一种可见光ccd测试仪的制作方法_2

文档序号:10038837阅读:来源:国知局
器方向匹配, 并应用光源照明;
[0036] S7.转台及相机开机工作,设置转台角速度及相机行频,记录图像;分别计算线阵 方向和推扫方向的MTF
[0037] S8.根据待测CCD采集到的分划板的图像,利用下面的CCD调制传递函数公式,计 算得到CCD调制传递函数;CCD调制传递函数MTF公式如下:
[0039] 其中,η为CCD极大值输出像元个数,m为CCD极小值输出像元个数;为输出信号 中的空间的极大值输出的平均值,为输出信号中的空间的极小值输出的平均值;所述大数 值孔径显微物镜为数值孔径为2. 0-3. 0的显微物镜。
[0040] 本实用新型与现有技术相比,具有以下有益效果:
[0041] 本实用新型提供的可见光CCD测试仪通过利用积分球装置和目标板进行配合检 测,通过对结果进行复合计算,实现对可见光CCD的快速检测,成本低廉同时检测效率高。
【附图说明】
[0042] 为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用 的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被 看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可 以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0043] 图1为本实用新型第一实施例的结构图。
[0044] 图2为本实用新型第一实施例的目标板的结构示意图。
[0045] 图中:卤素灯光源室1、单色仪2、积分球装置3、分划板部4、大数值孔径显微物镜 装置5、三维调整架6、待测(XD7、目标板8、平行光管9、高精度角速率转台10。
【具体实施方式】
[0046] 下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步详细介绍,但本实用新型的实施方 式不限于此。
[0047] 如图1和图2所示,本实用新型第一实施例可见光C⑶测试仪包括:卤素灯光源 室1、单色仪2、积分球装置3、分划板部4、大数值孔径显微物镜装置5、三维调整架6、待测 (XD7、目标板8、平行光管9、高精度角速率转台10。卤素灯光源室1包括卤钨灯光源、密封 块、M3X8内六角圆柱头螺钉、连接板、光源支撑杆、叉式压板座、叉式压板、M5X4滚花高头 螺钉和M4X 12滚花高头螺钉、光源聚焦透镜、透镜座、透镜压圈、M4X 10连接螺钉、连接板, 卤素灯光源室1通过连接板用螺钉固定在单色仪2的出入平行三光栅扫描单色仪2的入口 狭缝处;单色仪2通过出入平行三光栅扫描单色仪2的出口狭缝处用螺钉固定在积分球的 入口处;积分球出口轴线与分划板部4中分划板轴线重合,且分划板部4中靠近积分球一侧 分划板放置在积分球出口水平方向IOmm位置处;大数值孔径显微物镜物镜轴线与分划板 部4中分划板轴线重合,且大数值孔径显微物镜放置在分划板中靠近积分球一侧分划板水 平方向50mm位置处;三维调整架6中7STA04500A电动平移台沿宽度中心7STA04500A电 动平移台运行方向与大数值孔径显微物镜物镜轴线平行且在同一个垂面内,且7STA04500A 电动平移台中远离电机一侧端面与靠近三维调整架6大数值孔径显微物镜端面水平方向 距离40mm ;在卤素灯光源室1中,叉式压板通过间隙配合与叉式压板座连接;叉式压板座通 过顶丝与光源支撑杆固定连接;光源支撑杆通过螺纹配合与齒钨灯光源固定连接;齒钨灯 光源通过与连接板固定连接;连接板通过过盈配合与密封块连接;光源聚焦透镜通过透镜 压圈与透镜座固定连接;透镜座通过M5 X 4滚花高头螺钉与卤钨灯光源固定连接,
