应表规定分别与多个主工艺号对应的多个处理装置各自的装置工艺号。并且，在本发明中，第一处理装置将从主机收到的主工艺号发送到中继机，并从中继机接收与该主工艺号对应的所有处理装置用的装置工艺号，利用与已收到的装置工艺号中的第一处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理，并且第η处理装置从第η-l处理装置中获取处理对象物以及装置工艺号，利用与获取的装置工艺号中的第η处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物实施处理。
[0015]因此，在本发明中，在生产新种类的产品时，只要将新的工艺号追加并储存于主机，并变更存储于中继机的对应表即可。并且，根据需要，只要变更储存于几个处理装置中的装置工艺或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置中即可。并且，在处理对象物的处理条件变更时，只要变更存储于中继机中的对应表，并根据需要变更存储于几个处理装置中的装置工艺或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置中即可。因此，在本发明中，与专利文献1所记载的生产系统相比，能够在生产新种类的产品时和处理对象物的处理条件变更时容易地实施变更操作。
[0016]发明效果
[0017]如上所述，在本发明的生产系统中，能够在生产新种类的产品时和处理对象物的处理条件变更时容易地实施变更操作。
【附图说明】
[0018]图1为用于说明本发明的实施方式所涉及的生产系统的概略结构的框图。
[0019]图2为用于说明存储于图1所示的可编程逻辑控制器的对应表的图。
[0020]图3为示出利用图1所示的生产系统对处理对象物进行处理时的控制流程的一个例子的流程图。
[0021](符号说明)
[0022]1生产系统
[0023]2基板(处理对象物)
[0024]3 托架
[0025]4处理装置(第一处理装置)
[0026]5至7处理装置
[0027]8 主机
[0028]9中继机
[0029]11 PC (个人计算机)
[0030]12 PLC (可编程逻辑控制器)
[0031]T对应表
【具体实施方式】
[0032]以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。
[0033](生产系统的结构)
[0034]图1为用于说明本发明的实施方式所涉及的生产系统1的概略结构的框图。图2为用于说明存储于图1所示的可编程逻辑控制器12的对应表T的图。
[0035]本实施方式的生产系统1为对处理对象物实施规定的处理，从而生产多种产品的系统。具体地说，本实施方式的生产系统1为用于对作为处理对象物的基板2实施规定的处理，从而生产作为产品的多种半导体的系统。该生产系统1具有:托架3，所述托架3存放多个基板2 ;多个处理装置4至7，多个所述处理装置4至7对基板2实施规定的处理；主机8 ;以及中继机9，所述中继机9通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。本实施方式的生产系统1具有四个处理装置4至7。
[0036]在托架3存储有用于识别托架3的托架标识码(ID)。托架标识码例如与通过对存放于托架3的基板2实施规定的处理而生产的产品种类对应，针对每一种产品设定一个。
[0037]在处理装置4至7中的每一个当中存储有处理装置4至7中的每一个处理装置对基板2的处理条件，即多个装置工艺(recipe)。并且，用于识别所存储的多个装置工艺的装置工艺号与装置工艺对应，并被存储于处理装置4至7中的每一个当中。例如，在处理装置4中，可通过四种处理条件对基板2实施处理，四个装置工艺分别与四个装置工艺号A1至A4(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置4。也就是说，在处理装置4中存储有与装置工艺号A1对应的装置工艺、与装置工艺号A2对应的装置工艺、与装置工艺号A3对应的装置工艺以及与装置工艺号A4对应的装置工艺这四个装置工艺。
[0038]并且，例如在处理装置5中，可通过三种处理条件对基板2实施处理，三个装置工艺分别与三个装置工艺号B1至B3(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置5中。而且，例如，在处理装置6中，可通过两种处理条件对基板2实施处理，两个装置工艺分别与两个装置工艺号C1、C2(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置6中。并且，例如，在处理装置7中，可通过五种处理条件对基板2实施处理，五种装置工艺分别与五个装置工艺号D1至D5(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置7中。
