生产系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种生产系统，该生产系统通过多个处理装置对处理对象物实施规定的处理来生产多种产品。
【背景技术】
[0002]以往，公知了对处理对象物实施规定的处理来生产半导体等产品的生产系统(例如，参照专利文献1)。专利文献1中所记载的生产系统具有存放处理对象物的托架和对处理对象物进行处理的多个制造装置。托架具有存储有与所生产的产品相应的信息的标识码托架。各制造装置具有标识码读写装置，所述标识码读写装置对存储在标识码托架中的信息进行读取和更新，并且，在各制造装置中存储有工序工艺(recipe)对应表和登记工艺组。工序工艺对应表为登记有工序流程标识码号、工序号、工艺以及下一工序号的表格。
[0003]在专利文献1所记载的生产系统中，当托架被搬进制造装置时，标识码读写装置读取存储在标识码托架中的工序流程标识码号以及工序号。并且，在该生产系统中，利用工序工艺对应表，检索与标识码读写装置所读取的工序流程标识码号以及工序号对应的工艺，并对处理对象物实施与登记在工序工艺对应表中的工艺相应的处理。
[0004]专利文献1:日本特开平11-53439号公报
[0005]在专利文献1所记载的生产系统中，由于存储有多个制造装置各自的工序工艺对应表，因此在利用该生产系统生产新种类的产品时或处理对象物的处理条件变更时(也就是说，在追加新的生产工序流程时或生产工序流程变更时)，必须对所有的制造装置变更工序工艺对应表。因此，在该生产系统中，在生产新种类的产品时和处理对象物的处理条件变更时的变更操作变得复杂。
【发明内容】
[0006]因此，本发明的课题在于提供一种对处理对象物实施规定的处理从而生产多种产品的生产系统，其能够在生产新种类的产品时或处理对象物的处理条件变更时容易地实施变更操作。
[0007]为了解决上述课题，本发明的生产系统对处理对象物实施规定的处理，从而生产多种产品，其特征在于，所述生产系统包括:主机，所述主机存储有与用于生产多种产品中的每一种产品的处理对象物的多个处理条件分别对应的多个主工艺号；多个处理装置，多个所述处理装置对处理对象物实施处理；中继机，所述中继机通过网络与主机连接，并通过网络与多个处理装置连接；以及托架，所述托架存放处理对象物，在托架中存储有用于识别托架的托架标识码，主工艺号与托架标识码对应，每一个处理装置对处理对象物的处理条件、即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应并被存储于多个处理装置中的每一个当中，在中继机中存储有对应表，所述对应表规定分别与多个主工艺号对应的多个处理装置各自的装置工艺号，如果将对处理对象物实施首次处理的处理装置设为第一处理装置，则第一处理装置在托架被搬进所述第一处理装置时读取托架标识码，并通过中继机将已读取的托架标识码发送到主机，已收到托架标识码的主机通过中继机将与已收到的托架标识码对应的主工艺号发送到第一处理装置，已收到主工艺号的第一处理装置将所收到的主工艺号再次发送到中继机，已收到主工艺号的中继机将与已收到的主工艺号对应的第一处理装置用的装置工艺号发送到第一处理装置，第一处理装置利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，在对处理对象物的处理结束时，将处理对象物以及主工艺号移交到对处理对象物实施第二次处理的处理装置中，如果将η设为2以上的整数，并将对处理对象物实施第η次处理的处理装置设为第η处理装置，则第η处理装置从第η-l处理装置中获取处理对象物以及主工艺号，并将已获取的主工艺号发送到中继机，已收到来自第η处理装置的主工艺号的中继机将与已收到的主工艺号对应的第η处理装置用的装置工艺号发送到第η处理装置，第η处理装置利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，并在对处理对象物的处理结束时，将处理对象物以及主工艺号移交到第η+1处理装置。
[0008]在本发明的生产系统中，多个主工艺号存储于主机，每一个处理装置对处理对象物的处理条件、即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应并被存储于多个处理装置中的每一个当中，在中继机中存储有对应表，所述对应表规定分别与多个主工艺号对应的多个处理装置各自的装置工艺号。并且，在本发明中，第一处理装置将从主机收到的主工艺号发送到中继机，并从中继机接收与该主工艺号对应的第一处理装置用的装置工艺号，利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，并且第η处理装置将从第η-l处理装置获取的主工艺号发送到中继机，并从中继机接收与该主工艺号对应的第η处理装置用的装置工艺号，利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理。也就是说，在本发明中，处理装置将主工艺号发送到中继机，从中继机接收与该主工艺号对应的装置工艺号，并利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理。
