一种压力监测设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及监测设备领域，公开一种压力监测设备，包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中:换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当换向组件处于第一工作状态时，第一接口与第二接口连通；当换向组件处于第二工作状态时，第一接口与第三接口连通；第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与第一接口连通；第二管道的一端与第二接口连通，真空压力计安装于第二管道的另一端；第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与第三接口连通。该设备可改善因冷凝液体进入监测管道造成的监控数据异常，提高了排风系统压力监测准确性，并改善了因压力监测数据异常造成的设备稼动率降低的问题。
【专利说明】
一种压力监测设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及监测设备领域，特别涉及一种压力监测设备。
【背景技术】
[0002]在现代工业中，生产车间内为防止在生产过程中产生的有害物或水蒸气对生产过程造成影响，多采用排风系统将有害物或水蒸气排出车间。例如在目前液晶显示面板制造业中，生产过程中所用的湿法刻蚀机以及湿法剥离机的药液区间升温后会产生药液挥发气体，而水洗区间则会产生水蒸气，为减少药液挥发气体和水蒸气对生产过程的影响，需设置排风系统将药液挥发气体和水蒸气排出。为保证生产工艺稳定和减少药液损失，要求排风系统的负压维持在一定范围内，需采用压力监测设备对排风系统的负压进行监测，压力监测设备中通常使用监测管道与排风管道相连，并在监测管道的一端设置真空压力计以进行负压进行监测，当监测到的负压超出设定范围时，设备会停止生产，以避免在此情况下继续生产而造成的产品不良。
[0003]但是，在排风过程中，药液挥发气体和水蒸气会在真空压力计的监测管道上冷凝，冷凝液体会因压力变化而进入监测管道并使管道堵塞，导致所测得的数值与实际不符，降低了排风系统的压力监测准确性，不能反应排风系统的真实压力。若此异常数值超出生产工艺要求的设定范围，还会造成设备非正常停机，降低设备稼动率。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提供了一种压力监测设备，可改善因冷凝液体进入监测管道造成的监控数据异常，提高了排风系统压力监测准确性，并改善了因压力监测数据异常造成的设备稼动率降低的问题。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案:
[0006]一种压力监测设备包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中:
[0007]所述换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当所述换向组件处于第一工作状态时，所述第一接口与所述第三接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，且所述第一接口与所述第二接口连通；当所述换向组件处于第二工作状态时，所述第一接口与所述第二接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，所述第一接口与所述第三接口连通；
[0008]所述第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与所述第一接口连通;所述第二管道的一端与所述第二接口连通，所述真空压力计安装于所述第二管道的另一端;所述第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与所述第三接口连通。
[0009]本实用新型提供的压力监测设备用于监测排风系统中的排风管道内的压力，在压力监测设备进行排风系统的负压监测时，控制换向组件处于第一工作状态，使第一接口与第三接口之间断开、第二接口与第三接口断开，第一接口与第二接口连通，此时真空压力计与排风管道之间连通，可进行排风管道内的压力监测;在需进行第一管道除水时，控制换向组件处于第二工作状态，使第一接口与第二之间断开、第二接口与第三接口断开，第一接口与第三接口连通，此时干燥气源装置与第一管道之间连通，通过干燥气源装置向第一管道内输送压缩干燥空气，可清除第一管道内的冷凝液体。
