数据显示装置、数据显示方法、程序的制作方法

专利名称：数据显示装置、数据显示方法、程序的制作方法
技术领域：
本发明涉及显示多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间 序列数据的过程相关数据的数据显示装置等。
背景技术：
作为包括进行针对被处理基板的规定过程的多个制造装置和与该 多个制造装置连接的服务器装置的群管理系统中的测量数据加工方法， 以前已知自动并且正确地加工从测量器发送来的数据的方法(例如，参 照专利文献1 )。该测量数据加工方法，预先登记加工测量数据的计算式， 在接收到测量数据时，将该测量数据保存到测量数据接收緩冲中，并且
基于测量数据具有的配方(recipe)名称，从已被登记的计算式中选择 适于加工测量数据的至少一个具有相同配方名称的计算式，并保存在计 算式保存緩冲中，将所保存的所述测量数据适用于所述已被选择的计算 式并进行计算，将计算结果存储到已加工数据保存緩冲中。
此外，在以前的包括半导体制造装置等的群管理系统中，具有显示 在半导体制造装置中测量到的时间序列信息(以下记作图表(chart)) 的功能。在该图表中，显示群管理系统管理的多个半导体制造装置的信 息。并且，在以前的群管理系统中，具有使用图表进行异常检测，随后 进行异常分类的称为FDC ( fault detection and classification,故障检测 和分类)的功能。
专利文献l:日本特开平11 -354395号公报(第1页，图l等)

发明内容
但是，在以前的群管理系统等中，存在着无法适当地显示在半导体 过程中所测量到的数据等时间序列数据的问题。
例如，在进行多个时间序列数据的分析等时，通过并排显示由曲线 图等显示的多个时间序列数据，能够比较各个数据彼此。但是，以前，在以此方式并排显示多个时间序列数据的情况下，在 改变一个时间序列数据的成为显示对象的期间、或者使成为显示对象的 期间移动时，如果不单独地也改变其他时间序列数据的作为显示对象的 期间，则每个曲线图中显示的期间变得不同，难以比较数据彼此。
此外，在放大或者缩小由曲线图等显示的时间序列数据的一部分， 从而改变要显示的期间的范围时，无法瞬间把握当前的显示范围位于时 间序列数据整体中的哪个区域的位置，此外，无法瞬间指定其他的显示 期间。
特别是近年来，为了精度良好地控制半导体过程，逐渐能够从半导
体制造装置等中以lMHz左右的高采样率取得测量数据，取得的数据量 在逐渐增加。因此，通过放大显示测量数据的一部分，能够进行更细微 的部分的分析。但是，在仅放大显示细节部分时，存在如下的问题无 法把握测量数据整体的趋势，另外，也无法判断测量数据整体中的已放 大部分的位置关系，从而不能进行适当的分析。
本发明的数据显示装置包括存储部，能够存储多套作为与半导体 过程的处理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据；数据取得部， 从所述存储部中取得一套以上的过程相关数据；第一显示部，将所述数 据取得部所取得的 一套以上的过程相关数据与时间轴对应地以第 一显 示宽度显示；范围指定接受部，接受所述第一显示部所显示的所述过程 相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得 部，从所述多套过程相关数据的每个中取得显示期间内的过程相关数据 该显示期间是与所述显示对象范围对应的期间；以及第二显示部，将所 述显示数据取得部所取得的所述显示期间内的多串过程相关数据与时 间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其 中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的表示显示对象范 围的信息与该第一显示部显示的所述一套以上的过程相关数据对应地 显示。
利用这样的构成，能够利用曲线图显示与半导体过程有关的时间序 列数据的细节部分，以进行更详细的分析，并且，能够在视觉上瞬间地 把握第二显示部1310放大显示的数据的期间是第一以及第二测量数据 的整体中的哪一部分的期间。据此，能够适当地显示与半导体过程有关的时间序列的数据。
此外，本发明的数据显示装置包括存储部，能够存储作为与半导体 过程的处理时状态有关的时间序列数据的 一套过程相关数据；数据取得 部，从所述存储部中取得所述一套过程相关数据；第一显示部，将所述数 据取得部取得的 一套过程相关数据与时间轴对应地以第 一显示宽度显示； 范围指定接受部，接受关于所述第一显示部所显示的一套过程相关数据的 多个范围亦即多个显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述一套过 程相关数据中取得多个显示期间内的多串过程相关数据，该多个显示期间 是与所述多个显示对象范围分别对应的期间；以及第二显示部，将所述显
对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述 范围指定接受部所接受的多个表示显示对象范围的信息与该第一显示 部显示的所述一套过程相关数据对应地显示。
利用这样的构成，能够以第二显示宽度显示从一套过程相关数据的 多个区域中取得的数据，易于进行一套过程相关数据中的数据的比较 等，能够有效地进行异常的检测等。
此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数 据显示装置中，所述第一显示部将数据取得部所取得的一套过程相关数 据与时间轴对应地以第一显示宽度显示多个；所述范围指定接受部接受 关于所述第一显示部进行了多个显示的所述一套过程相关数据的每个 的显示对象范围的指定；所述显示数据取得部从所述一套过程相关数据 中取得与所述范围指定接受部已接受指定的多个显示对象范围对应的 多串过程相关数据；所述第二显示部将所述显示数据取得部所取得的多 串过程相关数据分别与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽 的第二显示宽度显示；所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受
的多个表示显示对象范围的信息与分别已接受指定的所述第一显示部 显示的多个所述一套过程相关数据分别对应地显示。
利用这样的构成，能够以第二显示宽度显示从一套过程相关数据的 多个区域中取得的数据，易于进行一套过程相关数据中的数据的比较 等，能够有效地进行异常的检测等。此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数
