一种OH自由基气体生成及浓度控制系统的制作方法

文档序号:11075646阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种OH自由基气体生成及浓度控制系统,其特征是,包括

OH自由基气体生成单元,所述OH自由基气体生成单元包括混合气体发生器和与之通过气路管道连接的OH自由基气体反应腔;

浓度控制单元,所述浓度控制单元包括浓度监测单元和与之通过数据线电连接的PC处理及控制终端,浓度监测单元用于实时监测OH自由基气体反应腔中氧气浓度、臭氧浓度、温湿度以及气压,并将监测数据传送至PC处理及控制终端,PC处理及控制终端的作用是计算、显示OH自由基气体反应腔中OH自由基浓度,并通过调节控制气体反应腔中的水气浓度、氧气浓度比例以及紫外照射光源强度来实现OH自由基的浓度调节控制;

混合气体发生器通过气路管道连通浓度监测单元。

2.根据权利要求1所述的OH自由基气体生成及浓度控制系统,其特征是,所述混合气体发生器设有带控制阀门的氧气源、带控制阀门的氮气源、带控制阀门的水气源和阀门控制器,阀门控制器与出气口并接在一起的氧气源、氮气源和水气源的控制阀门连接。

3.根据权利要求1所述的OH自由基气体生成及浓度控制系统,其特征是,所述OH自由基气体反应腔包括反应腔腔体和设在反应腔腔体外部的紫外照射光源,反应腔腔体上设有紫外透射石英玻璃窗口,紫外照射光源透过紫外透射石英玻璃窗口照射OH自由基气体反应腔中的水气产生OH自由基。

4.根据权利要求1所述的OH自由基气体生成及浓度控制系统,其特征是,所述紫外照射光源为185nm紫外光源。

5.根据权利要求1所述的OH自由基气体生成及浓度控制系统,其特征是,所述浓度监测单元包括并联的

氧气浓度检测仪,氧气浓度检测仪用于实时监测OH自由基气体反应腔中氧气浓度;

臭氧浓度检测仪,臭氧浓度检测仪用于实时监测OH自由基气体反应腔中臭氧浓度;

温湿度检测仪,温湿度检测仪用于实时监测OH自由基气体反应腔中温湿度;

压力计,压力计用于实时监测OH自由基气体反应腔中气压。

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