一种半导体设备安全门互锁系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种半导体设备的安全门互锁系统，包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元；门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，半导体设备的物理门开启，控制门开关单元断开；互锁旁路模块并接在门开关单元上；其中，在特殊工作状态下，当半导体设备的物理门开启，互锁旁路模块被触发导通，同时门开关单元被屏蔽；处理单元接收互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元工作。因此，本发明可以根据半导体设备所需的特殊工作状态，通过增加互锁旁路模块，使设备门对与其联动的门开关信号进行屏蔽，实现安全门互锁的旁路功能，增强半导体设备的可操作性。
【专利说明】一种半导体设备安全门互锁系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及集成电路制造【技术领域】，更具体地说，涉及一种半导体设备的安全门互锁系统。
【背景技术】
[0002]目前，对于大多数半导体设备，均在保护人员、设备和厂区免受危害方面有许多强有力的安全和保护标准和措施。半导体设备安全门互锁系统就是一种专门针对性设计的半导体设备控制系统。
[0003]半导体设备的控制系统通常是上位机+下位机+执行单元的结构，半导体设备安全门互锁系统就是在设备微环境门或遥控电源柜门等门体处均安装有门开关(执行单元)，当操作人员打开门体时，门开关被触发，以同步停止半导体处理设备门内的一些主要功能，设备门开关的主要控制功能分为三类，分别为:
[0004](I)当门开关被触发时，控制半导体设备内部的一些运动机构停止；
[0005](2)当门开关被触发时，切断整个半导体设备的供电电路，以使设备断电而紧急停止执行接下来的工艺步骤；
[0006](3)当门开关被触发时，通过上位机+下位机的软硬件实时获取门开关信号，同时，由相应的软件进行处理，处理结果通过上位机的输出单元通知操作人员，由操作人员进行后续流程，所谓处理可以是发出报警信息或打开警示灯等。
[0007]本领域技术人员清楚，在半导体设备在运行期间，为满足调试维护要求，即工作在特殊状态，有时也同样需要打开半导体设备的门体。
[0008]从上述介绍可知，设备开门开启的同时，必然会触发门开关断开动作，并同步停止半导体处理设备门内的一些主要功能。因此，怎样在调试维护期间，使半导体处理设备门内的主要功能模块可以保持正常工作状态，即半导体设备工作在特殊状态，成为目前业界急需解决的问题。
【发明内容】
[0009]本发明的目的在于提供一种半导体设备的安全门互锁系统，其根据半导体设备所需的特殊工作状态，通过增加互锁旁路模块，使设备门对与其联动的门开关信号进行屏蔽，实现安全门互锁的旁路功能，增强半导体设备的可操作性。
[0010]为实现上述目的，本发明的技术方案如下:
[0011]一种半导体设备的安全门互锁系统，包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元；门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，半导体设备的物理门开启，控制门开关单元断开；互锁旁路模块并接在所述门开关单元上；其中，在特殊工作状态下，当半导体设备的物理门开启，所述互锁旁路模块被触发导通，同时门开关单元被屏蔽；处理单元接收所述互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元。
[0012]优选地，所述处理单元由可编程控制器实现，所述互锁旁路模块包括与门开关单元相并接的按钮开关、串接在所述可编程控制器输入端的常开触点和串接在所述可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，所述旁路警示信号单元为旁路警示信号灯；其中，所述常开触点与所述按钮开关相联动。
[0013]优选地，所述处理单元由可编程控制器实现，所述互锁旁路模块包括串接在所述可编程控制器输入端的按钮开关和串接在所述可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，所述旁路警示信号单元为旁路警示信号灯。
[0014]优选地，所述处理单元将旁路互锁的信号和状态，发给上位机，由所述上位机统筹更新控制信息。
[0015]从上述技术方案可以看出，本发明半导体设备的安全门互锁系统，在正常工作状态，设备门对与其联动的门开关信号进行控制；在特殊工作状态，其根据半导体设备所需的殊工作状态，通过增加互锁旁路模块，使设备门对与其联动的门开关信号进行屏蔽，即设备门开启后，仍可以按照调试维护的模式正常连续稳定运行，实现了安全门互锁的旁路功能，从而增强了半导体设备的可操作性。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为本发明半导体设备安全门互锁系统一较佳实施例的电路示意图
[0017]图2为本发明半导体设备安全门互锁系统另一较佳实施例的电路示意图
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步的详细说明。
[0019]请参阅图1，图1为本发明半导体设备安全门互锁系统一较佳实施例的电路示意图。在本实施例中，半导体设备的安全门互锁系统可以使用半导体设备的控制系统的一部分，即也可以是上位机+下位机+执行单元的结构；上位机可以是计算机，下位机可以由可编程控制器(Programmable Logic Controller,简称PLC)实现。半导体设备的安全门互锁系统中的执行单元通常可以包括门开关单元、互锁旁路模块、处理单元和旁路警示信号单元。旁路警示信号单元可以是指示灯等。