据显示装置中，还包括分析部，对所述显示数据取得部取得的多串数 据进行规定的分析；以及第三显示部，显示所述分析部的分析结果。
利用这样的构成，通过将与一套过程相关数据中的多个区域的数据 有关的分析结果与 一套过程相关数据或一套过程相关数据中的多个区 域的数据并列显示，从而，易于进行数据间的比较，能够容易地识别数 据的异常等。
此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数 据显示装置中，还包括数据处理部，该数据处理部对所述显示数据取得 部所取得的过程相关数据的一串以上进行规定的运算处理；所述第二显
理部经过运算处理而得到的过程相关数据与时间轴对应地以比所述显 示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示。
利用这样的构成，通过使数据处理部仅处理测量数据的显示对象范 围，能够减少数据处理部的数据处理量。此外，通过在显示时进行数据 处理，能够实时显示数据处理后的过程相关数据。
此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数 据显示装置中，所述范围指定接受部通过针对所述第一显示部显示的过 程相关数据的使用了指示设备的操作来接受所述显示对象范围的指定。
利用这样的构成，能够使用第 一显示部显示的过程相关数据指定显 示对象范围，能够进行直观的操作，提高了操作性。
此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数 据显示装置中，所述第一显示部将表示所述显示对象范围的信息与该第 一显示部显示的过程相关数据重叠显示；所述范围指定接受部根据针对
所述第一显示部显示的表示显示对象范围的信息的、使用了指示设备的 移动以及宽度改变的操作，来接受所述显示对象范围的指定。
利用这样的构成，能够通过直观的操作进行显示对象范围的改变， 能够提高操作性。此外，本发明的数据显示装置是如下数据显示装置，即，在所述数据显示装置中，还包括检测部，该检测部从数据取得部所取得的过程相
关数据之一中检测特别点；所述范围指定接受部接受表示出现了所述检测部检测出的特别点的期间的信息作为指定所述显示对象范围的信息。
利用这样的构成，能够自动取得表示显示对象范围的信息。据此，能够减少用于指定显示对象范围的用户的劳动。此外，能够消除要使用第二显示宽度显示的部分的漏检。
根据本发明的数据显示装置等，能够适当地显示与半导体过程有关的时间序列数据。


图l是表示本发明的实施方式l中的群管理系统的概念图的图。
图2是该群管理系统的方框图。
图3是表示该制造装置的例子的图。
图4是说明该数据显示装置的动作的流程图。
图5是表示该显示例子的图。
图6是表示该显示例子的图。
图7是用于说明针对该数据显示装置的操作的图。
图8是用于说明针对该数据显示装置的操作的图。
图9是表示该显示例子的图。
图10是本发明的实施方式2中的群管理系统的方框图。图11是说明该数据显示装置的动作的流程图。图12是本发明的实施方式3中的群管理系统的方框图。图13是说明该数据显示装置的动作的流程图。
ii图14是表示该显示例子的图。 图15是表示该显示例子的图。 图16是表示该显示例子的图。
图17是本发明的实施方式4中的群管理系统的方框图。
图18是说明该数据显示装置的动作的流程图。
图19是表示该数据显示装置的模式存储部中存储的波形模式的一 例的图。
图20是表示该数据显示装置存储的第三数据的一例的图。 图21是表示该显示例子的图。
图22是表示该实施方式中的计算机系统的外观的一例的方框图。 图23是表示该实施例中的计算机系统的构成的一例的图。
具体实施例方式
以下，参照

数据显示装置等的实施方式。另外，在实施方 式中标有相同符号的构成要素执行相同的动作，因此有时省略再次说 明。
(实施例1)
图l是本实施方式中的群管理系统的概念图。群管理系统例如是管 理半导体制造装置、液晶面板制造装置等制造装置的系统。此外，群管
理系统具有一个以上的制造装置ll(从制造装置lla到制造装置lln(其 中，n表示任意数))、服务器装置12以及数据显示装置13。
制造装置11与服务器装置12、以及数据显示装置13与服务器装置 12分别能够经由通信线路等进行信息的收发。各装置例如可以通过因特 网、无线或有线的LAN等网络连接，也可以通过蓝牙(Bluetooth,注 册商标)等近距离无线通信连接。此外，也可以利用USB或者IEEE1394 这种总线等连接。其中，各装置之间的连接方法可以是任意的。此外，信息的收发装置可以是通信装置也可以是广播装置等。
图2是表示本实施方式中的群管理系统的构成的方框图。另外，此处，为了方便说明，以有一个制造装置ll的情况为例进行表示。
制造装置11是进行针对被处理基板，例如半导体晶片或液晶面板基板等的规定的半导体过程的装置。制造装置11进行例如成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等针对被处理基板的各种处理。制造装置11例如是半导体晶片制造装置等半导体制造装置、液晶面板制造装置、等离子
体显示器用面板制造装置等。
图3是表示作为制造装置11的一例的半导体晶片制造装置的图。图3的半导体晶片制造装置包括以下部件而构成对半导体晶片进行各种处理，例如成膜处理、蚀刻处理或热氧化处理等的多个例如3个处理腔室l、 2、 3;收容能够收纳多片例如50片晶片W的盒C1、 C2的盒腔室4、 5;以及在处理腔室l、 2、 3与盒腔室4、 5之间进行晶片W的传送的搬运腔室6。各腔室之间以借助于闸阀G自如开关的方式连接。在搬运腔室6内，设置能进行屈伸动作以及旋转动作的例如多关节式的搬运臂7，利用该搬运臂7进行腔室间的晶片W的搬运。盒C1、 C2被放入盒腔室4、 5内时进行卯度翻转，并且进行旋转以使该盒C1、 C2的晶片插拔口朝向搬运腔室6内的中心，设置为能够由搬运臂7进行晶片W的搬进搬出的姿势。
制造装置11例如存储作为与针对晶片的规定过程有关的信息的配方，使用该配方进行制造过程的控制。所谓配方，通常是过程条件值等的集合。