[0009]因此，在本发明中，只要在生产新种类的产品时，将新的主工艺号追加并存储于主机，并变更存储于中继机的对应表即可。并且，根据需要，只要改变存储于几个处理装置中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置中即可。并且，在处理对象物的处理条件变更时，只要变更存储于中继机的对应表，并根据需要，变更存储于几个处理装置中的装置工艺或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置中即可。因此，在本发明中，与专利文献1所记载的生产系统相比，能够在生产新种类的产品时或处理对象物的处理条件变更时，容易地实施变更操作。
[0010]并且，在本发明中，由于将每一个处理装置的主工艺号发送到中继机，并从中继机接收与该主工艺号对应的装置工艺号，因此只要在处理装置之间交接主工艺号，就能够由每一个处理装置通过适当的装置工艺对处理对象物实施处理。因此，在本发明中，能够简化在处理装置之间的数据交接处理。并且，在本发明中，能够减小对各处理装置的存储设备要求的存储容量。
[0011]并且，在本发明中，由于将每一个处理装置的主工艺号发送到中继机，并从中继机接收与该主工艺号对应的装置工艺号，因此例如在试作产品时，能够在产品的生产工序的中途停止生产系统，并能够容易地变更处理对象物的处理条件。
[0012]在本发明中，优选中继机具有个人计算机和可编程逻辑控制器，对应表存储于可编程逻辑控制器，处理装置将主工艺号发送到可编程逻辑控制器，已收到主工艺号的可编程逻辑控制器将与已收到的主工艺号对应的装置工艺号发送到处理装置。如果像这样构成，则由于对应表被存储于可靠性、稳定性极高的(即，不易产生故障的)可编程逻辑控制器，在可编程逻辑控制器与处理装置之间实施主工艺号和装置工艺号的通讯，因此即使主机和个人计算机在第一处理装置开始对处理对象物实施首次处理后发生故障，也能够对已开始处理的处理对象物实施所有的处理，从而完成产品。
[0013]为了解决上述课题，本发明的生产系统对处理对象物实施规定的处理，从而生产多种产品，其特征在于，所述生产系统包括:主机，所述主机存储有与用于生产多种产品中的每一种产品的处理对象物的多个处理条件分别对应的多个主工艺号；多个处理装置，多个所述处理装置对处理对象物实施处理；中继机，所述中继机通过网络与主机连接，并通过网络与多个处理装置连接；以及托架，所述托架存放处理对象物，在托架中存储有用于识别托架的托架标识码，主工艺号与托架标识码对应，每一个处理装置对处理对象物的处理条件、即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应并被存储于多个处理装置中的每一个当中，在中继机中存储有对应表，所述对应表规定分别与多个主工艺号对应的多个处理装置各自的装置工艺号，如果将对处理对象物实施首次处理的处理装置设为第一处理装置，则第一处理装置在托架被搬进第一处理装置时读取托架标识码，并通过中继机将已读取的托架标识码发送到主机，已收到托架标识码的主机通过中继机将与已收到的托架标识码对应的主工艺号发送到第一处理装置，已收到主工艺号的第一处理装置将已收到的主工艺号再次发送到中继机，已收到主工艺号的中继机将与已收到的主工艺号对应的所有处理装置用的装置工艺号发送到第一处理装置，第一处理装置利用与已收到的装置工艺号中的第一处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，在对处理对象物的处理结束时，将处理对象物以及装置工艺号移交到对处理对象物实施第二次处理的处理装置，如果将η设为2以上的整数，并将对处理对象物实施第η次处理的处理装置设为第η处理装置，则第η处理装置从第η-l处理装置中获取处理对象物以及装置工艺号，并利用与已获取的装置工艺号中的第η处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，在对处理对象物的处理结束时，将处理对象物以及装置工艺号移交到第η+1处理装置。
[0014]在本发明的生产系统中，在主机中存储有多个主工艺号，每一个处理装置对处理对象物的处理条件、即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应并被存储于多个处理装置中的每一个当中，在中继机中存储有对应表，所述对