[0020]如图所示，与现有技术相同，门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，当半导体设备的物理门开启时，门开关单元断开；也就是说，门开关单元被触发后，整个半导体设备的供电电路断开，以使设备断电而紧急停止执行接下来的工艺步骤，例如，半导体设备内部的一些运动机构停止。同时，上位机+下位机的软硬件实时获取门开关信号并进行相应处理，例如，发出报警信息或打开警示灯等。
[0021 ] 与现有技术不同的是，在本发明的实施例中，在一些特殊工作状态下，可以通过增加互锁旁路模块，使设备门对与其联动的门开关信号进行屏蔽，实现安全门互锁的旁路功倉泛。
[0022]如图1所示，互锁旁路模块并接在门开关单元上，当半导体设备的物理门打开时，互锁旁路模块被触发导通，门开关单元被屏蔽；处理单元接收互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元。
[0023]在本实施例中，处理单元由可编程控制器实现，互锁旁路模块包括与门开关单元相并接的按钮开关、串接在可编程控制器输入端的常开触点和串接在可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，旁路警示信号单元为旁路警示信号灯；其中，常开触点与按钮开关相联动。
[0024]具体地，互锁旁路模块中的按钮开关可以是一带指示灯式自锁按钮开关，将其一组常开触点与门开关单元进行并联，另一组常开触点串接入PLC模块数字量输入端，同时，开关指示灯串接在PLC模块的输出端。当自锁按钮开关的按钮被按下后，其常开触点闭合，门开关单元被屏蔽，屏蔽后的门开关单元不会产生导致改变设备任何工作情况动作，即设备可以继续正常运行在特殊需要的工作情况，例如，按照调试维护的模式正常连续稳定运行。处理单元(由PLD的软硬件实现)接收按钮开关信号控制指示灯亮，显示当前互锁旁路功能启动。
[0025]请参阅图2，图2为本发明半导体设备的安全门互锁系统另一较佳实施例的电路图。在本实施例中，处理单元同样可以由可编程控制器实现，互锁旁路模块包括串接在可编程控制器输入端的按钮开关和串接在可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，旁路警示信号单元为旁路警示信号灯。
[0026]也就是说，对于一些重要等级相对不高，在硬件上对半导体设备运行并无直接影响的这一类门开关单元，就可以仅将门开关信号给PLC，通过软硬件进行相应处理，如提示
性报警等。
[0027]具体地，互锁旁路模块中的按钮开关可以是一带指示灯式自锁按钮开关，一组常开触点串接入PLC模块数字量输入端，同时，控制开关指示灯串接在PLC模块输出端；当自锁按钮开关的按钮被按下后，其常开触点闭合，门开关单元被屏蔽(即处理模块接收到的门开关信号被按钮开关信号屏蔽)，屏蔽后的门开关单元不会产生导致改变设备任何工作情况动作，即设备可以继续正常运行在特殊需要的工作情况，例如，按照调试维护的模式正常连续稳定运行。处理单元(由PLD的软硬件实现)接收按钮开关信号控制指示灯亮，显示当前互锁旁路功能启动状态。
[0028]在上述两个实施例中，处理单元(由PLD的软硬件实现)还可以将旁路互锁的信号和状态，发给上位机，由上位机统筹更新控制信息。
[0029]综上所述，本发明实施例中结构，可以根据设备门开关的不同作用，分别采用不同方式对门开关信号进行屏蔽，使设备在特定情况下运行时，触发门开关后设备仍可连续稳定运行，实现屏蔽安全互锁系统，增强设备操作性。
[0030]以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
【权利要求】
1.一种半导体设备的安全门互锁系统，其特征在于，包括: 门开关单元，其串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，所述半导体设备的物理门开启，控制所述门开关单元断开； 互锁旁路模块，并接在所述门开关单元上；其中，在特殊工作情况下，当半导体设备的物理门打开时，所述互锁旁路模块被触发导通，同时，所述门开关单元被屏蔽； 处理单元，接收所述互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元。
2.如权利要求1所述的安全门互锁系统，其特征在于，所述处理单元由可编程控制器实现，所述互锁旁路模块包括与门开关单元相并接的按钮开关、串接在所述可编程控制器输入端的常开触点和串接在所述可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，所述旁路警示信号单元为旁路警示信号灯；其中，所述常开触点与所述按钮开关相联动。
3.如权利要求1所述的安全门互锁系统，其特征在于，所述处理单元由可编程控制器实现，所述互锁旁路模块包括串接在所述可编程控制器输入端的按钮开关和串接在所述可编程控制器输出回路中的旁路警示信号单元，所述旁路警示信号单元为旁路警示信号灯。
4.如权利要求1至3任意所述的安全门互锁系统，其特征在于，所述处理单元将旁路互锁的信号和状态，发给上位机，由所述上位机统筹更新控制信息。
【文档编号】G05B19/05GK103809503SQ201410076584
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2014年3月4日 优先权日:2014年3月4日
【发明者】刘晨曦, 张海轮, 付运涛 申请人:北京七星华创电子股份有限公司