[0048] 单色仪2中设有双刀单掷电源开关,双刀单掷电源开关通过螺丝与光谱仪底座 固定连接;电源插座通过螺丝与光谱仪底座固定连接;连接器座通过螺丝与光谱仪底座固 定连接;DB25Z连接器座通过螺丝与光谱仪底座固定连接;光谱仪底座通过螺钉与上箱固 定连接;光谱仪底座通过螺丝与下箱固定连接;积分球通过螺钉与积分球支撑底座固定连 接;在分划板部4中,分划板与隔圈通过过盈配合连接;隔圈通过压圈与固定环固定连接; 固定环通过螺钉与7SRA1100电动旋转台固定连接;斜板通过螺钉与竖板固定连接;竖板通 过螺钉与7SRA1100电动旋转台固定连接;7SRA1100电动旋转台通过螺钉与连接底板固定 连接;连接底板通过螺钉与7STA1050电动平移台固定连接;7STA1050电动平移台通过螺 钉与第二平移台连接板固定连接;第二平移台连接板通过螺钉与第一平移台连接板固定连 接;第一平移台连接板通过螺钉与7STM04125平移台固定连接;7STM04125平移台通过螺 钉与平台固定连接;平台与支撑杆通过螺纹连接在一起;支撑杆与底座通过螺纹连接在一 起;大数值孔径显微物镜通过物镜顶紧螺钉与支撑底座固定连接;在三维调整架6中,光学 平板通过螺钉与7SVM02120升降台固定连接,在三维调整架6上设置有高精度角速率转台。 7SVM02120升降台通过螺钉与升降台连接板固定连接;升降台连接板通过螺钉与7STA1050 电动平移台固定连接;7STA1050电动平移台通过螺钉与电动平移台连接板固定连接;电动 平移台连接板通过螺钉与7STA04500A电动平移台固定连接;卤素灯光源室1通过过渡板用 螺钉与单色仪2连接,单色仪2通过过渡筒与积分球装置3连接;分划板部4安放在积分球 装置3的后面,且分划板部4中的分划板的中心正对积分球装置3中积分球的球心;大数值 孔径显微物镜装置5中的大数值孔径显微物镜安放在距离分划板50mm处,且分划板的中心 在大数值孔径显微物镜的光轴上;通过调整三维调整架6使得待测CCD7的光敏面位于大 数值孔径显微物镜的焦点位置,所述目标板8、平行光管9依次设置在光源和待测CCD7之 间,所述目标板8上设置有目标板8横条纹以及与目标板8横条纹相互垂直的目标板8竖 条纹,目标板8横条纹至少是6组;所述每组至少包括3对条纹;
[0049] 所述横条纹组之间的间隔是Ini = (p+i/n) X (1+Γ );其中:
[0050] 所述P是任意整数;
[0051] 所述i是大于等于1小于等于η的整数;
[0052] 所述η是目标板8横条纹的组数;
[0053] 所述1是目标板8上每条条纹的宽度;
[0054] 所述Γ是目标板8上条纹与条纹之间的间隔。
[0055] 所述目标板8竖条纹至少是6组;所述每组至少包括3对条纹;所述横条纹组之间 的间隔是 Imi = (k+j/m) X (1+Γ );
[0056] 所述k是任意整数;
[0057] 所述j是大于等于1小于等于m的整数;
[0058] 所述j是大于等于1小于等于m的整数;
[0059] 所述m是目标板8竖条纹的组数;
[0060] 所述1是目标板8上每条条纹的宽度;
[0061] 所述Γ是目标板8上条纹与条纹之间的间隔;
[0062] 所述目标板8上每条条纹的宽度1满足l=f' p/f' c,d;
[0063] 其中:所述f' p是平行光管9的焦距;
[0064] 所述f' c是被测相机的焦距;
[0065] 所述d是被测相机中的C⑶像元尺寸;
[0066] 上述目标板8上每条条纹的宽度1与目标板8上条纹与条纹之间的间隔Γ是相 等的,
[0067] 所述平行管的口径是相机口径2-5倍,所述平行管的焦距是所述待测CCD7相机 焦距的5-10倍,目标板8的竖条纹与探测器的线阵方向平行,横条纹与探测器线阵方向垂 直;
[0068] 高精度角速率转台的转台速度角
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