此外，制造装置11取得一套以上作为与本装置的状况有关的时间序列的数据(以下称作时间序列数据)的状况数据，发送给服务器装置12。这里所述的各时间序列数据例如是由与时间对应的一套以上的数据构成的数据。所谓与状况有关的时间序列的数据，具体而言，是沿着时间序列取得的与制造装置的利用状况有关的数据或与动作状况有关的数据。所谓与利用状况有关的数据，例如是表示制造装置11开始或正在执行或者以其他阶段进行什么样的处理或控制的数据，或者表示控制制造装置时的控制值的变动的数据等。所谓与制造装置的动作状况有关的数据，例如是制造装置内的温度或压力、供应给制造装置的电力、材料 气体的流量等在制造装置动作时等测量的测量数据等。使用一个以上的 温度传感器、 一个以上的振动传感器或一个以上的流量传感器等取得该 测量数据。制造装置11通常在状况数据中，将表示构成该状况数据的 时刻，或者取得构成该状况数据的表示测量信息和利用状况的数据的时 刻等的信息亦即时刻数据，与表示测量数据和利用状况的数据相对应地
附加并输出。不过，也可以将与已接收状况数据的服务器装置12接收 状况数据的时间对应的时刻数据对应地附加到状况数据中。此外，也可 以在状况数据中附加"温度"、"压力"等表示测量数据的种类的信息后 输出。通常， 一个制造装置11发送不同种类的多个状况数据。不过， 多个制造装置11也可以发送一套以上的状况数据。此外，在存在多个 制造装置11的情况下，为了能够识别从各制造装置11输出的状况数据， 也可以在状况数据中附加用于识别各制造装置11的识别信息后发送。
另外，制造装置11执行与针对晶片等被处理基板的规定半导体过程 有关的处理的构成，和取得状况数据并发送的构成等是>^知技术，因此 省略详细的说明。
服务器装置12是构成群管理系统的服务器装置，接收多个从一个 以上的制造装置11发送的、时间序列数据亦即状况数据，并储存到未 图示的存储部等中。而且，从存储部中读出与从数据显示装置13发送 的、作为用于请求发送状况数据的信息的请求信息相应的状况数据，并 发送给数据显示装置13。从数据显示装置13发送的用于请求发送状况 数据的信息例如也可以包含用于指定关于期望的制造装置的状况数据 的发送的、期望的制造装置的装置识别信息。此外，也可以包含用于指 定请求发送的状况数据的范围换言之即期间的、指定开始时刻和结束时 刻或者开始时刻和所需时间的信息。在此情况下，服务器装置12将请 求信息指定的制造装置的、请求信息指定的期间内的状况信息从存储部 中读出，并发送给成为请求信息的发送源的数据显示装置13。不过，服 务器装置12也可以与请求信息无关地在预先指定的固定或者不固定的 规定时机时，读出状况数据并发送给预先指定的数据显示装置13。此外， 服务器装置12也可以加工已被存储的状况数据来构成新的状况数据。 另外，半导体制造装置的群管理系统中的服务器装置12接收并存储状此省略详细的i兌明。
数据显示装置13包括指示接受部1301、请求信息发送部1302、 数据接收部1303、存储部1304、数据处理部1305、数据取得部1306、 第一显示部1307、范围指定接受部1308、显示数据取得部1309和第二 显示部1310。
指示接受部1301接受发送请求信息的指示，该请求信息是用于请 求发送服务器装置12中存储的多个过程相关数据亦即状况数据的信息。 关于过程相关数据在后面进行描述。指示接受部1301接受的指示也可 以包含指定状况数据的种类的信息、用于指定状况数据的范围换言之即 期间的指定开始时刻和结束时刻或者开始时刻和所需时间的信息。此 外，也可以包含用于请求关于期望的制造装置11的状况数据的、识别 信息等用于指定制造装置11的信息。这里所述的接受例如是从输入装 置的接受、从其他设备等发送的输入信号的接收等。指示接受部1301 接受的指示的输入装置可以是数字键(tenkey)、键盘、鼠标、利用菜 单画面的装置等，可以是任何输入装置。能够通过数字键、键盘等输入 装置的设备驱动器或菜单画面的控制软件等来实现指示接受部1301。
请求信息发送部1302构成与指示接受部1301接受的指示相应的请 求信息，并发送给服务器装置12。所谓与指示接受部1301接受的指示 相应的请求信息，具体是指，与指定状况数据的种类的信息、指定状况 数据的范围即期间的信息、指定制造装置11的信息等对应的用于请求 发送状况信息的信息。利用有线或无线的通信装置等实现请求信息发送 部1302。
另外，在与请求信息无关地从服务器装置12发送状况数据等的情 况下，可以省略指示接受部1301和请求信息发送部1302等。
数据接收部1303接收从服务器装置12发送的过程相关数据亦即状 况数据。利用有线或无线的通信装置等实现数据接收部1303。
存储部1304中能够存储多套作为与半导体过程的处理时状态有关 的时间序列数据的过程相关数据。所谓过程相关数据具体是指，上述数 据接收部1303所接收的状况数据，或者后述数据处理部1305对数据接收部1303接收的状况数据进行规定的处理后得到的时间序列数据。例 如，存储以规定的时间间隔对制造装置11反复测量的测量数据等。在 存储部1304中存储的过程相关数据中，通常附加表示取得各数据的时 间的时间信息。例如，在存储部1304中储存由数据接收部1303接收的 状况数据、由未图示的读出部等从存储介质等中读出的作为与半导体过 程的处理时状态有关的时间序列数据的不同的多套过程相关数据、和由 后述的数据处理部1305处理后的过程相关数据等。这里所述的存储是 也包含暂时存储的概念。存储部1304可以是非易失性的存储介质也可 以是易失性的存储介质。
况数据进行规k的处理，来构成^的过程相关数据:并且，将所构成的
过程相关数据储存到存储部1304。规定的处理可以是任意处理，例如小 波变换、数据的标准化/正规化处理等。此外，关于进行什么处理，可 以预先确定，也可以根据从未图示的接受部等接受的指示来指定。数据 处理部1305可以对数据接收部1303接收到的状况数据直接进行处理， 也可以读出被存储在存储部1304中的状况数据并进行处理。通常能利 用MPU和存储器等来实现数据处理部1305。通常用软件来实现数据处 理部1305的处理过程，该软件存储在ROM等存储介质中。不过，也 可以使用硬件(专用电路)来实现。
另外，在不需要对状况数据进行规定的处理而构成的新的过程相关 数据的情况下，也可以省略数据处理部1305。
数据取得部1306从存储部1304中取得一套以上的过程相关数据。 数据取得部1306也可以取得存储部1304中存储的过程相关数据的全部 期间的数据，还可以取得一部分的期间的数据。该期间的指定也可以预 先确定，还可以基于从指示接受部1301或者未图示的接受部等接受的、 指定开始时刻和结束时刻或者开始时刻和所需时间的信息等来确定。此 外，在没有期间的指定的情况下，也可以取得存储部1304中存储的过 程相关数据的全部期间的过程相关数据。数据取得部1306取得的一套 以上的过程相关数据也可以是存储部1304中存储的多套过程相关数据 的全部，还可以是其中的一部分。成为该取得对象的一部分的过程相关 数据可以用任意方式进行指定。例如，也可以经由未图示的接受部等由用户使用数据的种类、装置识别信息等进行指定，还可以预先设定。另 外，对于被指定的规定期间内的、不存在过程相关数据的部分，也可以
