋钮(5)的一端固定在定位滑块(3)上,滑道(2)与限位座(4)相对的另一端设置有侧壁(6),旋钮(5)的另一端穿过侧壁(6),且旋钮(5)与侧壁(6)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,其特征在于:所述滑道(2)、定位滑块(3)和限位座(4)的表面均为镜面结构。
【专利摘要】本实用新型提供一种基于扫描隧道显微镜的样品定位装置,包括样品盘,样品盘上固定设置有滑道,滑道上滑动设置有定位滑块,滑道的一端固定设置有限位座。以解决现有扫描隧道显微镜由于没有特定的样品定位装置,部分样品的侧面、截面等无法直接扫描,使得扫描具有局限性的问题。属于显微观测领域。
【IPC分类】G01Q60-10
【公开号】CN204389529
【申请号】CN201520059154
【发明人】丁召, 周海月, 赵振, 刘健, 郭祥, 王一, 魏文喆, 黄梦雅, 罗子江
【申请人】贵州大学
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年1月28日
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