振动台的制作方法

文档序号:10180951阅读:635来源:国知局
振动台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及在激振装置中使用的振动台。
【背景技术】
[0002]在专利文献1中记载了包括用于安装激振对象物的振动台的振动试验装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特公昭49-7171号公报【实用新型内容】
[0006]实用新型要解决的技术问题
[0007]专利文献1中记载的振动台的台面形成为正方形(方形)。这样的现有的振动台中,4个角成为共振频率比较低且强的共振点,使得振动台的共振特性降低。
[0008]本实用新型是鉴于上述问题而完成的,其目的在于提高振动台的共振特性。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]根据本实用新型一实施方式,提供一种振动台,其与台面平行的截面具有方形的四个角被切除后的形状。
[0011]在上述振动台中,可以为以下结构,具有四个角由直线切除后的八角形的截面。
[0012]在上述振动台中,可以为以下结构,具有四个角由圆弧切除后的形状的截面。
[0013]在上述振动台中,可以为以下结构,包括:与Z轴方向垂直的顶板;从顶板的下表面垂下,在与Z轴方向垂直的X轴方向上延伸的多个横肋;和从顶板的下表面垂下,在与Z轴方向和X轴方向两个方向垂直的Y轴方向上延伸的多个纵肋,横肋与纵肋在相互交叉的位置接合。
[0014]在上述振动台中,可以为以下结构,包括从顶板的周缘部垂下的框部,横肋和纵肋的两端与框部接合。
[0015]在上述振动台中,可以为以下结构,包括从顶板的下表面垂下且在与X轴方向和Y轴方向分别成45度的角度的方向上延伸的多个斜肋,该斜肋包括:在规定方向上延伸的第一斜肋;和与第一斜肋正交的第二斜肋,第一斜肋与第二斜肋在相互交叉的位置接合。
[0016]在上述振动台中,可以为以下结构,斜肋在与横肋和纵肋的至少一方交叉的位置与该至少一方的肋接合。
[0017]在上述振动台中,可以为以下结构,在横肋与纵肋交叉接合的位置,至少一个斜肋与该横肋和该纵肋接合。
[0018]在上述振动台中,可以为以下结构,包括在Z轴方向上引导振动台的第一 Z轴直线导向器的Z轴轨道,横肋为与X轴方向和Z轴方向两个方向平行的平板状,第一 Z轴直线导向器的Z轴轨道安装成与横肋的X轴方向上的端面相对。
[0019]在上述振动台中,可以为以下结构,包括在Z轴方向上引导振动台的第二 Z轴直线导向器的Z轴轨道,纵肋为与Y轴方向和Z轴方向两个方向平行的平板状,第二 Z轴直线导向器的z轴轨道安装成与纵肋的Y轴方向上的端面相对。
[0020]实用新型的效果
[0021]根据本实用新型的一实施方式,不使用中间台就能够构成直线导向器方式的交叉导向器,通过实现小型且轻量化而能够提高激振装置的频率特性。
【附图说明】
[0022]图1是本实用新型实施方式的激振装置的俯视图。
[0023]图2是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0024]图3是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0025]图4是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的俯视图。
[0026]图5是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0027]图6是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0028]图7是本实用新型实施方式的X轴激振单元的俯视图。
[0029]图8是本实用新型实施方式的X轴激振单元的侧视图。
[0030]图9是本实用新型实施方式的X轴激振单元的正视图。
[0031]图10是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的侧视图。
[0032]图11是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的正视图。
[0033]图12是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的纵截面图。
[0034]图13是放大本实用新型实施方式的水平驱动用电动型致动器的中立弹簧机构附近的纵截面图。
[0035]图14是本实用新型实施方式的交叉导向器的外观图。
[0036]图15是本实用新型实施方式的A型直线导向器的俯视图。
[0037]图16是本实用新型实施方式的A型直线导向器的侧视图。
[0038]图17是本实用新型实施方式的A型直线导向器的正视图。
[0039]图18是本实用新型实施方式的B型直线导向器的俯视图。
[0040]图19是本实用新型实施方式的B型直线导向器的侧视图。
[0041]图20是本实用新型实施方式的B型直线导向器的正视图。
[0042]图21是说明安装于中继框架的顶板的轨道配置图。
[0043]图22是滚柱轴承式直线导向器的横截面图。
[0044]图23是图22的I 一 I截面图。
[0045]图24是表示直线导向器的滚柱与保持件的配置关系图。
[0046]图25是放大振动台附近的俯视图。
[0047]图26是放大X轴激振单元的支承单元的弹簧机构附近的图。
[0048]图27是本实用新型实施方式的激振装置的驱动控制系统的方块图。
[0049]图28是球轴承式直线导向器的横截面图。
[0050]图29是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0051]图30是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0052]图31是本实用新型第二实施方式的Z轴激振单元的可动部外观图。
[0053]图32是本实用新型第二实施方式的中继框架外观图。
[0054]图33是本实用新型第二实施方式的XY滑块的Y轴轨道的立体图。
