技术总结
一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置和方法，该装置包括加热器、给加热器供电的电力供应单元、测量反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；当进行工艺前，所述模块控制器将工艺文件和系统文件中配置参数和控制参数导入温度控制器；当专用温度控制器启动时，接收工艺模块控制器发出控制指令的信号量，根据控制专用温度控制器配置参数和控制参数，以及工艺模块控制器与所述专用温度控制器间周期相同的心跳交互线程，实时执行对反应腔室供热的加热器的温度控制操作。
技术研发人员：徐冬;刘晨曦
受保护的技术使用者：北京七星华创电子股份有限公司
文档号码：201610930628
技术研发日：2016.10.31
技术公布日：2017.02.15