一种非接触的平面粗糙度检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于检测装置技术领域，具体涉及一种非接触的平面粗糙度检测装置。
【背景技术】
[0002]表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。平面棱镜、空间棱镜越来越多的被各种仪器设备使用，对于表面为平面的各种光学棱镜，以及对具有平面结构且对其表面粗糙度有精度要求的物体，其平面部分的粗糙度无疑是精度指标中一项重要的参数。所以，平面粗糙度的优劣，将直接影响使用仪器设备的质量和精度。然而当棱镜等物体平面表面上两波峰或两波谷之间的距离很小时，属于微观几何形状误差，难以依靠肉眼进行检测，需借助仪器检测。
[0003]目前，对于表面粗糙度的非光学检测主要手段有接触技术，常用为机械探针式、显微技术，包括原子力显微技术，扫描隧道显微技术等。接触式检测方法，对于待测棱镜的表面会产生损伤，且误差较大，对振动敏感；显微技术利用超微小探针接近待测件表面，达到纳米级时根据量子力学理论，根据针尖与表面产生的原子力检测表面粗糙度，虽然使用显微技术，其分辨率水平和垂直方向可以到达纳米级，但这种方法对外部环境十分敏感。所以，利用光学手段，特别是激光良好的方向性，为光学检测提供了技术支持。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种非接触的平面粗糙度检测装置，解决了现有检测装置易受外部环境影响而导致检测精度不高的问题。
[0005]本实用新型所采用的技术方案是，一种非接触的平面粗糙度检测装置，包括光学平台，光学平台上设置有水平调节模块、待测件调节模块、参考件调节模块。
[0006]本实用新型的特点还在于:
[0007]水平调节模块包括高度调节底座，高度调节底座上设置有水平调整基座，水平调整基座上安装有双光轴自准仪；高度调节底座固接在光学平台上。
[0008]待测件调节模块包括电动平移台a，电动平移台a上通过线性滑轨设置有手动角位台，手动角位台上安装有待测件安装座，电动平移台a固接在光学平台上。
[0009]待测件安装座包括相互垂直连接的第一板a、第二板a、第三板a，第一板a和第三板a位于第二板a的同侧，第二板a与手动角位台连接，第一板a或第三板a上设置有旋钮
Β ο
[0010]旋钮a位于待测件安装座内部的一端设置有橡胶垫a。
[0011]电动平移台a通过“L”型型材与光学平台固接。
[0012]参考件调节模块包括电动平移台b，电动平移台b上通过线性滑轨设置有手动平移台a，手动平移台a上依次设置有手动平移台b、调高支架、参考件安装座，电动平移台b固接在光学平台上。
[0013]参考件安装座包括相互垂直连接的第一板b、第二板b、第三板b，第一板b和第三板b位于第二板b的同侧，第二板b与调高支架连接，第一板b或第三板b上设置有旋钮b。
[0014]旋钮b位于参考件安装座内部的一端设置有橡胶垫b。
[0015]本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种非接触的平面粗糙度检测装置，结构简单，检测原理明确，易于调试。本实用新型的一种非接触的平面粗糙度检测装置，利用光路折射方式，避免了自重较大仪器的移动，提高了装置运行的稳定性，扩大了待测件的类型以及其检测范围，并且本实用新型中光学方式，在检测整体过程中，对待测物体不产生损伤。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置的主视图；
[0017]图2是本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置的右视图；
[0018]图3是本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置的结构示意图；
[0019]图4是本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置中待测件安装座的结构示意图；
[0020]图5是本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置中参考件安装座的结果示意图。
[0021]图中，1.双光轴自准仪，2.水平调整基座，3.便携计算机，4.高度调节底座，5.电动平移台b，6.手动平移台a，7.手动平移台b，8.调高支架，9.参考件安装座，9-1.第一板b，9-2.第二板b，9-3.第三板b，9-4.旋钮b，9-5.橡胶垫b，10.五棱镜，11.“L”型型材，12.电动平移台a，13.待测件安装座，13-1.第一板a，13-2.第二板a，13-3.第三板a，13-4.旋钮a，13-5.橡胶垫a，14.手动角位台，15.光学平台。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0023]本实用新型一种非接触的平面粗糙度检测装置，主视图如图1所示，右视图如图2所示，结构示意图如图3所示，包括光学平台15，光学平台15上设置有水平调节模块、待测件调节模块、参考件调节模块。
[0024]其中，水平调节模块包括高度调节底座4，高度调节底座4上设置有水平调整基座2，水平调整基座2上安装有双光轴自准仪1 ;高度调节底座4固接在光学平台15上。
[0025]待测件调节模块包括电动平移台al2，电动平移台al2上通过线性滑轨设置有手动角位台14，手动角位台14上安装有待测件安装座13，电动平移台al2通过“L”型型材11固接在光学平台15上。
[0026]待测件安装座13，结构如图4所示，包括相互垂直连接的第一板al3_l、第二板&13_2、第二板&13_3，第一板al3_l和第二板al3_3位于第二板al3_2的同侧，第二板al3_2与手动角位台14连接，第一板al3-l或第三板al3-3上设置有旋钮al3_4，旋钮al3_4位于待测件安装座内部的一端设置有橡胶垫al3-5。
[0027]其中，参考件调节模块包括电动平移台b5，电动平移台b5上通过线性滑轨设置有手动平移台a6，手动平移台a6上依次设置有手动平移台b7、调高支架8、参考件安装座9，电动平移台b5固接在光学平台15上。
[0028]参考件安装