一种晶元自动检测设备用探针定位夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种晶元自动检测设备用探针定位夹具。
【背景技术】
[0002]晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元，晶元经过封装之后制成芯片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元在封装制造成芯片之前需要对每个晶元的性能进行检测，由于一个晶元片上存在上百个晶元，人工检测效率低;对于自动化检测而言，由于晶元排列密集，探针定位困难。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决现有技术中的晶元自动检测设备上探针安装定位困难的问题，提供了一种探针安装、定位方便，极大提高晶元检测效率的一种晶元自动检测设备用探针定位夹具。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]—种晶元自动检测设备用探针定位夹具，包括连接套，所述连接套的一端设有连接法兰，连接套的另一端固定有定位胶套I，所述的定位胶套I的外端面为外锥面，所述定位胶套I的外端面上还设有定位胶套II，所述定位胶套II的内端面为内锥面，定位胶套I与定位胶套II之间夹持有若干探针，所述定位胶套II的外端设有环形压板，所述的环形压板与连接套之间螺栓连接，探针的头部位于连接套内且高出环形压板的端面，探针的尾部连接有导线，导线的外端与集成插头连接。
[0006]连接法兰与自动检测设备机械连接，集成插头与自动检测设备电连接，晶元片安装在滑动支架上，探针与晶元表面接触，滑动支架带动晶元片移动，使得晶元片上的每一格晶元都经过一次探针，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元芯片的检测效率;本结构中，通过调节内锥面与外锥面的角度来控制探针的倾斜角度，从而使得所有探针的头部能够伸出环形压板外并尽可能的保持在同一平面内；探针损坏后，能够快速拆卸更换。
[0007]作为优选，所述的探针包括探针套、探针头，探针头可在探针套内弹性伸缩，探针头的外端弯曲形成检测端子，所述的检测端子与待检测的晶元芯片垂直。探针倾斜分布，从而保证探针头与晶元芯片之间是弹性接触，检测端子与晶元芯片垂直，保证两者之间接触稳定，探针头受力稳定。
[0008]作为优选，所述检测端子的端面为球面。球面能防止检测端子在晶元芯片表面移动时产生刮痕。
[0009]因此，本实用新型具有探针安装、定位方便，极大提高晶元检测效率的的有益效果O
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的一种结构示意图。
[0011]图2为图1的侧剖图。
[0012]图3为探针的结构示意图。
[0013]图中:连接套1、连接法兰2、定位胶套13、定位胶套114、探针5、环形压板6、螺栓7、导线8、集成插头9、晶元芯片10、探针套50、探针头51、检测端子52。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步描述:
[0015]如图1和图2所示的一种晶元自动检测设备用探针定位夹具，包括连接套1，连接套I的一端设有连接法兰2，连接套的另一端固定有定位胶套13，定位胶套13的外端面为外锥面，定位胶套I的外端面上还设有定位胶套114，定位胶套II的内端面为内锥面，定位胶套13与定位胶套114之间夹持有若干探针5，定位胶套114的外端设有环形压板6，环形压板6与连接套I之间螺栓7连接，所有的探针呈两排分布，探针5的头部位于连接套I内且高出环形压板的端面，每排探针的头部对齐，探针5的尾部连接有导线8，导线的外端与集成插头9连接。
[0016]如图3所示，探针5包括探针套50、探针头51，探针头可在探针套内弹性伸缩，探针头51的外端弯曲形成检测端子52，检测端子52与待检测的晶元芯片10垂直，检测端子52的端面为球面。
[0017]结合附图，本实用新型的使用方法如下:连接法兰与自动检测设备机械连接，集成插头与自动检测设备电连接，晶元片安装在滑动支架上，探针与晶元表面接触，滑动支架带动晶元片移动，使得晶元片上的每一格晶元都经过一次探针，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元芯片的检测效率;本结构中，通过调节内锥面与外锥面的角度来控制探针的倾斜角度，从而使得所有探针的头部能够伸出环形压板外并尽可能的保持在同一平面内；探针损坏后，能够快速拆卸更换。因此，本实用新型具有探针安装、定位方便，极大提高晶元检测效率的的有益效果。
【主权项】
1.一种晶元自动检测设备用探针定位夹具，其特征是，包括连接套，所述连接套的一端设有连接法兰，连接套的另一端固定有定位胶套I，所述的定位胶套I的外端面为外锥面，所述定位胶套I的外端面上还设有定位胶套II，所述定位胶套II的内端面为内锥面，定位胶套I与定位胶套II之间夹持有若干探针，所述定位胶套II的外端设有环形压板，所述的环形压板与连接套之间螺栓连接，探针的头部位于连接套内且高出环形盖板的端面，探针的尾部连接有导线，导线的外端与集成插头连接。2.根据权利要求1所述的一种晶元自动检测设备用探针定位夹具，其特征是，所述的探针包括探针套、探针头，探针头可在探针套内弹性伸缩，探针头的外端弯曲形成检测端子，所述的检测端子与待检测的晶元芯片垂直。3.根据权利要求2所述的一种晶元自动检测设备用探针定位夹具，其特征是，所述检测端子的端面为球面。
【专利摘要】本实用新型涉及自动化检测工装技术领域，公开了一种晶元自动检测设备用探针定位夹具，包括连接套，连接套的一端设有连接法兰，连接套的另一端固定有定位胶套I，定位胶套I的外端面为外锥面，定位胶套I的外端面上还设有定位胶套II，定位胶套II的内端面为内锥面，定位胶套I与定位胶套II之间夹持有若干探针，定位胶套II的外端设有环形压板，环形压板与连接套之间螺栓连接，探针的头部位于连接套内且高出环形压板的端面，探针的尾部连接有导线，导线的外端与集成插头连接。本实用新型具有探针安装、定位方便，极大提高晶元检测效率的有益效果。
【IPC分类】G01R1/073
【公开号】CN205229221
【申请号】CN201521035597
【发明人】杨会会
【申请人】普铄电子(上海)有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月12日