一种可见光ccd测试仪的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种可见光C⑶测试仪。
【背景技术】
[0002] 可见光CCD用于检测电路板的零件，这种检测系统效率高同时成本低，能够高效 快速的查找出电路板的错误，但是这种系统中使用的可见光CCD进行检测的时候需要使用 专业的检测设备，但是这种检测设备检测成本高，检测手续繁琐，检测效率低。 【实用新型内容】
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种可见光CCD测试仪，能够改善现有技术存在的问 题，通过利用积分球装置和目标板进行配合检测，通过对结果进行复合计算，实现对可见光 CCD的快速检测，成本低廉同时检测效率高。
[0004] 本实用新型通过以下技术方案实现：
[0005] -种可见光CXD测试仪，包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数 值孔径显微物镜装置、目标板、平行光管、三维调整架、高精度角速率转台和待测CCD ;卤素 灯光源室包括齒钨灯光源、密封块、M3X8内六角圆柱头螺钉、连接板、光源支撑杆、叉式压 板座、叉式压板、M5X4滚花高头螺钉和M4X 12滚花高头螺钉、光源聚焦透镜、透镜座、透镜 压圈、M4X 10连接螺钉、连接板，卤素灯光源室通过连接板用螺钉固定在单色仪的出入平 行三光栅扫描单色仪的入口狭缝处；单色仪通过出入平行三光栅扫描单色仪的出口狭缝处 用螺钉固定在积分球的入口处；积分球出口轴线与分划板部中分划板轴线重合，且分划板 部中靠近积分球一侧分划板放置在积分球出口水平方向IOmm位置处；大数值孔径显微物 镜物镜轴线与分划板部中分划板轴线重合，且大数值孔径显微物镜放置在分划板中靠近积 分球一侧分划板水平方向50mm位置处；三维调整架中7STA04500A电动平移台沿宽度中心 7STA04500A电动平移台运行方向与大数值孔径显微物镜物镜轴线平行且在同一个垂面内， 且7STA04500A电动平移台中远离电机一侧端面与靠近三维调整架大数值孔径显微物镜端 面水平方向距离40mm ;在卤素灯光源室中，叉式压板通过间隙配合与叉式压板座连接；叉 式压板座通过顶丝与光源支撑杆固定连接；光源支撑杆通过螺纹配合与齒钨灯光源固定连 接；齒钨灯光源通过与连接板固定连接；连接板通过过盈配合与密封块连接；光源聚焦透 镜通过透镜压圈与透镜座固定连接；透镜座通过M5X4滚花高头螺钉与卤钨灯光源固定连 接，
[0006] 单色仪中设有双刀单掷电源开关，双刀单掷电源开关通过螺丝与光谱仪底座固定 连接；电源插座通过螺丝与光谱仪底座固定连接；连接器座通过螺丝与光谱仪底座固定连 接；DB25Z连接器座通过螺丝与光谱仪底座固定连接；光谱仪底座通过螺钉与上箱固定连 接；光谱仪底座通过螺丝与下箱固定连接；积分球通过螺钉与积分球支撑底座固定连接； 在分划板部中，分划板与隔圈通过过盈配合连接；隔圈通过压圈与固定环固定连接；固定 环通过螺钉与7SRA1100电动旋转台固定连接；斜板通过螺钉与竖板固定连接；竖板通过螺 钉与7SRA1100电动旋转台固定连接；7SRA1100电动旋转台通过螺钉与连接底板固定连接； 连接底板通过螺钉与7STA1050电动平移台固定连接；7STA1050电动平移台通过螺钉与第 二平移台连接板固定连接；第二平移台连接板通过螺钉与第一平移台连接板固定连接；第 一平移台连接板通过螺钉与7STM04125平移台固定连接；7STM04125平移台通过螺钉与平 台固定连接；平台与支撑杆通过螺纹连接在一起；支撑杆与底座通过螺纹连接在一起；大 