[0039]在本实施方式中，处理装置4对存放于托架3的基板2实施首次处理，处理装置5对由处理装置4处理后的基板2实施处理，处理装置6对由处理装置5处理后的基板2实施处理，处理装置7对由处理装置6处理后的基板2实施最后处理。本实施方式的处理装置4为对基板2实施首次处理的第一处理装置，处理装置5为对基板2实施第二次处理的第二处理装置，处理装置6为对基板2实施第三次处理的的第三处理装置，处理装置7为对基板2实施第四次处理的第四处理装置。
[0040]在主机8中存储有多个主工艺号，多个所述主工艺号分别与用于生产多种产品的基板2的多个处理条件中的各个对应。例如，在本实施方式的生产系统1中，可生产六种产品，与基板2的六种处理条件分别对应的六个主工艺号001至006 (参照图2)被存储于主机8。也就是说，在本实施方式的生产系统1中，可利用六种处理条件对基板2进行处理，从而生产六种产品，所述六种处理条件即为与主工艺号001对应的处理条件、与主工艺号002对应的处理条件、与主工艺号003对应的处理条件、与主工艺号004对应的处理条件、与主工艺号005对应的处理条件以及与主工艺号006对应的处理条件。并且，主工艺号001至006分别与存储于托架3中的托架标识码一一对应。
[0041]中继机9包括个人计算机(PC) 11和可编程逻辑控制器(PLC) 12。PC11通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。PLC12通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。并且，PC11与PLC12之间通过网络连接。另外，PLC12也可不与主机8连接。
[0042]在PLC12中存储有对应表T，所述对应表T规定与六个主工艺号001至006分别对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。在对应表T中，例如，规定了装置工艺号A1、B1、C1、D1作为与主工艺号001对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了装置工艺号A2、B2、C2、D2作为与主工艺号002对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。并且，在对应表T中，例如，规定了 A3、B3、C1、D3作为与主工艺号003对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了装置工艺号A4、Bl、C2、D4作为与主工艺号004对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了 A1、B2、C1、D5作为与主工艺号005对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了 A2、B3、C2、D1作为与主工艺号006对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。
[0043]因此，在利用与主工艺号001对应的处理条件处理基板2时，在处理装置4中，利用与装置工艺号A1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置5中，利用与装置工艺号B1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置6中，利用与装置工艺号C1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置7中，利用与装置工艺号D1对应的装置工艺，对基板2实施处理。并且，例如在利用与主工艺号004对应的处理条件处理基板2时，在处理装置4中，利用与装置工艺号A4对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置5中，利用与装置工艺号B1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置6中，利用与装置工艺号C2对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置7，利用与装置工艺号D4对应的装置工艺，对基板2实施处理。
[0044](生产系统的控制方法)
[0045]图3为示出了利用图1所示的生产系统1对基板2进行处理时的控制流程的一个例子的流程图。
[0046]如上所述，在生产系统1中，处理装置4对存放于托架3的基板2实施首次处理。当由省略图示的搬运机构搬运的托架3被搬进第一处理装置，即处理装置4时(步骤S1)，处理装置4读取存储于托架3的托架标识码，并将已读取的托架标识码发送到中继机9 (步骤S2)。具体地说，在步骤S2中，处理装置4将已读取的托架标识码发送到PC11。并且，在步骤S2中，处理装置4从托架3获取基板2。已收到托架标识码的PC11将已收到的托架标识码发送到主机8 (步骤S3)。也就是说，处理装置4在托架3被搬进处理装置4时读取托架标识码，并将已读取的托架标识码通过PC11发送到主机8。
[0047]已收到托架标识码的主机8选择与已收到的托架标识码对应的主工艺号，并将已选择的主工艺号发送到PC11 (步骤S4)。并且，在步骤S4中，主机8选择与已收到