[0055]图34是放大本实用新型第三实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0056]图35是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0057]图36是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0058]图37是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0059]图38是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0060]图39是本实用新型第六实施方式的激振装置的俯视图。
[0061]图40是本实用新型第六实施方式的激振装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0062]以下,参照【附图说明】本实用新型的实施方式。
[0063]另外,各图中就同一或对应的要素注记同一或对应的符号,并省略重复的说明。
[0064]<第一实施方式>
[0065]图1是本实用新型第一实施方式的电动型3轴激振装置1 (以下简称为“激振装置1”)的机构部10的俯视图。在以下的说明中,将图1中的左右方向设为X轴方向(将右方向设为X轴正方向),将上下方向设为Y轴方向(将下方向设为Y轴正方向),将垂直于纸面的方向设为z轴方向(将从纸面背面侧朝向表面侧的方向设为Z轴正方向)。另外,Z轴方向是铅垂方向,且X轴和Y轴方向是水平方向。此外,图2和图3分别是激振装置1的侧视图。另外,图2是朝向Y轴负方向(图1中的上方向)观看激振装置1的图,图3是朝向X轴负方向(图1中的左方向)观看激振装置1的图。
[0066]如图1所示,激振装置1的机构部10包括:在其上表面固定被测体(未图示)的振动台400 ;对振动台400分别在X轴、Y轴和Z轴方向上进行激振的3个激振单元(X轴激振单元100、Y轴激振单元200和Ζ轴激振单元300);和安装各激振单元100、200和300的装置底座500。
[0067]图4是Ζ轴激振单元300的俯视图,图5和图6是Ζ轴激振单元300的侧视图。另夕卜,图5是朝向Υ轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图,图6是朝向X轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图。
[0068]此外,图7、图8和图9分别是X轴激振单元100的俯视图、侧视图和正视图。另夕卜,图7、图8和图9分别是朝向Ζ轴负方向、Υ轴负方向和X轴负方向观看X轴激振单元100的图。
[0069]各激振单元100、200和300是分别包括电动型致动器(音圈马达)的直动激振单元。振动台400与各激振单元100、200和300分别经由作为滑动连结机构的两轴滑块(ΥΖ滑块160、ΖΧ滑块260和ΧΥ滑块360)而连结。激振装置1使用各激振单元100、200和300,对振动台400和固定于振动台400上的被测体在正交3轴方向上进行激振。
[0070]图27是表示激振装置1的驱动控制系统la的概略结构的方块图。驱动控制系统la包括:控制整个装置动作的控制部20 ;计测振动台400的振动的计测部30 ;对控制部20供给电力的电源部40 ;和与外部进行输入输出的接口部50。
[0071]接口部50包括例如与用户之间进行输入输出的用户接口、用于与LAN(局域网络)等各种网络连接的网络接口、用于与外部机器连接的USB(通用串行总线)和与GPIB(通用接口总线)等各种通信接口中的一个以上。此外,用户接口例如包含各种操作开关、显示器、LCD(液晶显示器)等各种显示设备、鼠标或触控垫等各种指示装置、触控屏幕、摄影机、打印机、扫描仪、蜂鸣器、扬声器、麦克风、存储卡读写器等各种输入输出装置中的一个以上。
[0072]计测部30包括安装于振动台400的3轴振动传感器(3轴振动拾取器)32,将3轴振动传感器32输出的信号(例如速度信号或加速度信号)放大并数字转换后传送至控制部20。另外,3轴振动传感器32独立检测X轴、Y轴和Z轴方向的振动。此外,计测部30根据3轴振动传感器32的信号来计算表示振动台400的振动状态的各种参数(例如,速度、加速度、振幅、功率谱密度等),并传送至控制部20。控制部20根据经接口部50输入的激振波形和来自计测部30的信号,控制输入至各激振单元100、200和300的驱动线圈(后述)的交流电流大小和频率,能够以希望的振幅和频率使振动台400发生振动。
[0073]接着,说明各激振单元100、200和300的构造。如后述,X轴激振单元100和Y轴激振单元200分别包括水平驱动用电动型致动器(以下简称为“水平致动器”)100A和200A。另外,Z轴激振单元300包括铅垂驱动用电动型致动器(以下简称为“铅垂致动器”)300A。
[0074]铅垂致动器300A包括用于支承被测体和振动台的重量(静载荷)的空气弹簧330(后述)。另外,水平致动器100A和200A分别包括施加使振动台返回中立位置(原点、基准位置)的复原力的中立弹簧(复位弹簧,回位弹簧,neutral spring)机构130、230(后述)。X轴激振单元100和Y轴激振单元200除了包括中立弹簧机构130、230以取代空气弹簧330之外,与Z轴激振单元300的结构相同,所以代表各激振单元,对Z轴激振单元300的结构进行详细说明。
[0075]图10是铅垂致动器300A的侧视图,图11是其正视图。此外,图12是Z轴激振单元300 (铅垂致动器300A)的纵截面图。铅垂致动器300A包括:具有筒状体312的固定部310 ;和收纳于固定部310的筒内的可动部320。可动部320能够相对于固定部310在垂直方向(Z轴方向)上移动。可动部320包括:大致圆柱状的主框架322 ;和同轴地安装于主框架322下端部的驱动线圈352。此外,在主框架322的上端部同轴地安装有与主框架32
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