[0010]该压力监测设备可改善因冷凝液体进入监测管道造成的监控数据异常，提高了排风系统压力监测准确性，并改善了因压力监测数据异常造成的设备稼动率降低的问题。
[0011]优选地，所述换向组件包括:
[0012]安装于所述换向组件内的挡板，所述挡板的一端铰接于所述换向、且可绕其铰接端转动，当所述挡板处于第一工位时将所述第三接口封堵，以使所述换向组件处于第一工作状态；当所述挡板处于第二工位时将所述第二接口封堵，以使所述换向组件处于所述第二工作状态；
[0013]与所述挡板连接的离合机构，在所述第三接口内的气压未超过预设阈值时，所述挡板在所述离合机构的作用下处于第一工位；
[0014]在所述第三接口内的气压超过预设阈值时，所述挡板在所述第三接口内的气压的作用下克服所述离合机构的作用力运动至第二工位。
[0015]进一步地，所述离合机构包括第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件安装于所述挡板，所述第二磁性件安装于所述换向组件内。
[0016]进一步地，第二磁性件安装于所述换向组件内位于所述第二接口的一侧或位于所述第一接口的一侧，所述第一磁性件与所述第二磁性件相对的一侧相斥;或，
[0017]所述第二磁性件安装于所述换向组件内位于所述第三接口的一侧或位于所述第一接口的一侧，所述第一磁性件与所述第二磁性件相对的一侧相吸。
[0018]进一步地，所述离合机构包括与所述挡板连接的弹性件。
[0019]进一步地，所述弹性件为与所述挡板的铰接端连接的扭力弹簧;或，
[0020]所述弹性件为一端与所述挡板连接、另一端安装于所述换向组件内位于所述第三接口的一侧或位于所述第一接口的一侧的拉力弹簧;或，
[0021]所述弹性件为一端与所述挡板连接、另一端安装于所述换向组件内位于所述第二接口的一侧或位于所述第一接口的一侧的压力弹簧。
[0022]进一步地，所述第三管道设有用于调节所述第三管道内气压大小的调节阀。
[0023]优选地，所述换向组件包括:
[0024]安装于所述第二接口的第一闸阀、和安装于所述第三接口的第二闸阀；
[0025]在所述第一闸阀打开且所述第二闸阀关闭时，所述换向组件处于所述第一工作状态；
[0026]在所述第一闸阀关闭且所述第二闸阀打开时，所述换向组件处于所述第二工作状
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【附图说明】
[0027]图1是本实用新型提供的一种压力监测设备的结构示意图；
[0028]图2a是图1中所示的换向组件的结构示意图；
[0029]图2b是图1中所示的换向组件的另一种结构示意图；
[0030]图3a是图1中所示的压力监测设备在换向组件处于第一工作状态时的结构示意图；
[0031]图3b是图1中所示的压力监测设备在换向组件处于第二工作状态时的结构示意图；
[0032]图4是本实用新型提供的一种压力监测设备的另一种结构示意图。
[0033]附图标记:
[0034]10，第一管道;20，第二管道;30，第三管道;31，调节阀；
[0035]40，换向组件;400，壳体;41，第一接口 ； 42，第二接口 ；
[0036]43，第三接口； 44，挡板;441，铰接端;45，离合机构；
[0037]451，第一磁性件;452，第二磁性件;46，第一闸阀；47，第二闸阀；
[0038]50，真空压力计;60，排风管道;70，干燥气源装置。
【具体实施方式】
[0039]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0040]图1为本实用新型提供的压力监测设备的结构示意图，参见图1所示，本实用新型提供的压力监测设备包括:第一管道10、第二管道20、第三管道30、换向组件40和真空压力计50，其中:
[0041 ] 换向组件40包括第一接口 41、第二接口 42和第三接口 43 ；
[0042]第一管道10的一端用于与排风管道60连通、另一端与第一接口41连通;第二管道20的一端与第二接口 42连通，真空压力计50安装于第二管道20的另一端;第三管道30的一端用于与干燥气源装置70连通、另一端与第三接口 43连通。
[0043]该压力监测设备中，为实现排风系统的压力监测功能和第一管道10的除水功能，换向组件40具有第一工作状态和第二工作状态:
[0044]当换向组件40处于第一工作状态时，第一接口41与第三接口 43断开，第二接口 42与第三接口 43断开，且第一接口 41与第二接口 42连通；
[0045]当换向组件处于第二工作状态时，第一接口41与第二接口42断开，第二接口42与第三接口 43断开，第一接口 41与第三接口 43连通。
[0046]具体地，上述换向组件40可采用如下方式实现:
