的托架标识码对应的基板标识码和批次标识码等基板信息，并将已选择的基板信息发送到PC11。已收到主工艺号以及基板信息的PC11将已收到的主工艺号以及基板信息发送到处理装置4 (步骤S5)。也就是说，已收到托架标识码的主机8通过PCI 1将与已收到的托架标识码对应的主工艺号以及基板信息发送到处理装置4。例如，主机8通过PC11将主工艺号001发送到处理装置4。另外，在步骤S5中，也可以是已收到主工艺号以及基板信息的PC11将该主工艺号以及基板信息发送到PLC12，并且由已收到主工艺号以及基板信息的PLC12将该主工艺号以及基板信息发送到处理装置4。
[0048]已收到主工艺号的处理装置4将已收到的主工艺号发送到PLC12(步骤S6)。已收到主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号(步骤S7)，并将已获取的处理装置4用的装置工艺号发送到处理装置4 (步骤S8)。例如，在PLC12收到主工艺号001的情况下，在步骤S7、S8中，PLC12获取与已收到的主工艺号001对应的处理装置4用的装置工艺号A1，并将其发送到处理装置4 (参照图2)。
[0049]已收到装置工艺号的处理装置4利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理(步骤S9)。例如，在步骤S9中，已收到装置工艺号A1的处理装置4利用与装置工艺号A1对应的装置工艺，对基板2实施处理。如果处理装置4对基板2的处理结束，则处理装置4在处理结束时，将由处理装置4实施处理时的进程信息发送到PLC12(步骤S10)。该进程信息中包含有主工艺号、装置工艺号、基板标识码以及批次标识码等。已收到进程信息的PLC12存储已收到的进程信息，将其发送到PC11 (步骤S11)。已收到进程信息的PC11存储进程信息，并将处理结果发送到主机8 (步骤S12)。
[0050]并且，当处理装置4对基板2的处理结束时，处理装置4将基板2以及主工艺号移交到处理装置5(步骤S13)。并且，在步骤S13中，处理装置4将基板信息与主工艺号一同移交到处理装置5。在本实施方式中，例如，存储主工艺号以及基板信息的存储部设置于基板2，如果移交基板2，则主工艺号以及基板信息与基板2—同被移交。另外，主工艺号以及基板信息也可通过网络从处理装置4发送到处理装置5。
[0051]如果处理装置5获取基板2以及主工艺号，则对处理装置5实施与步骤S6至S13相同的步骤。也就是说，已获取主工艺号的处理装置5将已获取的主工艺号发送到PLC12，已获取主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置5用的装置工艺号，并将已获取的处理装置5用的装置工艺号发送到处理装置5。例如，在PLC12收到主工艺号001的情况下，PLC12获取与已收到的主工艺号001对应的处理装置5用的装置工艺号B1并将其发送到处理装置5中(参照图2)。已收到装置工艺号的处理装置5利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并且如果处理装置5对基板2的处理结束，则处理装置5将由处理装置5实施处理时的进程信息发送到PLC12。已收到进程信息的PLC12存储已收到的进程信息，并将其发送到PC11，已收到进程信息的PC11存储进程信息，并将处理结果发送到主机8。
[0052]并且，当处理装置5对基板2的处理结束时，处理装置5将基板2、主工艺号以及基板信息移交给处理装置6。如果处理装置6获取基板2以及主工艺号，则同样对处理装置6实施与步骤S6至S13相同的步骤。并且，如果对处理装置6实施与步骤S6至S13相同的步骤，处理装置7获取基板2以及主工艺号，则同样对处理装置7实施与步骤S6至S13相同的步骤，对基板2的处理结束，产品完成。
[0053]也就是说，在本实施方式中，如果将η设为2以上的整数，将对基板2实施第η次处理的处理装置5至7设为第η处理装置，则第η处理装置从第η_1处理装置获取基板2以及主工艺号，并将已获取的主工艺号发送到PLC12。并且，收到来自第η处理装置的主工艺号的PLC12将与已收到的主工艺号对应的第η处理装置用的装置工艺号发送到第η处理装置，第η处理装置利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并且在对基板2的处理结束时，将基板2以及主工艺号移交到第η+1处理装置。另外，在本实施方式中，η为2至4的整数。
[0054](本实施方式的主要效果)
[0055]如上述说明，在本实施方式中，例如在主机8存储有六个主工艺号001至006，处理装置4至7中的每一个处理装置对基板2的处理条件，即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应，并被存储于处理装置4至7中的每一个当中，在PLC12中存储有对应表Τ，所述对应表Τ规定与六个主工艺号001至006分别对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。并且，在本实施方式中，处理装置4将从主机8收到的主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号，并利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，第η处理装置将从第η-1处理装置获取的主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的第η处理装置用的装置工艺号，利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。也就是说，在本实施方式中，处理装置4至7将主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的装置工艺号，且利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。
[0056]因此，在本实施方式中，在生产新种类的产品的情况下，只要将新的主工艺号追加并存储于主机8，并变更存储于PLC12的对应表T即可。并且，根据需要，只要变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置4至7中即可。并且，在基板2的处理条件变更的情况下，只要变更存储于PLC12的对应表T，并根据需要，变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置4至7中即可。因此，在本实施方式中，与上述的专利文献1所记载的生产系统相比，能够在生产新种类的产品时以及基板2的处理条件变更时容易地实施变更操作。
[0057]并且，在本实施方式中，对应表T存储于PLC12，处理装置4至7将主工艺号发送到PLC12，已收到主工艺号的PLC12将与已收到的主工艺号对应的装置工艺号发送到处理装置4至7。也就是说，在本实施方式中，对应表T被存储于可靠性以及稳定性极高的(即，不易引起故障的)PLC12中，并在PLC12与处理装置4至7之间实施主工艺号和装置工艺号的通讯。因此，在本实施方式中，在利用处理装置4开始对基板2实施首次处理后，即使主机8或PC11故障，也能够对已开始处理的基板2实施所有的处理，从而完成产品。
[0058](生产系统的控制方法的变形例)
[0059]在上述的实施方式中，在步骤S7中，已收到主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号，并在步骤S8中将所获取的处理装置4用的装置工艺号发送到处理装置4。除此之外，也可是已收到主工艺号的PLC12在步骤S7中从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的所有的处理装置4至7用的装置工艺号，并在步骤S8中将已获取的处理装置4至7用的装置工艺号发送到处理装置4。例如，在PLC12已收到主工艺号001的情况下，PLC12也可将处理装置4至7用的装置工艺号Al、Bl、C1、D1发送到处理装置4。
[0060]在这种情况下，处理装置4利用与已收到的装置工艺号中的处理装置4用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置5。并且，处理装置5利用与已获取的装置工艺号中的处理装置5用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置6。同样，处理装置6利用与已获取的装置工艺号中的处理装置6用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置7，处理装置7利用与已获取的装置工艺号中的处理装置7用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。并且，在处理装置7中，如果对基板2的处理结束，则对基板2的处理完毕，产品完成。
[0061]也就是说，在这种情况下，如果将η设为2以上的整数，并将对基板2实施第η次处理的处理装置5至7设为第η处理装置，则第η处理装置从第η_1处理装置获取基板2以及装置工艺号，并利用与已获取的主工艺号中的第η处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交到第η+1处理装置中。
[0062]该变形例也与上述的实施方式相同，在生产新种类的产品的情况下，只要将新的主工艺号追加并存储于主机8，并变更存储于PLC12的对应表Τ即可。并且，根据需要，只要变更存储于几个处