取得表示无过程相关数据的即为"0"的信息。通常能利用MPU和存储 器等实现数据取得部1306。通常用软件实现数据取得部1306的处理过 程，该软件存储在ROM等存储介质中。不过，也可以使用硬件(专用 电路)来实现。
第一显示部1307以第一显示宽度将数据取得部1306所取得的一套 以上的过程相关数据与时间轴对应地显示。所谓与时间轴对应地显示具 体是指，使用以时间轴为横轴或纵轴的曲线图显示各过程相关数据等。 所谓以第一显示宽度显示是指，使数据取得部1306所取得的一套以上 的过程相关数据的开始时刻和结束时刻位于第一显示宽度的两端，以此 方式显示一套以上的过程相关数据。这里所述的宽度是指时间轴方向的 长度。第一显示宽度可以固定，也可以能够根据未图示的接受部等接受 的指示等进行改变。此外，第一显示部1307可以根据第一显示宽度， 对进行显示时实际上不需要的过程相关数据进行抽减，或者为了使过程 相关数据能够平滑显示而进行内插。此外，可以以任意方式决定第一显 示部1307显示的一套以上的过程相关数据。此外，在显示多套过程相 关数据的情况下，可以将多套过程相关数据重叠显示。
此外，第一显示部1307将后述的范围指定接受部1308所接受的表 示显示对象范围的信息与上述的第一显示部1307以第一显示宽度显示 的 一套以上的过程相关数据对应地显示。所谓对应地显示是指以使得能 够唯一地把握显示对象范围是第一显示部1307所显示的过程相关数据 中的哪个范围的方式进行显示。即，能够与其他区域相区别地显示出， 显示对象范围是第一显示部1307所显示的过程相关数据中的哪个范围。 具体而言，将表示显示对象范围的表示范围的图像与过程相关数据重叠
显示，或者沿着过程相关数据的时间轴显示。该表示显示对象范围的信 息例如是能够与其他范围相判别地显示第一显示部1307所显示的一套 以上的过程相关数据的、与显示对象范围相当的范围的信息，例如可以 是目标图像，例如，通过覆盖等方法着色显示与显示对象范围相当的范 围的信息，或者使用虚线或边界线等包围或分割与显示对象范围相当的 范围的信息。此外，也可以是使显示对象范围的时间序列信息的颜色等 进行反转显示的信息。这里所述的范围具体是指期间。另外，显示与显
17示对象范围相当的范围的技术，作为显示由指示设备等指定的区域，例 如显示表示选择范围的信息的技术等，是公知技术，因此省略详细的说 明。这里所述的显示是包含针对显示器等的显示的概念。也可以认为第
一显示部1307包含或者不包含显示器等的显示设备等。能够由显示设 备的驱动软件，或者显示设备的驱动软件和显示设备等来实现第一显示 部1307。
范围指定接受部1308接受第一显示部1307所显示的过程相关数据 中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定。显示对象范围是表示至少 能够确定沿时间轴的始点和终点的范围的信息便可。显示对象范围是第 一显示部1307所显示的过程相关数据上的范围。范围指定接受部1308， 优选，例如通过针对第一显示部1307显示的过程相关数据的利用了鼠 标等指示设备的操作来接受显示对象范围的指定，能够直观地进行操 作。具体而言，也可以通过操作指示设备等来描绘第一显示部1307所 显示的一套以上的过程相关数据上的要作为显示对象的范围，或者通过 单击按钮等的同时进行拖动来接受范围的指定。此外，在表示显示对象 范围的信息已经显示在第一显示部1307所显示的过程相关数据上或者 过程相关数据的周围的情况下，可以根据针对该正在被显示的表示显示 对象范围的信息的、利用了指示设备的移动以及改变宽度的操作，接受 显示对象范围的指定。例如，也可以，当在第一显示部1307所显示的 过程相关数据上重叠地透明显示表示显示对象范围的矩形的目标图像 的情况下，可以通过使用指示设备拖动该目标图像的中心，来接受显示 对象范围的移动。此外，也可以，通过使用指示设备拖动矩形的目标图 像的时间轴方向的端部，来接受表示显示对象范围的范围的改变。不过， 范围指定接受部1308接受显示对象范围的指定的方式可以是任意的。 例如，也可以通过接受表示显示对象范围的始点和终点的时刻等值，来 接受显示对象范围的指定或改变等。这里所述的接受，例如是从输入装 置的接收或者由其他设备等发送的输入信号的接收等。输入装置可以是 数字键、键盘、鼠标、利用菜单画面的装置等，可以是任何输入装置。 能通过数字键、键盘等输入装置的设备驱动器或菜单画面的控制软件等 来实现范围指定接受部1308。
显示数据取得部1309从存储部1304中存储的多套过程相关数据的 每个中，取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与范围指定接受部1308所接受的显示对象范围对应的期间。作为具体例子，显示数 据取得部1309取得与范围指定接受部1308所接受的显示对象范围对应 的显示期间的开始时刻和结束时刻，从存储部1304中读出并取得该开 始时刻和结束时刻之间的期间内的多串过程相关数据。该多串过程相关 数据可以以任意方式确定，也可以经由未图示的接受部等接受指定，还 可以预先指定。此外，对于与范围指定接受部1308所接受的显示对象 范围对应的显示期间的开始时刻以及结束时刻，例如能够根据第一显示 部1307所显示的过程相关数据上的显示对象范围的时间轴方向的两端 所表示的位置，和第一显示部1307以第一显示宽度显示的过程相关数 据的两端的时刻，使用比率等进行计算。此外，也可以预先根据第一显 示宽度和第一显示部1307显示的过程相关数据的期间，计算第一显示 部1307显示的图像上的距离与时间的关系，使用该关系，根据显示对 象范围的两端的、相对于第一显示部1307上所显示的时间序列信息的 两端等的距离，计算与显示对象范围的两端对应的时刻亦即开始时刻和 结束时刻。另外，在显示对象范围内的一部分或者全部中不存在过程相 关数据时，也可以不取得该不存在的期间的过程相关数据，还可以将预 先设定的值例如"0"等作为该期间的值取得。通常能利用MPU和存储 器等来实现显示数据取得部1309。显示数据取得部1309的处理过程通 常用软件实现，该软件存储在ROM等存储介质中。不过，也可以使用 硬件(专用电路)来实现。
