用于设计具有用于多阵列交叉方向(CD)幅材制造或处理系统或其他系统的时间上稳健的稳定性和性能的基于模型的控制的方法和装置与流程

文档序号:19582921发布日期:2019-12-31 20:12阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种方法,所述方法包括在具有多个致动器阵列(114,116,118,120)的工业过程(100,302)中获得(902)与基于模型的控制器(104,306)相关联的模型(304)并执行(914)所述控制器的时间调谐。所述时间调谐包括调节用于平滑化所述致动器阵列的致动器轮廓的基准轨迹的多变量滤波器(308)的一个或多个参数。所述时间调谐还能够包括获得(904)用于所述模型的一个或多个时间参数的一个或多个不确定性规格,获得(916)所述致动器轮廓的一个或多个过冲极限,识别(918)轮廓轨迹调谐参数的最小界限,以及识别(920)使一个或多个测量沉降时间最小化而不超过所述一个或多个过冲极限的所述轮廓轨迹调谐参数中的一个或多个。所述控制器能够被配置为在所述工业过程的控制期间使用所述一个或多个经过调节的参数,使得所述一个或多个参数的所述调节改变所述控制器和所述工业过程的操作。

技术研发人员:贺宁;迈克尔·福布斯;约翰·U·巴克斯卓;陈同文
受保护的技术使用者:霍尼韦尔有限公司
技术研发日:2018.03.02
技术公布日:2019.12.31

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