[0047]实现方式一:参见图2a和图2b所示，图2a和图2b为该实现方式中换向组件40的结构示意图，换向组件40包括:
[0048]壳体400;
[0049]安装于壳体400内的挡板44，挡板44的一端铰接于壳体400、且可绕其铰接端441转动；
[0050]结合图3a所示，图3a为挡板44处于第一工位时的压力监测设备的工作状态示意图，当挡板44处于第一工位时将第三接口 43封堵，以使换向组件处于第一工作状态，此时，第一接口 41与第三接口 43断开，第二接口 42与第三接口 43断开，且第一接口 41与第二接口42连通，排风管道60与真空压力计50连通，换向组件40内的气流流动方向如图3a中的箭头组A所示，真空压力计50可进行排风管道60内的压力监测；
[0051]结合图3b所示，图3b为挡板44处于第二工位时的压力监测设备的工作状态示意图，当挡板44处于第二工位时将第二接口 42封堵，以使换向组件处于第二工作状态，此时，第一接口 41与第二接口 42断开，第二接口 42与第三接口 43断开，第一接口 41与第三接口 43连通，换向组件40内的气流流动方向如图3b中的箭头组B所示，干燥气源装置70与第一管道10连通，通过干燥气源装置70向第一管道10内输送压缩干燥空气，可除去第一管道10内的冷凝液体。
[0052]为控制挡板44在第一工位和第二工位之间切换，换向组件40还包括与挡板44连接的离合机构45，在第三接口 43内的气压未超过预设阈值时，挡板44在离合机构45的作用下处于第一工位;在第三接口 43内的气压超过预设阈值时，挡板44在第三接口 43内的气压的作用下克服离合机构45的作用力运动至第二工位。该离合机构45无需通过外部设施对挡板44进行控制即可实现挡板44的工位切换，简化了换向组件40的结构。
[0053]具体实施中，该离合机构45也可采用多种方式实现，如图2a和图2b中所示的一种实现方式中，离合机构45包括第一磁性件451和第二磁性件452，第一磁性件451安装于挡板44，第二磁性件452安装于换向组件40内。该实现方式中的离合机构45通过第一磁性件451和第二磁性件452之间的磁力作用实现。
[0054]具体地，如图2a所示，第一磁性件451与第二磁性件452相对的一侧相斥，第二磁性件452安装于壳体400内位于第二接口 42的一侧，此外也可安装于壳体400内位于第一接口41的一侧;通过第一磁性件451和第二磁性件452之间的斥力可使挡板44处于第一工位，在第三接口 43内的气压对挡板44的作用力大于第一磁性件451和第二磁性件452之间的斥力时，挡板44在气压的作用力下克服第一磁性件451和第二磁性件452之间的斥力运动至第二工位；
[0055]如图2b所示，第一磁性件451与第二磁性件452相对的一侧相吸，第二磁性件452安装于壳体400内位于第三接口43的一侧，此外也可安装于壳体400内位于第一接口41的一侧;通过第一磁性件451和第二磁性件452之间的吸力可使挡板44处于第一工位，在第三接口 43内的气压对挡板44的作用力大于第一磁性件451和第二磁性件452之间的吸力时，挡板44在气压的作用力下克服第一磁性件451和第二磁性件452之间的斥力运动至第二工位。
[0056]在其他实现方式中，除了采用上述的磁性机构实现挡板44的工位切换之外，还可采用弹性件实现挡板44的工位切换，则离合机构45包括与挡板44连接的弹性件，具体地，弹性件可采用与挡板44的铰接端441连接的扭力弹簧;或，
[0057]弹性件为一端与挡板44连接、另一端安装于换向组件40内位于第三接口43的一侧或位于第一接口 41的一侧的拉力弹簧;或，
[0058]弹性件为一端与挡板44连接、另一端安装于换向组件40内位于第二接口42的一侧或位于第一接口 41的一侧的压力弹簧。
[0059]上述弹性件可通过其对挡板44的作用力使挡板44处于第一工位，在第三接口43内的气压对挡板44的作用力大于弹性件的作用力时，挡板44在气压的作用力下克服弹性件的作用力运动至第二工位。
[0060]一种优选方式中，为便于调节第三管道30内的气压大小，以实现挡板44的工位切换，第三管道30设有用于调节第三管道30内气压大小的调节阀31。
[0061]实现方式二:参见图4所示，图4为本实现方式中的压力监测设备的结构示意图，换向组件40包括:
[0062]安装于第二接口42的第一闸阀46、和安装于第三接口 43的第二闸阀47;
[0063]在第一闸阀46打开且第二闸阀47关闭时，换向组件处于第一工作状态；
[0064]在第一闸阀46关闭且第二闸阀47打开时，换向组件处于第二工作状态。
