一种低电容硅像素探测器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种低电容硅像素探测器，探测器的像素单元电极包括中心部、若干连接部及若干外围部，中心部通过连接部连接外围部，连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围，中心部、连接部与外围部形成探测器像素单元电极，且像素单元电极的有效面积小于像素单元的上表面积。本实用新型的优点体现在：在保持探测器有效体积不变的前提下,通过减小探测器电极的有效面积达到减小探测器的电容，减小噪声，进而减小噪声提高信噪比，应用于能谱仪可提高能谱仪对能量的分辨率。
【专利说明】
一种低电容娃像素探测器
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种硅像素探测器，具体涉及一种低电容硅像素探测器。
【背景技术】
[0002]传统硅像素探测器的像素单元上的有效电极面积与像素单元的上表面积一致，而电极的有效面积过大会造成噪声信噪比过大，探测器对能量的分辨率过低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种低电容、低噪声、高分辨率的硅像素探测器。
[0004]为实现上述目的，本实用新型公开了如下技术方案:
[0005]—种低电容硅像素探测器，探测器的像素单元电极包括中心部、若干连接部及若干外围部，中心部通过连接部连接外围部，连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围，中心部、连接部与外围部形成探测器像素单元电极，且像素单元电极的有效面积小于像素单元的上表面积；
[0006]所述中心部为圆形，连接部为杆形，外围部为以中心部为圆心的圆弧形，外围部两端也为圆弧形。
[0007]作为一种优选的技术方案，所述像素单元为底面为正六边形的棱柱，边长525微米，高500微米，正负电极的厚度均为I微米，中心部半径为85微米，连接部长221微米，夕卜围部两端弧形半径为50微米。
[0008]作为一种优选的技术方案，所述像素单元电极的有效面积为像素单元上表面积的1/3?1/2。
[0009]本实用新型公开的一种低电容硅像素探测器，具有以下有益效果:
[0010]在保持探测器有效体积不变的前提下，通过减小探测器电极的有效面积达到减小探测器的电容，减小噪声，进而减小噪声提高信噪比，应用于能谱仪可提高能谱仪对能量的分辨率。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的结构示意图。
[0012]附图标记说明:
[0013]1.像素单元，2.外围部，3.连接部，4.中心部。
【具体实施方式】
[0014]下面结合实施例并参照附图对本实用新型作进一步描述。
[0015]请参见图1。
[0016]—种低电容硅像素探测器，探测器的像素单元电极包括中心部4、若干连接部3及若干外围部2，中心部4通过连接部3连接外围部2，连接部3与外围部2沿圆周均布在中心部4外围，中心部4、连接部3与外围部2形成探测器像素单元电极，且像素单元电极的有效面积小于像素单元I的上表面积。
[0017]所述中心部4为圆形，连接部3为杆形，外围部2为以中心部4为圆心的圆弧形，外围部2两端也为圆弧形。
[0018]优选的，所述像素单元I为底面为正六边形的棱柱，边长525微米，高500微米，正负电极的厚度均为I微米，中心部半径为85微米，连接部长221微米，外围部两端弧形半径为50微米。
[0019]优选的，所述像素单元电极的有效面积为像素单元I上表面积的1/3?1/2。
[0020]本实用新型在保持探测器有效体积不变的前提下，通过减小探测器电极的有效面积达到减小探测器的电容，减小噪声，进而减小噪声提高信噪比，应用于能谱仪可提高能谱仪对能量的分辨率。
[0021]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，而非对其限制;应当指出，尽管参照上述各实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对上述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改和替换，并不使相应的技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种低电容硅像素探测器，其特征在于，探测器的像素单元电极包括中心部、若干连接部及若干外围部，中心部通过连接部连接外围部，连接部与外围部沿圆周均布在中心部外围，中心部、连接部与外围部形成探测器像素单元电极，且像素单元电极的有效面积小于像素单元的上表面积； 所述中心部为圆形，连接部为杆形，外围部为以中心部为圆心的圆弧形，外围部两端也为圆弧形。2.根据权利要求1所述的一种低电容硅像素探测器，其特征在于，所述像素单元为底面为正六边形的棱柱，边长525微米，高500微米，正负电极的厚度均为I微米，中心部半径为85微米，连接部长221微米，外围部两端弧形半径为50微米。3.根据权利要求1所述的一种低电容硅像素探测器，其特征在于，所述像素单元电极的有效面积为像素单元上表面积的1/3?1/2。
【文档编号】G01T1/36GK205450296SQ201620259382
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】李正, 熊波, 李玉云, 刘曼文, 冯明富
【申请人】湘潭大学