1.一种控制工业过程的方法，所述方法包括：
(a)接收表示关于产品单元的集合所测量的一个或更多个参数的物体数据，所述产品单元已经经历所述工业过程；
(b)接收表示多个上下文参数的上下文数据，所述多个上下文参数是在所述集合中的产品单元之间变化的所述工业过程的参数；
(c)通过所述物体数据的统计分析来限定第一分割，所述第一分割在两个或更多个子集之间分配所述集合的产品单元的成员关系，每一个子集中的产品单元共享在所述物体数据中所观察到的一个或更多个特性；
(d)至少部分地基于所述产品单元的第一分割和所述上下文数据来识别所述上下文参数中的一个或更多个相关的上下文参数的集合；和
(e)至少部分地通过参考新产品单元的上下文参数中的相关的上下文参数的已识别的集合来控制用于所述新产品单元的所述工业过程。
2.如权利要求1所述的方法，其中，用于步骤(e)中已识别的相关的上下文参数的数目小于在所接收到的上下文数据中已识别的上下文参数的数目，使得经历所述工业过程的不同变化的一些产品单元被分组在一起，以用于控制在步骤(e)中的所述工业过程。
3.如权利要求1所述的方法，其中，步骤(d)包括：
(d1)使用所述产品单元的第一分割和所述上下文数据来识别最相关的上下文参数，所述最相关的上下文参数是被观察为与所述第一分割最强地相关的所述工业过程的参数；
(d2)通过如果需要时将产品单元再分配至不同子集，使用所述最相关的上下文参数来限定经修订的分割，以实施关于所述最相关的上下文参数的分割；
(d3)使用所述经修订的分割来识别下一个最相关的上下文参数以重复步骤(d1)；
(d4)将所述下一个最相关的上下文参数用于进一步修订的所述第一分割来重复步骤(d2)，
其中，执行步骤(d3)和(d4)一次或更多次以识别相关的上下文参数的期望的集合。
4.如权利要求3所述的方法，其中，在步骤(c)中，根据所述统计分析将每一个产品单元分配至具有最高概率的子集，并且在步骤(d2)中，根据所述统计分析，通过将所述产品单元放置在具有下一个最高概率的子集中来再分配所述产品单元。
5.如权利要求1所述的方法，其中，用于每一个产品单元的所接收到的物体数据限定表示多维空间中的所述产品单元的向量，并且其中，在步骤(c)中，所述统计分析包括用以将表示所述多维空间中的所述产品单元的所述向量的集合分解成一个或更多个分量向量的多变量分析，所述分量向量中的每一个表示所述共享特性中的一个。
6.如权利要求1所述的方法，其中，执行所述第一分割，以便最小化通过所述统计分析所识别的多维空间内的每一个子集的成员之间的距离。
7.如权利要求1所述的方法，其中，用于每一个产品单元的所接收到的物体数据由横过所述产品单元在空间上分布的点处针对所述产品单元所测量的一个或更多个参数导出。
8.如权利要求1所述的方法，其中，所述物体数据包括表示在所述产品单元已经经历所述工业过程之后针对所述产品单元的集合所测量的一个或更多个性能参数的性能数据。
9.如权利要求8所述的方法，其中，在步骤(e)中，之前经过处理的产品单元的子集的性能参数用来产生用于新产品单元的反馈校正，所述之前经过处理的产品单元的子集通过参考所述已识别的相关的上下文参数限定。
10.如权利要求8所述的方法，其中，所述性能参数包括重叠、临界尺寸、侧壁角、晶片品质、聚焦中的一个或更多个。
11.如权利要求8所述的方法，其中，所接收到的物体数据包括使用所测量的性能参数所计算的过程模型的参数。
12.如权利要求1所述的方法，其中，在步骤(e)中，产生前馈校正并且将所述前馈校正应用在所述新产品单元的处理中，以通过参考所述新产品单元的上下文参数中的已识别的相关的上下文参数来修改前馈控制。
13.如权利要求1所述的方法，其中，在步骤(e)中，所述新产品单元的物体数据用来产生用于新产品单元的前馈校正，产生所述前馈校正的方式通过参考所述新产品单元的上下文参数中的已识别的相关上下文参数限定。
14.一种用于工业过程的控制系统，所述控制系统包括：
用于物体数据的存储器，所述物体数据表示关于已经经历所述工业过程的产品单元的集合所测量的一个或更多个参数；
用于上下文数据的存储器，所述上下文数据表示多个上下文参数，所述多个上下文参数是在所述集合中的产品单元之间变化的所述工业过程的参数；
第一处理器，布置成通过所述物体数据的统计分析来限定在两个或更多个子集之间分配所述集合的产品单元的成员关系的第一分割，每一个子集中的产品单元共享在所述物体数据中所观察到的一个或更多个特性；
第二处理器，布置成使用所述产品单元的第一分割和所述上下文数据来识别所述上下文参数中的一个或更多个相关的上下文参数的集合；和
控制器，用于至少部分地通过参考新产品单元的上下文参数中的相关的上下文参数的已识别的集合来控制用于所述新产品单元的所述工业过程。
15.一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括机器可读指令，所述机器可读指令用于使通用目的数据处理设备执行如权利要求1所述的方法中的步骤(a)至(d)。