[0065]本实用新型提供的压力监测设备用于监测排风系统中的排风管道60内的压力，在压力监测设备进行排风系统的负压监测时，控制换向组件40处于第一工作状态，使第一接口 41与第三接口 43之间断开、第二接口 42与第三接口 43断开，第一接口 41与第二接口 42连通，此时真空压力计50与排风管道60之间连通，可进行排风管道60内的压力监测；在需进行第一管道10除水时，控制换向组件40处于第二工作状态，使第一接口 41与第二之间断开、第二接口 42与第三接口 43断开，第一接口 41与第三接口 43连通，此时干燥气源装置70与第一管道10之间连通，通过干燥气源装置70向第一管道10内输送压缩干燥空气，可清除第一管道10内的冷凝液体。
[0066]该压力监测设备可改善因冷凝液体进入监测管道造成的监控数据异常，提高了排风系统压力监测准确性，并改善了因压力监测数据异常造成的设备稼动率降低的问题。
[0067]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种压力监测设备，其特征在于，包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中: 所述换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当所述换向组件处于第一工作状态时，所述第一接口与所述第三接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，且所述第一接口与所述第二接口连通；当所述换向组件处于第二工作状态时，所述第一接口与所述第二接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，所述第一接口与所述第三接口连通； 所述第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与所述第一接口连通;所述第二管道的一端与所述第二接口连通，所述真空压力计安装于所述第二管道的另一端;所述第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与所述第三接口连通。2.根据权利要求1所述的压力监测设备，其特征在于，所述换向组件包括: 壳体； 安装于所述壳体内的挡板，所述挡板的一端铰接于所述壳体、且可绕其铰接端转动，当所述挡板处于第一工位时将所述第三接口封堵，以使所述换向组件处于第一工作状态；当所述挡板处于第二工位时将所述第二接口封堵，以使所述换向组件处于所述第二工作状态； 与所述挡板连接的离合机构，在所述第三接口内的气压未超过预设阈值时，所述挡板在所述离合机构的作用下处于第一工位； 在所述第三接口内的气压超过预设阈值时，所述挡板在所述第三接口内的气压的作用下克服所述离合机构的作用力运动至第二工位。3.根据权利要求2所述的压力监测设备，其特征在于，所述离合机构包括第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件安装于所述挡板，所述第二磁性件安装于所述换向组件内。4.根据权利要求3所述的压力监测设备，其特征在于，第二磁性件安装于所述换向组件内位于所述第二接口的一侧或位于所述第一接口的一侧，所述第一磁性件与所述第二磁性件相对的一侧相斥;或， 所述第二磁性件安装于所述换向组件内位于所述第三接口的一侧或位于所述第一接口的一侧，所述第一磁性件与所述第二磁性件相对的一侧相吸。5.根据权利要求2所述的压力监测设备，其特征在于，所述离合机构包括与所述挡板连接的弹性件。6.根据权利要求5所述的压力监测设备，其特征在于，所述弹性件为与所述挡板的铰接端连接的扭力弹簧;或， 所述弹性件为一端与所述挡板连接、另一端安装于所述换向组件内位于所述第三接口的一侧或位于所述第一接口的一侧的拉力弹簧;或， 所述弹性件为一端与所述挡板连接、另一端安装于所述换向组件内位于所述第二接口的一侧或位于所述第一接口的一侧的压力弹簧。7.根据权利要求2-6任一项所述的压力监测设备，其特征在于，所述第三管道设有用于调节所述第三管道内气压大小的调节阀。8.根据权利要求1所述的压力监测设备，其特征在于，所述换向组件包括: 安装于所述第二接口的第一闸阀、和安装于所述第三接口的第二闸阀； 在所述第一闸阀打开且所述第二闸阀关闭时，所述换向组件处于所述第一工作状态；在所述第一闸阀关闭且所述第二闸阀打开时，所述换向组件处于所述第二工作状态。
【文档编号】G01L9/00GK205620073SQ201620490822
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年5月20日
【发明人】李盛荣, 王世凯, 金童燮, 耿军, 王华东, 石正东
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司