一种电柜温控系统的制作方法
【专利摘要】一种电柜温控系统，包括：测温单元，与电柜之电流接触器电连接，并用于监测电流接触器之实时温度；温度侦测控制器，与测温单元电连接，并根据测温单元所监测之实时温度对警示系统发出指令；警示系统，与温度侦测控制器电连接，并执行温度侦测控制器之指令。本实用新型通过在电柜之电流接触器的最高温度处设置测温单元，当测温单元所监测之实时温度超过预设温度时，温度侦测控制器发出执行，警示系统执行指令，并对外发出警示，避免因温度过高造成安全事故隐患。
【专利说明】
_种电柜温控系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电柜温控系统。
【背景技术】
[0002]为实现安全、有效的电力供应，化学气相沉积(CVD)的主机台均与作为附属电力供应装置之电柜电连接。同时，在所述电柜内配置电流接触器，所述电流接触器用于与外界机台端的各类部件连接。明显地，机台端的各类部件之工作功率各不相同。当所述机台端的部件之工艺需求功率增大时，例如工艺在沉积和刻蚀时对射频所需求的功率即不相同，便会引起电流的增大，与此同时，增大的电流势必导致电流接触器的温度升高，甚至有燃烧的风险，存在极大的安全隐患。
[0003]寻求一种对电柜之温度可实时监控，并有效预警，以避免安全事件发生的电柜温控系统已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
[0004]故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本实用新型一种电柜温控系统。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型是针对现有技术中，与传统电柜之电流接触器电连接的机台端之部件工艺需求功率增大时，便会引起电流的增大，且增大的电流势必导致电流接触器的温度升高，甚至有燃烧的风险，存在极大的安全隐患等缺陷提供一种电柜温控系统。
[0006]为实现本实用新型之目的，本实用新型提供一种电柜温控系统，所述电柜温控系统，包括:测温单元，所述测温单元与电柜之电流接触器电连接，并用于监测所述电流接触器之实时温度;温度侦测控制器，所述温度侦测控制器与所述测温单元电连接，并根据所述测温单元所监测之实时温度对警示系统发出指令;警示系统，所述警示系统与所述温度侦测控制器电连接，并执行所述温度侦测控制器之指令。
[0007]可选地，所述测温单元所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器发出指令，所述警示系统执行指令，对外发出警示。
[0008]可选地，所述预设温度依据各工艺制程之工作电流对所述电流接触器之温度的影响进行设定。
[0009]可选地，所述工艺制程为薄膜沉积、刻蚀。
[0010]可选地，所述测温单元设置在所述电流接触器之最高温度处。
[0011]可选地，所述测温单元通过耐温硅胶粘附在所述电流接触器之最高温度处。
[0012]可选地，所述测温单元为热电偶。
[0013]可选地，所述电柜之电流接触器与工艺腔室、射频电源、远程等离子体系统的至少其中之一电连接。
[0014]综上所述，本实用新型电柜温控系统通过在电柜之电流接触器的最高温度处设置测温单元，当所述测温单元所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器发出执行，所述警示系统执行指令，并对外发出警示，避免因温度过高造成安全事故隐患。
【附图说明】
[0015]图1所示为本实用新型电柜温控系统的框架结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
[0017]为实现安全、有效的电力供应，化学气相沉积(CVD)的主机台均与作为附属电力供应装置之电柜电连接。同时，在所述电柜内配置电流接触器，所述电流接触器用于与外界机台端的各类部件连接。明显地，机台端的各类部件之工作功率各不相同。当所述机台端的部件之工艺需求功率增大时，例如工艺在沉积和刻蚀时对射频所需求的功率即不相同，便会引起电流的增大，与此同时，增大的电流势必导致电流接触器的温度升高，甚至有燃烧的风险，存在极大的安全隐患。
[0018]请参阅图1，图1所示为本实用新型电柜温控系统的框架结构示意图。所述电柜温控系统I，包括:测温单元11，所述测温单元11与电柜(未图示)之电流接触器12电连接，并用于监测所述电流接触器12之实时温度;温度侦测控制器13，所述温度侦测控制器13与所述测温单元11电连接，并根据所述测温单元11所监测之实时温度对警示系统14发出指令;警示系统14，所述警示系统14与所述温度侦测控制器13电连接，并执行所述温度侦测控制器13之指令。