数值孔径显微物镜通过物镜顶紧螺钉与支撑底座固定连接；在三维调整架中，光学平板通 过螺钉与7SVM02120升降台固定连接；7SVM02120升降台通过螺钉与升降台连接板固定连 接；升降台连接板通过螺钉与7STA1050电动平移台固定连接；7STA1050电动平移台通过螺 钉与电动平移台连接板固定连接；电动平移台连接板通过螺钉与7STA04500A电动平移台 固定连接；卤素灯光源室通过过渡板用螺钉与单色仪连接，单色仪通过过渡筒与积分球装 置连接；分划板部安放在积分球装置的后面，且分划板部中的分划板的中心正对积分球装 置中积分球的球心；大数值孔径显微物镜装置中的大数值孔径显微物镜安放在距离分划板 50mm处，且分划板的中心在大数值孔径显微物镜的光轴上；通过调整三维调整架使得待测 CCD的光敏面位于大数值孔径显微物镜的焦点位置，所述目标板、平行光管依次设置在光 源和待测CCD之间，所述目标板上设置有目标板横条纹以及与目标板横条纹相互垂直的目 标板竖条纹，目标板横条纹至少是6组；所述每组至少包括3对条纹；
[0007] 所述横条纹组之间的间隔是Ini = (p+i/n) X (1+Γ );其中：
[0008] 所述P是任意整数；
[0009] 所述i是大于等于1小于等于η的整数；
[0010] 所述η是目标板横条纹的组数；
[0011] 所述1是目标板上每条条纹的宽度；
[0012] 所述Γ是目标板上条纹与条纹之间的间隔。
[0013] 所述目标板竖条纹至少是6组；所述每组至少包括3对条纹；所述横条纹组之间 的间隔是 Imi = (k+j/m) X (1+Γ );
[0014] 所述k是任意整数；
[0015] 所述j是大于等于1小于等于m的整数；
[0016] 所述j是大于等于1小于等于m的整数；
[0017] 所述m是目标板竖条纹的组数；
[0018] 所述1是目标板上每条条纹的宽度；
[0019] 所述Γ是目标板上条纹与条纹之间的间隔；
[0020] 所述目标板上每条条纹的宽度1满足l=f p/T c，d;
[0021] 其中：所述f' p是平行光管的焦距；
[0022] 所述f c是被测相机的焦距；
[0023] 所述d是被测相机中的C⑶像元尺寸；
[0024] 上述目标板上每条条纹的宽度1与目标板上条纹与条纹之间的间隔Γ是相等 的，
[0025] 所述平行管的口径是相机口径2-5倍，所述平行管的焦距是所述待测CCD相机焦 距的5-10倍，目标板的竖条纹与探测器的线阵方向平行，横条纹与探测器线阵方向垂直；
[0026] 转台速度角速度不确定度优于0. 5%，转台速度ω与相机行频hp，满足hp=d/ (f' c · ω ) ο
[0027] 进一步地，为更好地实现本实用新型，所述卤钨灯光源为北京赛凡光电仪器有限 公司提供的7ILT250卤钨灯光源。
[0028] 进一步地，为更好地实现本实用新型，所述光源聚焦透镜为上海迎盈光学器件厂 提供的DCX0804双凸透镜。
[0029] 本实用新型中见光C⑶的测试方法，该方法包括如下步骤：
[0030] SI.卤素灯光源室中卤钨灯光源发出的光照入单色仪的入射狭缝，经过单色仪的 光栅分光后，由单色仪的出射狭缝发出白光或窄波段范围的单色光；
[0031] S2.由Sl得到的白光或单色光经过积分球入口射入积分球，经积分球进行漫反射 后，由积分球的出口发出均匀的白光或均匀的单色光；
[0032] S3.由S2得到的均匀的白光或单色光照明分划板，透过分划板后的光经过分划板 后面的大数值孔径显微物镜照射到目光板上；
[0033] S4.透过目标板的光进入到平行光管内；
[0034] S5.经过平行光管成像到待测CXD的光敏面上；
[0035] S6.目标板安放在平行光管的焦面上，目标板的条纹方向与相机探测