1.一种高精度的压力控制装置,其包括:气瓶,其包括有高纯度的工作气体;至少一个腔体,所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接,其特征在于:所述至少一个腔体的出气管连接到压力计,所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。
2.如权利要求1所述的高精度的压力控制装置,其特征在于:所述工作气体为氦气。
3.如权利要求1所述的高精度的压力控制装置,其特征在于:所述至少一个腔体包括第一腔体和第二腔体。
4.如权利要求1所述的高精度的压力控制装置,其特征在于:所述高精度的压力控制装置还包括冷阱。
5.如权利要求1所述的高精度的压力控制装置,其特征在于:所述高精度的压力控制装置包括至少一个阀门。
6.如权利要求3所述的高精度的压力控制装置,其特征在于:所述第一腔体和第二腔体之间连通。