[0019]作为具体的实施方式，所述测温单元11所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器13发出指令，所述警示系统14执行指令，并对外发出警示，避免因温度过高造成安全事故隐患。
[0020]作为本领域技术人员，容易理解地，与所述电柜之电流接触器12连接的机台端之各类部件的工作功率各不相同。当所述机台端的部件之工艺需求功率增大时，例如工艺在沉积和刻蚀时对射频所需求的功率即不相同，便会引起电流的增大，与此同时，增大的电流势必导致电流接触器的温度升高，甚至有燃烧的风险，存在极大的安全隐患。故，所述预设温度依据各工艺制程之工作电流对电流接触器12之温度的影响进行设定。所述工艺制程包括但不限于薄膜沉积、刻蚀等工艺。
[0021]为了更直观的揭露本实用新型之技术方案，凸显本实用新型之有益效果，现结合【具体实施方式】为例，对所述电柜温控系统的结构和工作原理进行阐述。在【具体实施方式】中，所述电柜温控系统之各功能部件的形状、结构、位置设置等仅为列举，不应视为对本实用新型技术方案的限制。
[0022]请继续参阅图1，所述电柜温控系统I，包括:测温单元11，所述测温单元11与电柜(未图示)之电流接触器12电连接，并用于监测所述电流接触器12之实时温度;温度侦测控制器13，所述温度侦测控制器13与所述测温单元11电连接，并根据所述测温单元11所监测之实时温度对警示系统14发出指令;警示系统14，所述警示系统14与所述温度侦测控制器13电连接，并执行所述温度侦测控制器13之指令。
[0023]更具体地，所述测温单元11为热电偶。优选地，所述测温单元11设置在所述电流接触器12之最高温度处。所述测温单元11通过耐温硅胶(未图示)粘附在所述电流接触器12之最高温度处。所述电柜之电流接触器12非限制性地与工艺腔室(未图示)、射频电源(未图示)、远程等离子体系统(未图示)的至少其中之一电连接。
[0024]显然地，在半导体的工艺制程过程中，当所述测温单元11所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器13发出执行，所述警示系统14执行指令，并对外发出警示，避免因温度过高造成安全事故隐患。
[0025]综上所述，本实用新型电柜温控系统通过在电柜之电流接触器的最高温度处设置测温单元，当所述测温单元所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器发出执行，所述警示系统执行指令，并对外发出警示，避免因温度过高造成安全事故隐患。
[0026]本领域技术人员均应了解，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可对本实用新型进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本实用新型涵盖这些修改和变型。
【主权项】
1.一种电柜温控系统，其特征在于，所述电柜温控系统，包括: 测温单元，所述测温单元与电柜之电流接触器电连接，并用于监测所述电流接触器之头时温度； 温度侦测控制器，所述温度侦测控制器与所述测温单元电连接，并根据所述测温单元所监测之实时温度对警示系统发出指令； 警示系统，所述警示系统与所述温度侦测控制器电连接，并执行所述温度侦测控制器之指令。2.如权利要求1所述的电柜温控系统，其特征在于，所述测温单元所监测之实时温度超过预设温度时，所述温度侦测控制器发出指令，所述警示系统执行指令，对外发出警示。3.如权利要求2所述的电柜温控系统，其特征在于，所述预设温度依据各工艺制程之工作电流对所述电流接触器之温度的影响进行设定。4.如权利要求3所述的电柜温控系统，其特征在于，所述工艺制程为薄膜沉积、刻蚀。5.如权利要求1所述的电柜温控系统，其特征在于，所述测温单元设置在所述电流接触器之最高温度处。6.如权利要求5所述的电柜温控系统，其特征在于，所述测温单元通过耐温硅胶粘附在所述电流接触器之最高温度处。7.如权利要求1所述的电柜温控系统，其特征在于，所述测温单元为热电偶。8.如权利要求1所述的电柜温控系统，其特征在于，所述电柜之电流接触器与工艺腔室、射频电源、远程等离子体系统的至少其中之一电连接。
【文档编号】G01K7/02GK205642661SQ201620447840
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】刘涛, 杨培林
【申请人】上海华力微电子有限公司