用于设计具有用于多阵列交叉方向(CD)幅材制造或处理系统或其他系统的时间上稳健的稳定性和性能的基于模型的控制的方法和装置与流程

文档序号:19582921发布日期:2019-12-31 20:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种方法,所述方法包括:

在具有多个致动器阵列(114,116,118,120)的工业过程(100,302)中获得(902)与基于模型的控制器(104,306)相关联的模型(304);并且

执行(914)所述控制器的时间调谐,其中所述时间调谐包括调节用于平滑化所述致动器阵列的致动器轮廓的基准轨迹的多变量滤波器(308)的一个或多个参数。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

执行(906)所述控制器的空间调谐。

3.根据权利要求1所述的方法,其中所述模型以二维频域表示。

4.根据权利要求1所述的方法,其中调节所述多变量滤波器的所述一个或多个参数包括:

调节所述多变量滤波器的所述一个或多个参数以实现用户指定的时间性能。

5.根据权利要求4所述的方法,其中在预先指定的参数不确定性下调节所述多变量滤波器的所述一个或多个参数。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述时间调谐还包括:

获得(904)用于所述模型的一个或多个时间参数的一个或多个不确定性规格;

获得(916)所述致动器轮廓的一个或多个过冲极限;

识别(918)轮廓轨迹调谐参数的最小界限;并且

识别(920)使一个或多个测量沉降时间最小化而不超过所述一个或多个过冲极限的所述轮廓轨迹调谐参数中的一个或多个。

7.根据权利要求6所述的方法,其中识别所述一个或多个轮廓轨迹调谐参数包括:

执行频域调谐以识别满足所述最小界限的时间滤波器参数;并且

执行时域调谐以微调所述时间滤波器参数并识别为每个输出轮廓提供最小沉降时间同时仍满足所述一个或多个过冲极限的最佳多变量时间滤波器参数。

8.根据权利要求1所述的方法,其中所述时间调谐还包括:

将所述一个或多个参数提供(922)给所述基于模型的控制器,所述基于模型的控制器被配置为在所述工业过程的控制期间使用所述一个或多个参数,使得所述一个或多个参数的所述调节改变所述基于模型的控制器和所述工业过程的操作。

9.一种装置,所述装置包括:

至少一个存储器(204,210,212),所述至少一个存储器被配置为将与基于模型的控制器(104,306)相关联的模型(304)存储在具有多个致动器阵列(114,116,118,120)的工业过程(100,302)中;并且

至少一个处理设备(202),所述至少一个处理设备被配置为执行所述控制器的时间调谐;

其中,为了执行所述时间调谐,所述至少一个处理设备被配置为调节用于平滑化所述致动器阵列的致动器轮廓的基准轨迹的多变量滤波器(308)的一个或多个参数。

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述至少一个处理设备被进一步配置为执行所述控制器的空间调谐。

11.根据权利要求9所述的装置,其中为了调节所述多变量滤波器的所述一个或多个参数,所述至少一个处理设备被配置为调节所述多变量滤波器的所述一个或多个参数以实现用户指定的时间性能。

12.根据权利要求9所述的装置,其中,为了执行时间调谐,所述至少一个处理设备被进一步配置为:

获得所述模型的一个或多个时间参数的一个或多个不确定性规格;

获得所述致动器轮廓的一个或多个过冲极限;

识别轮廓轨迹调谐参数的最小界限;并且

识别使一个或多个测量沉降时间最小化而不超过所述一个或多个过冲极限的所述轮廓轨迹调谐参数中的一个或多个。

13.根据权利要求12所述的装置,其中为了识别所述一个或多个轮廓轨迹调谐参数,所述至少一个处理设备被配置为:

执行频域调谐以识别满足所述最小界限的时间滤波器参数;并且

执行时域调谐以微调所述时间滤波器参数并识别为每个输出轮廓提供最小沉降时间同时仍满足所述一个或多个过冲极限的最佳多变量时间滤波器参数。

14.根据权利要求9所述的装置,其中所述至少一个处理设备被进一步配置为向所述基于模型的控制器提供所述一个或多个参数,所述基于模型的控制器被配置为在所述工业过程的控制期间使用所述一个或多个参数,使得所述一个或多个参数的调节改变所述基于模型的控制器和所述工业过程的操作。

15.一种包含指令的非暂态计算机可读介质,所述指令在被执行时使得至少一个处理设备执行权利要求1至8中任一项所述的方法。

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