技术总结
本实用新型公开了一种高精度的压力控制装置，其包括：气瓶，其包括有高纯度的工作气体；至少一个腔体，所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接，所述至少一个腔体的出气管连接到压力计，所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。本实用新型结构简单、控压精度高，其解决了绝对压力测量过程中活塞压力计内部泄气导致测压周期短、连续波动大和测压管路存在“死空间”等问题。
技术研发人员：高波;罗二仓;张海洋;林鹏;陈燕燕
受保护的技术使用者：中国科学院理化技术研究所
文档号码：201720100071
技术研发日：2017.01.23
技术公布日：2017.08.29