第二显示部1310将显示数据取得部1309所取得的显示期间内的多 串过程相关数据与时间轴对应地以比显示对象范围的宽度宽的第二显 示宽度进行显示。通常，优选第二显示宽度是与第一显示宽度相同程度 的宽度，但也可以是不同的宽度。在第二显示宽度比第一显示宽度窄的 情况下，为了使第二显示宽度比显示对象范围的宽度宽，也可以预先将 显示对象范围的最大宽度设定为比第二显示宽度窄。此外，第二显示宽 度也可以固定，还可以是能够根据未图示的接受部等接受的指示等进行 改变。此外，也可以是，第二显示部1310根据第一显示宽度对进行显 示时实际上不需要的过程相关数据进行抽减，或者为了使过程相关数据 能够平滑显示而进行内插。此外，也可以以任意方式决定第二显示部 1310显示的一串以上的过程相关数据。此外，在显示多串过程相关数据 的情况下，通常以比显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度与时间轴对应地分别显示各个过程相关数据。不过，也可以重叠显示多串过程相关 数据中的一部分的过程相关数据。此外，在未接受显示对象范围的指定
的情况下，第二显示部1310例如也可以对多串过程相关数据整体按过 程相关数据的不同，以第二显示宽度显示。这里所述的显示是包含针对 显示器等的显示的概念。可以认为第二显示部1310包含或者不包含显 示器等的显示设备等。能够由显示设备的驱动软件，或者显示设备的驱 动软件和显示设备等来实现第二显示部1310。
另外，对于显示数据取得部1309取得显示期间内的过程相关数据， 该显示期间是与范围指定接受部1308所接受的显示对象范围对应的期 间，并且由第二显示部1310显示所取得的过程相关数据的处理，如果 以范围指定接受部1308接受了显示对象范围为触发事件而进行，则能 够才艮据显示对象范围的指定实时地更新第二显示部1310的显示，因此 是较为理想的。
接着，使用图4的流程图说明数据显示装置的动作。另外，此处， 指示接受部1301接受用于从服务器装置12取得期望的期间内的一套以 上的状况数据(过程相关数据)的、指定期间和状况数据种类的信息。
(步骤S400 )指示接受部1301判断是否已接受发送请求信息的指 示。在已接受的情况下，进入步骤S401，在未接受的情况下，返回步 骤S400。
(步骤S401 )请求信息发送部1302构成与指示接受部1301接受的 指示相应的请求信息，并发送给服务器装置12。在此，作为例子，根据 指示接受部1301接受的指示，将用于请求发送期望的期间内的、期望 的状况数据即过程相关数据的请求信息发送给服务器装置12。
(步骤S402 )数据接收部1303接收从服务器装置12发送的作为过 程相关数据的状况数据。
(步骤S403 )数据接收部1303将步骤S402中接收到的过程相关数 据存储到存储部1304中。
(步骤S404 )数据处理部1305对数据接收部1303接收到的过程相 关数据进行规定的处理，构成新的过程相关数据。并且，将所构成的过程相关数据储存到存储部1304中。数据处理部1305也可以对数据接收 部1303接收到的过程相关数据进行规定的处理，还可以读出存储部 1304中所存储的在步骤S402中接收到的过程相关数据并进行规定的处 理。在此，作为例子，设，预先指定了数据处理部1305作为处理对象 的过程相关数据，也预先决定了对该过程相关数据进行的处理。
(步骤S405 )数据取得部1306从存储部1304中取得一套以上的过 程相关数据。在此，设，数据取得部1306例如取得在步骤S402中接收 到的状况数据的全部期间的数据。
(步骤S406)第一显示部1307以第一显示宽度显示数据取得部 1306取得的过程相关数据。
(步骤S407)范围指定接受部1308判断是否已接受第一显示部 1307所显示的过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指 定。在已接受的情况下，进入步骤S408，在未接受的情况下，返回步 骤S407。
(步骤S408 )第一显示部1307将步骤S407中已接受的表示显示对 象范围的信息与步骤S406中显示的时间序列信息对应进行显示，例如 重叠显示。
(步骤S409 )显示数据取得部1309取得表示显示期间的信息，该 显示期间是与步骤S407中所接受的显示对象范围对应的实际期间。具 体而言，根据第一显示部1307以第一显示宽度显示的时间序列信息的 开始时刻和结束时刻，以及第一显示部1307以第一显示宽度显示的时 间序列信息的时间轴方向的端部所在的时间轴方向的坐标，和范围指定 接受部1308所接受的显示对象范围的时间轴方向的端部所在的时间轴 方向的坐标等，计算显示期间的开始时刻和结束时刻。
(步骤S410 )显示数据取得部1309读出并取得存储部1304中存储 的多套过程相关数据中的、在步骤S409中计算出的显示期间内的过程 相关数据。在此，设，预先指定了该多套过程相关数据的种类等。
(步骤S411)第二显示部1310以第二显示宽度与时间轴对应地显 示步骤S410中所取得的过程相关数据。设预先指定了该第二显示宽度。(步骤S412)范围指定接受部1308判断是否已接受显示对象范围 的改变。在已接受的情况下，进入步骤S408，在未接受的情况下，返 回步骤S412。
另外，在图4的流程图中，通过电源关闭或处理结束的中断来结束 处理。
另外，制造装置11和服务器装置12的动作是公知的，因此在此省 略说明。
以下，说明包括本实施方式中的数据显示装置的群管理系统的具体 动作。群管理系统的概念图为图1。
在此，首先，设，例如以lMHz的釆样率反复测量关于制造装置11 动作时的温度、振动和气体流量等的测量数据(状况数据)，与以测量 开始时刻为0的时刻数据对应地从制造装置11发送给服务器装置12。
而且，设，所发送的测量数据在服务器装置12内与时刻数据对应 地被储存。
接着，设，数据显示装置13的指示接受部1301经由键盘等输入装 置等从用户接受取得如下数据的指示服务器装置12中存储的测量数 据中的第一测量数据以及第二测量数据的从3000xl(T6秒到7000xl(T6秒 的期间的数据。第一以及第二测量数据也可以是任意的测量数据。另夕卜， 在此为了方便说明，设第一以及第二测量数据的测量值的单位是相同的 单位。
请求信息发送部1302根据指示接受部1301所接受的指示，向服务 器装置12发送用于请求发送第一以及第二测量数据中的从3000xl(^秒 到7000xl0"秒的期间的数据的请求信号。
服务器装置12读出与从数据显示装置13发送的请求信号对应的第 一以及第二测量数据的从3000xl0"秒到7000xl(^秒的期间的数据，并 发送给数据显示装置13。
