据,并保持其余工艺参数的配置文件数据;
[0028]若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值,则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。
[0029]进一步的,所述的SPC自动策略系统还包括检验生效模块,用于在自动策略模块对原有的SPC策略进行不同程度的修正之后,检验所述修正是否正确,如果正确,修正后的SPC策略生效,如果错误,提示错误信息。
[0030]与现有技术相比,本发明提供的SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统,根据数据采集规格信息的修改类型,自动进行SPC策略添加、删除和修改,以快速完成SPC策略的更新,不仅可以大大减少工程师手动更新SPC策略时的计算、查询、输入等工作量和工作时间,而且还可以减少手动更新时产生的误操作,杜绝人工更新的错误率。后续检验SPC策略修正的正确性的过程可以进一步降低更新策略的错误率,提高策略的可靠性和稳定性,同时提示的错误信息可以给MES系统的数据修改提供一种反馈。
【附图说明】
[0031]图1是现有技术中的一种人工更新SPC策略的方法流程图;
[0032]图2是本发明具体实施例的SPC自动策略系统的结构示意图;
[0033]图3是本发明具体实施例的SPC策略自动更新方法流程图;
[0034]图4是本发明具体实施例的DCspec添加新项目时的SPC策略自动更新方法流程图。
【具体实施方式】
[0035]为使本发明的目的、特征更明显易懂,下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明,然而,本发明可以用不同的形式实现,不应只是局限在所述的实施例。
[0036]请参考图2,图2是本发明的SPC自动策略系统一较佳实施例的架构示意图。需要说明的是,本发明的SPC自动策略系统能够应用于MES/SFC组合系统架构中,SPC自动策略系统中的每个模块,可以采用软件的形式实现,也可以采用硬件的形式实现,也可以用软硬件相结合的形式出现。甚至其中一些功能模块,可以采用MES/SFC系统的现有功能模块。
[0037]请参考图2,本实施例提供的SPC自动策略系统,包括:
[0038]数据抓取模块20,用于从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息;
[0039]自动策略模块21,用于为数据抓取模块抓取的数据采集规格信息建立SPC策略,并根据数据抓取模块新抓取的数据采集规格信息的修改类型对原有的SPC策略进行不同程度的修正:
[0040]若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数,则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变,并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据;
[0041]若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数,则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据,并保持其余工艺参数的配置文件数据;
[0042]若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值,则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值;
[0043]检验生效模块22,用于在自动策略模块21对原有的SPC策略进行不同程度的修正之后,检验所述修正是否正确,如果正确,修正后的SPC策略生效,如果错误,提示错误信息。
[0044]请参考图2,数据抓取模块20将MES系统采集的DCspec信息(数据采集规格信息)批量同步进入SPC系统的数据库,并将同步数据进行格式转换处理,以满足SPC系统数据库的数据采集格式要求,并存入SPC系统数据库。由此可以在SPC系统数据库中进行信息比对,确定DCspec信息的数据修改类型:修改数值或删减、添加item(项目,即工艺参数),进而可以使得自动策略模块21按照新抓取的DCspec信息的数据修改类型对原有的SPC策略进行相应的修正。在本发明的其他实施例中,数据抓取模块20在抓取MES系统的DCspec信息时,仅抓取MES系统中有变化的DCspec信息,以减少SPC系统内部的计算量。数据抓取模块20涉及到数据抓取频率,一般数据抓取频率与MES系统及其控制的工艺设备的稳定性有密切关系,通常若MES系统的稳定性愈高,则数据抓取频率可以相对降低。其中,所述数据采集规格信息中DCspec信息主要包括工艺参数的目标值、下限数值和上限数值。
[0045]请继续参考图2,自动策略模块21为数据抓取模块20抓取的所有DCspec信息按照相应的设定规则,创建采集数据规则,生成与每一个采集数据规则对应的配置文件,可以包括:数据采集相关数据的设定文件、数据分析及规则相关设定文件、控制上下限和报警设置相关设定文件、模组信息文件、数据采集规则基本信息等。自动策略模块21具有现有技术中的基本的功能:控制图表chart设置、采样方案设置、判异规则设置。由此创建了原有的SPC策略。当MES系统中的采集的DCspec信息有变化时,自动策略模块21需要适应性地更新策略,具体地如下:
[0046]若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数,则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变,并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据,包括控制上限值、控制下限值和中间限值,还可以包括报警编号,其中更新公式包括:SPC控制上限=目标值+(上限数值-目标值)*第一百分比,SPC控制下限=目标值-(目标值-下限数值)*第二百分比,控制中间限=目标值;优选地,第一百分比与第二百分比相等,均为75%,当然在其他实施例中第一百分比与第二百分比可以不相等,也可以是50%以上的任何数值;
[0047]若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数,则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据,并保持其余工艺参数的配置文件数据;
[0048]若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值,则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。
[0049]进一步的,所述预设更新公式用于根据任意新添加的工艺参数的目标值、下限数值和上限数值,计算任意新添加的工艺参数的控制上限值和控制下限值。
[0050]检验模块22用于检测数据抓取模块抓取的工艺参数数据以及根据该工艺参数数据进行的SPC策略修正是否正确,若正确,则新的SPC策略生效,若错误,则新的SPC策略无效,并发送报错信息给操作人员。例如根据新的工艺参数数据计算得到的新的控制上限和控制下限是否正确,若正确,则新的SPC策略创建成功,若错误,则提示无法创建新的SPC策略的原因。
[0051]SPC自动策略系统在更新SPC策略(strategy)过程中,不限制SPC策略更新数量,不同的strategy可以同时创建,时间上节省了 70%以上,并且保证数据的正确性。同时也减少的操作工程师的工作量和工作时间。
[0052]下面请参阅图3,对上述本发明的SPC自动策略系统的SPC策略自动更新流程进行详细叙述。
[0053]请参考图3,本实施例提供的SPC策略自动更新方法中的SPC策略用于控制半导体一项产品制造工艺的各个工艺参数,其包括SPC rule (SPC规则)和SPC controllimit (SPC控制限),用于收集、计算、分析和改进数据,在确定工艺过程合理范围的基础之上,确定工艺参数的控制范围和参数正常、异常规律,并预设改进措施,以在工艺过程参数超出控制上限、控制下限时,予以实施改进的措施。因此,本实施例从MES(生产制造执行系统)抓取DCSpec (数据采集规格)信息中的各个item(项目)指的是SPC系统监控的各个工艺参数,其数据修改类型主要是新增item(项目)、删除item(项目)以及对item(项目)的设定值进行修改,设定值包括目标值、下限数值和上限数值。本实施例的SPC策略自动更新方法本SPC策略建立方法包括以下步骤:
[0054]SI,从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息;
[0055]S2,根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正: