>[0056]S21，若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数，则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变，并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据；
[0057]S22，若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数，则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据，并保持其余工艺参数的配置文件数据；
[0058]S23，若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值，则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。
[0059]S3，在根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正之后，检验SPC策略修正是否正确，如果正确修正后的SPC策略生效，如果错误，提示错误信息。
[0060]步骤SI中，从MES系统中抓取最新DCSpec数据并将该数据存储到SPC数据库中，该数据包括至少一个工艺参数的目标值、下限数值和上限数值等参考数据。
[0061 ] 步骤S2中，根据最新的DCspec数据更新SPC策略配置数据时，需要根据最新的DCspec数据的修改类型来进行不同的SPC策略配置数据更新，具体如下:
[0062]首先，将最新的DCspec数据与SPC数据库原本存储的数据进行对比，确定DCspec数据的修改类型；
[0063]若新增item(项目)，请参考图4，在步骤S21中，更新SPC策略配置数据的方式为保持其他item的SPC配置数据不变，自动添加新项目配置数据文件，包括自动对新增item进行归类，并照其所在归类设置数据图表类型(chart type)以及量测(采样)的点数SITECount ;自动计算控制上下限并绘制控制图以及在原有报警编号规则和编号数量的基础上添加报警编号，其中更新公式为:SPC控制上限=目标值+(上限数值-目标值)*第一百分比，SPC控制下限=目标值-(目标值-下限数值)*第二百分比，中间限=目标值；进一步的，第一百分比与第二百分比相等，均为75% ;
[0064]若删除item，则在步骤S22中，更新SPC策略配置数据的方式为保持其他item的SPC配置数据不变，自动删除该项目所有的配置数据文件；
[0065]若只修改某项目item的数值，则在步骤S23中，在SPC策略中修改该工项目配置数据中的中间限值，该项目的控制上、下限以及其余项目的配置数据均不变。
[0066]步骤S3，在自动策略模块对原有的SPC策略进行不同程度的修正之后，检验所述修正是否正确，如果正确，修正后的SPC策略生效，如果错误，提示错误信息。若人工再次校验错误情况后，确定该错误来源于MES系统，则给MES系统的数据修改提供一种反馈。
[0067]经试验验证，应用本实施例的SPC策略自动更新方法更新SPC策略(strategy)过程中，能够不限制SPC策略更新数量，多个新的不同的strategy可以同时创建，时间上节省了 70%以上，并且能够保证数据的正确性，同时也减少的操作工程师的工作量和工作时间。
[0068]综上所述，本发明提供的SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统，根据数据采集规格信息的修改类型，自动进行SPC策略添加、删除和修改，以快速完成SPC策略的更新，不仅可以大大减少工程师手动更新SPC策略时的计算、查询、输入等工作量和工作时间，而且还可以减少手动更新时产生的误操作，杜绝人工更新的错误率。后续检验SPC策略修正的正确性的过程可以进一步降低更新策略的错误率，提高策略的可靠性和稳定性，同时提示的错误信息可以给MES系统的数据修改提供一种反馈。
[0069]显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种SPC策略自动更新方法，其特征在于，包括: 从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息； 根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正: 若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数，则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变，并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据； 若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数，则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据，并保持其余工艺参数的配置文件数据； 若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值，则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。2.如权利要求1所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，在根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正之后，检验SPC策略修正是否正确，如果正确修正后的SPC策略生效，如果错误，提示错误信息。3.如权利要求1所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，所述数据采集规格信息中，一个工艺参数的数值包括目标值、下限数值和上限数值。4.如权利要求3所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，所述SPC策略中一个工艺参数的配置数据包括:控制上限值、控制下限值和中间限值。5.如权利要求4所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，所述SPC策略中一个工艺参数的配置数据还包括报警编号。6.如权利要求4所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，所述预设更新公式用于根据任意新添加的工艺参数的目标值、下限数值和上限数值，计算任意新添加的工艺参数的控制上限值和控制下限值。7.如权利要求6所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据包括:SPC控制上限=目标值+(上限数值-目标值)*第一百分比，SPC控制下限=目标值-(目标值-下限数值)*第二百分比。8.如权利要求7所述的SPC策略自动更新方法，其特征在于，第一百分比与第二百分比相等，均为75%。9.一种应用权利要求1至8中任一项所述的SPC策略自动更新方法的SPC自动策略系统，其特征在于，包括: 数据抓取模块，用于从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息； 自动策略模块，用于为数据抓取模块抓取的数据采集规格信息建立SPC策略，并根据数据抓取模块新抓取的数据采集规格信息的修改类型对原有的SPC策略进行不同程度的修正: 若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数，则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变，并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据； 若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数，则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据，并保持其余工艺参数的配置文件数据； 若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值，则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。10.如权利要求9所述的SPC自动策略系统，其特征在于，还包括检验生效模块，用于在自动策略模块对原有的SPC策略进行不同程度的修正之后，检验所述修正是否正确，如果正确，修正后的SPC策略生效，如果错误，提示错误信息。
【专利摘要】本发明提供一种SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统，能够直接从MES系统中抓取数据采集规格信息，并在原有SPC策略的基础上，根据数据采集规格信息的修改类型，自动进行SPC策略添加、删除和修改，以快速完成SPC策略的更新，不仅可以大大减少工程师手动更新SPC策略时的计算、查询、输入等工作量和工作时间，而且还可以减少手动更新时产生的误操作，杜绝人工更新的错误率。后续检验SPC策略修正的正确性的过程可以进一步降低更新策略的错误率，提高策略的可靠性和稳定性。
【IPC分类】G05B19/418, H01L21/67
【公开号】CN105159239
【申请号】CN201510435372
【发明人】余燕萍, 邵雄
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年7月22日