数据显示装置13的数据接收部1303接收从服务器装置12发送的 第一以及第二测量数据，并存储到存储部1304中。
22在此，设，预先指定与第一以及第二测量数据一起显示将第一以及
第二测量数据进行小波变换后得到的数据，数据处理部1305分别读出 存储部1304中存储的第一测量数据和第二测量数据，并进行小波变换。 而且，将经过小波变换而得到的过程相关数据储存到存储部1304。另外， 关于小波变换的处理是公知技术，因此省略说明。
接着，数据取得部1306从存储部1304中取得用于由第一显示部 1307进行显示的过程相关数据。在此，设，指定由第一显示部1307显 示数据接收部1303接收到的测量数据的整体，数据取得部1306读出数 据接收部1303接收到的第 一以及第二测量数据的全部期间的数据。
笫一显示部1307构成将数据取得部1306读出的第一测量数据与第 二测量数据沿时间轴重叠后的第一显示宽度的曲线图，使用未图示的显 示器等进行显示。在此，第一显示宽度是预先设定的，例如为400像素。 此外，曲线图的高度为160像素。另外，在此，横轴的单位为10_6秒。 此外，在此，第一以及第二测量数据相对于第一显示宽度，是非常多， 无法用曲线图内的有限的像素数显示全部数据，因此也可以使用抽减各 个测量数据后的数据来构成曲线图。
图5是第一显示部1307构成的曲线图的显示例。在此，将第一以 及第二测量值的曲线图重叠显示。另外，仅曲线图51是第一显示部1307 显示的曲线图。在此，x轴为时间，y轴为测量数据的值。曲线图52~ 曲线图55是第二显示部1310显示的曲线图，但是，在此，在初始状态 下未显示曲线图。另外，在此，第一显示部1307与第二显示部1310在 相同的显示器中显示图像。
接着，若用户操作鼠标等移动显示器上显示的指针等，选择了第一 显示部1307所显示的曲线图51上的一部分的范围，则范围指定接受部 1308接受第一显示部1307所显示的过程相关数据中的一部分的范围亦 即显示对象范围的指定。具体而言，范围指定接受部1308接受通过该 鼠标操作等选择的范围的x坐标的值。在此，为了简化说明，设，第一 显示部1307显示的曲线图的左侧的x坐标为"0"，右侧的x坐标为"400"， 范围指定接受部1308接受的显示对象范围的左侧的x坐标为"160"， 右侧的x坐标为"280"，则范围指定接受部1308接受作为指定显示对 象范围的信息的"x=160"以及"x=280"的值。第一显示部1307取得范围指定接受部1308接受的作为指定显示对 象范围的坐标信息的"x=160"以及"x=280"的值，将图5所示那样的 曲线图51的、在该坐标之间夹着的范围内的背景色改变为与其他区域 不同的颜色并重新显示。
显示数据取得部1309根据范围指定接受部1308接受的作为指定显 示对象范围的信息的"x=160"以及"x=280"的值，取得与显示对象范 围对应的期间的信息。具体而言，第一显示部1307显示的曲线图的时 间轴的范围是从3000xl0"秒到7000xl0"秒的期间，以400像素的第一 显示宽度显示该期间，因此，显示数据取得部1309运算(7000-3000) xl(T6 秒+ 400像素，来计算出曲线图51上的一个像素是10xl(^秒。而且， 显示数据取得部1309使用与该一个像素对应的时间，计算显示对象范 围的左端的时刻与右端的时刻。显示数据取得部1309计算出的显示对 象范围的左端的时刻是(3000+160x10) xl(T6秒，右端的时刻是 (3000+280x10) xlO"秒。于是，与显示对象范围对应的期间是从 4600xl0^秒到5800xl0^秒的期间，显示数据取得部1309从存储部1304 中读出该期间内的第 一以及第二测量数据和将这些数据进行了小波变 换后的过程相关数据。而且，分别使用读出的数据，与第一显示部1307 相同地沿着时间轴构成预先设定的第二显示宽度的曲线图。在此，设， 第二显示宽度，被预先设定，是与第一显示宽度大致相同的大小，例如 为410像素。而且，在显示器等上显示所构成的曲线图。另外，显示数 据取得部1309也可以使用对第一以及第二测量数据和利用小波变换等 得到的过程相关数据进行了适当抽减的数据来构成曲线图。
图6是表示第一显示部1307和第二显示部1310构成的曲线图的显 示例的图。与图5相同，曲线图51是第一显示部1307显示的曲线图， 曲线图52~曲线图55是第二显示部1310显示的曲线图。曲线图52是 第一测量数据的曲线图，曲线图53是对第一测量数据进行小波变换而 得到的数据的曲线图，曲线图54是第二测量数据的曲线图，曲线图55 是对第二测量数据进行小波变换而得到的数据的曲线图。
如图6所示，在第一显示部1307所显示的曲线图中，显示存储部 1304中存储的第一以及第二测量数据中的全部期间的数据，并且，设为 背景色与其他区域不同的区域61来显示范围指定接受部1308所接受的
24范围。此外，在第二显示部1310所显示的曲线图中，以比区域61的宽 度宽的第二显示宽度，在此是与第一显示宽度相同程度的宽度显示与第 一显示部1307所显示的曲线图中的区域61对应的期间内的数据。
通过以这种方式进行显示，能够放大显示第一显示部1307在显示 器等上所显示的曲线图上与用户指定的范围对应的期间的测量数据和 该期间的小波变换后的信息。据此，能够用曲线图显示数据的细节部分， 从而可以进行更为详细的分析。此外，在保持由第一显示部1307显示 第一以及第二测量数据的整体的同时，第一显示部1307将利用第二显 示部1310放大显示的范围与第一以及第二测量数据对应显示，因此能 够在视觉上瞬间地把握第二显示部1310放大显示的数据的期间是第一 以及第二测量数据的整体中的哪一部分的期间。特别是近年来，能够以 更高的频率取得与半导体过程的处理时状态有关的值，因此能够放大显 示测量数据等的细节部分。因此，根据本实施方式，在使用第一显示部 1307显示测量数据等的整体的同时，能够有效并且直观地指定并放大显 示测量数据等的要查看细节部分的部分。据此能够有效显示测量数据等 的整体和细节部分。
此外，利用第二显示部1310显示与范围指定接受部1308所接受的 显示对象范围对应的期间的多串测量数据等的过程相关数据，因此能够 对齐第二显示部1310显示的多串过程相关数据的作为显示对象的期间， 多套过程相关数据的比较变得容易。
此外，能够在第一显示部1307的曲线图上指定显示对象范围，因 此易于判断要放大的部分等，操作性较好。
接着，如图7所示，若利用画面上显示的鼠标等进行拖动第一显示 部1307中所显示的表示显示对象范围的区域51的时间轴方向的端部的 操作，从而移动了指针71，则范围指定接受部1308接受宽度被改变了 的显示对象范围的信息。与之相伴，第一显示部1307中所显示的表示 显示对象范围的区域51的宽度被改变，并且显示数据取得部1309取得 的测量数据等的期间也被改变，第二显示部1310显示与通过拖动等改 变了宽度的区域51对应的测量数据等。
此外，如图8所示，若利用鼠标等进行拖动图6中第一显示部1307中所显示的表示显示对象范围的区域51的中央部的操作，从而移动了 指针71，则范围指定接受部1308接受在时间轴方向上位置被改变了的 显示对象范围的信息。与之相伴，第一显示部1307中所显示的表示显 示对象范围的区域51的时间轴方向的位置被改变，并且显示数据取得 部1309取得的测量数据等的期间也被改变，第二显示部1310显示与通 过拖动等改变了时间轴方向的位置的区域51对应的测量数据等。
这样，通过用鼠标等操作第一显示部1307上所显示的表示显示对 象范围的区域的宽度或位置，能够改变第二显示部1310以第二显示宽 度显示的测量数据等的期间，因此能够进行直观的操作，提高了操作性。
综上所述，根据本实施方式，使用第一显示部1307显示与制造装
置ll有关的一套以上的时间序列数据，并且由第二显示部1310放大显 示其一部分期间的多串过程相关数据，据此，能够用曲线图显示与半导
体过程有关的时间序列数据的细节部分，从而可以进行更加详细的分 析。此外，第一显示部1307将利用第二显示部1310放大显示的范围与 第一以及第二测量数据对应显示，据此，能够在视觉上瞬间把握第二显 示部1310放大显示的数据的期间是第一以及第二测量数据的整体中的 哪一部分的期间。据此，能够适当地显示与半导体过程有关的时间序列
的数据。
此外，利用第二显示部1310显示与范围指定接受部1308所接受的 显示对象范围对应的期间的多串过程相关数据，据此，能够对齐作为显 示对象的期间来显示多串过程相关数据，多套过程相关数据的比较变得 容易。
另外，在上述实施方式中，数据处理部1305处理状况数据等过程 相关数据以构成新的过程相关数据的时机或触发条件等可以是任意的。 例如，也可以构成为，在范围指定接受部1308接受了显示对象范围的 指定的情况下，对存储部1304中存储的与该显示对象范围对应的显示 期间内的一套以上的状况数据等的过程相关数据，进行小波变换等规定 的处理，构成新的过程相关数据，并将所构成的过程相关数据输出到显 示数据取得部1309等中。
此外，在上述实施方式中，也可以构成为，在服务器装置12中设置与数据处理部1305相同的数据处理部等，服务器装置12内的数据处 理部等对服务器装置12存储的状况数据，进行规定的处理，构成新的 过程相关数据，并与状况数据等一起储存到服务器装置12内的未图示 的存储部中，读出该储存的过程相关数据，并发送到数据显示装置13。
另外，在上述实施方式中，显示对象范围的显示方式等可以是任意 的。例如，如图9所示，可以通过在第一显示部1307所显示的曲线图 51的与显示对象范围61的开始时刻和结束时刻分别对应的时间轴的位 置处显示标记91以及标记92，来由第一显示部1307进行显示对象范围 的显示。
(实施方式2)
在本实施方式中，构成为，在上述实施方式所示的数据显示装置中，
显示通过该处理得到的过程相关数据。
图10是表示包括本实施方式涉及的数据显示装置的群管理系统的 构成的方框图。在图中，与图2相同的符号表示相同或者相应的部分。
数据显示装置23包括指示接受部1301、请求信息发送部1302、 数据接收部1303、存储部1304、数据处理部2305、数据取得部1306、 第一显示部1307、范围指定接受部1308、显示数据取得部1309和第二 显示部2310。
数据显示装置23的数据处理部2305以及第二显示部2310之外的 构成与上述实施方式的数据显示装置相同，因此省略详细的说明。
数据处理部2305对显示数据取得部1309所取得的过程相关数据的 一串以上进行规定的运算处理。而且，将通过运算处理取得的过程相关 数据输出给第二显示部1310。规定的处理可以是任意的处理，例如小波 变换、数据的标准化处理等。所谓数据的标准化是用于减少数据的单位 和种类的不同带来的影响的处理。此外，关于进行什么处理，可以预先 确定，也可以根据从未图示的接受部等接受的指示来指定。此外，处理 显示数据取得部1309所取得的过程相关数据中的哪个过程相关数据可 以是任意的。可以以任意方式指定成为处理对象的过程相关数据，例如也可以经由未图示的接受部等从用户等处接受指定。此外也可以以默认
方式进行设定。此外，也可以处理显示数据取得部1309所取得的全部 的过程相关数据。通常能由MPU和存储器等来实现数据处理部2305。 数据处理部1305的处理过程通常用软件来实现，该软件存储在ROM 等存储介质中。不过，也可以使用硬件(专用电路)来实现。
第二显示部2310将显示数据取得部1309所取得的过程相关数据以 及通过数据处理部2305进行运算处理而得到的过程相关数据与时间轴 对应地以比显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示。第二显示部 2310也可以将显示数据取得部1309所取得的过程相关数据以及通过数 据处理部2305进行运算处理得到的过程相关数据作为不同的曲线图在 各自不同的区域、例如窗口等中显示，还可以将它们重叠显示。另外， 关于过程相关数据的按照第二显示宽度的显示方法等的其他构成，与上 述实施方式的第二显示部相同，因此省略说明。
接着，使用图11的流程图说明数据显示装置23的动作。另外， 在图11的流程图中，与图4相同的符号表示相同或者相应的处理步骤， 在此省略说明。
(步骤S1101)数据处理部2305对步骤S410中取得的过程相关 数据中的一串以上进行规定的处理。
(步骤S1102 )第二显示部2310将步骤S410中所取得的过程相
间轴对应地以第二显示宽度进行显示。
以下，说明包括本实施方式中的数据显示装置的群管理系统的具 体动作。群管理系统的概念图与图l相同。
在此，设为，与上述实施方式1中说明的具体例子相同，数据接 收部1303接收第一以及第二数据作为过程相关数据，第一显示部1307 构成将第 一测量数据和第二测量数据沿着时间轴重叠后的第 一显示宽 度的曲线图51，以图5所示的方式显示。
若用户操作鼠标等移动显示器上显示的指针等，选择了第一显示 部1307所显示的曲线图51上的一部分的范围，则范围指定接受部1308接受第一显示部1307所显示的过程相关数据中的一部分的范围亦即显 示对象范围的指定。
显示数据取得部1309取得与范围指定接受部1308所接受的显示 对象范围对应的显示期间的信息，读出该显示期间的第一测量数据以及 第二测量数据。
在此，数据处理部2305对显示数据取得部1309所取得的第一测 量数据以及第二测量数据分别进行作为规定的处理的小波变换。
接着，第二显示部2310在此将通过数据处理部2305进行小波变 换得到的数据与显示数据取得部1309所取得的第一测量数据以及第二 测量数据分别作成不同的曲线图，以与第一显示宽度相同的大小进行显 示。以此方式显示的曲线图，结果成为与图6所示的实施方式1的具体 例子相同的图。例如，显示数据取得部1309所取得的第一测量数据以 及第二测量数据成为曲线图52以及曲线图54，对第一测量数据进行小 波变换后的曲线图成为曲线图53，对第二测量数据进行小波变换后的曲 线图成为曲线图55。
此外，与显示对象范围的改变同步地改变显示的处理等，与上述 实施方式1的具体例子相同，因此省略说明。
综上所述，根据本实施方式，取得与上述实施方式l相同的效果， 并且，数据处理部仅处理测量数据的显示对象范围便可，因此能够减少 数据处理部的数据处理量。此外，通过在显示时进行数据处理，能够实 时显示经过处理后的过程相关数据。
(实施方式3)
本实施方式涉及的数据显示装置构成为，能够对一套过程相关数据 指定多个显示对象范围，将与一套过程相关数据中的各个显示对象范围 对应的显示期间内的数据分别以第二显示宽度进行显示。
图12是表示包括本实施方式涉及的数据显示装置的群管理系统 的构成的方框图。图中，与图2相同的符号表示相同或者相应的部分。
数据显示装置33包括指示接受部1301、请求信息发送部1302、数据接收部1303、存储部3304、数据处理部1305、数据取得部3306、 第一显示部1307、范围指定接受部3308、显示数据取得部3309、第二 显示部3310、分析部3311和第三显示部3312。
数据显示装置33的指示接受部1301、请求信息发送部1302、数 据接收部1303、数据处理部1305的构成与上述实施方式1的数据显示 装置相同，因此省略详细的"i兌明。
能够在存储部3304中存储作为与半导体过程的处理时状态有关 的时间序列数据的一套过程相关数据。另外，除了能够存储一套过程相 关数据这一点之外，存储部3304的构成与上述实施方式1的存储部的 构成相同，因此省略说明。
数据取得部3306从存储部3304中取得一套过程相关数据。另外， 除了取得一套过程相关数据这一点之外，数据取得部3306的构成与上 述实施方式1的数据取得部相同，因此省略说明。
第一显示部3307将数据取得部3306所取得的一套过程相关数据 与时间轴对应地以第一显示宽度显示。此外，第一显示部3307还将后 述的范围指定接受部3308所接受的多个表示显示对象范围的信息与该 第一显示部3307显示的一套过程相关数据对应地显示。表示显示对象 范围的信息和用于该显示的构成等与上述实施方式1的第一显示部相 同，因此在此省略说明。
在此，在本实施方式中，特别地，说明第一显示部3307以第一显 示宽度将一套过程相关数据显示多个的情况，例如用多个曲线图或者多 个窗口显示的情况。所谓显示多个，例如是指在多个曲线图或多个窗口 中分别显示。例如，将表示一套过程相关数据的相同的曲线图显示多个。 不过，多个曲线图的宽度等不必一定均为相同的宽度。例如，第一显示 部3307使用对齐显示的时间而排列的n ( n为2以上的整数)个曲线图 显示一套过程相关数据。此时，第一显示部3307也可以将范围指定接 受部3308所接受的多个表示显示对象范围的信息与各个已接受指定的 第一显示部3307显示的多个的一套过程相关数据分别对应地显示。具 体而言，在范围指定接受部3308接受了对第一显示部3307进行多个显 示的一套过程相关数据中的第k(lSk^n)个被显示的曲线图的显示
30对象范围的指定的情况下，第一显示部3307将该表示显示对象范围的 信息与第k个曲线图对应地进行显示。
其中，第一显示部3307也可以仅用一个曲线图或窗口显示一套过 程相关数据。在此情况下，第一显示部3307可以是能将多个表示显示 对象范围的信息在一个曲线图或窗口中显示的装置。另外，上述之外的 第一显示部3307的构成等与实施方式1的第一显示部的构成等相同， 因此省略说明。
范围指定接受部3308接受关于第一显示部3307所显示的一套过 程相关数据的多个范围亦即多个显示对象范围的指定。具体而言，在第 一显示部3307利用多个曲线图等将一套过程相关数据显示了多个的情 况下，范围指定接受部3308接受关于第一显示部3307进行多个显示的 一套过程相关数据中的每个的显示对象范围的指定。例如，在使用n个 曲线图分别显示一套过程相关数据的情况下，针对各个曲线图，接受显 示对象范围的指定。另外，接受指定的多个显示对象范围最好不是相同 的范围。此外，在第一显示部3307利用一个曲线图等将一套过程相关 数据仅显示一个的情况下，范围指定接受部3308也可以对第一显示部 3307仅显示了 一个的一套过程相关数据接受不同的多个显示对象范围 的指定。上述那样的范围指定的结果是，针对一套过程相关数据，接受 多个显示对象范围的指定。另外，上述之外的构成等与上述实施方式l 的范围指定接受部1308相同，因此省略^L明。
显示数据取得部3309从存储部3304中存储的一套过程相关数据 中，分别取得多个显示期间内的多串过程相关数据，该多个显示期间是 与范围指定接受部3308所接受的多个显示对象范围分别对应的期间。 所谓一套过程相关数据是第一显示部3307所显示的过程相关数据。除 了取得多串过程相关数据的构成以外，显示数据取得部3309与上述实 施方式1的显示数据取得部1309相同，因此省略说明。
第二显示部3310将显示数据取得部3309所取得的多串过程相关 数据与时间轴对应地以比显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度进行
显示。例如，第二显示部3310利用多个曲线图或窗口等分别单独地显 示多串过程相关数据。或者也可以将上述多串过程相关数据重叠显示。 另外，除了显示多串过程相关数据这一点以外，第二显示部3310与上述实施方式1的第二显示部1310相同，因此省略说明。
分析部3311对显示数据取得部3309所取得的多串数据进行规定 的分析。所谓规定的处理，可以是任意处理，也可以是Wayland测试 等混沌时间序列分析等，还可以是多变量分析等其他分析处理。关于 Wayland测试，是文献"理查德.韦兰(Richard Wayland )等，"关于 时间序列的决定论的定量4匕(Recognizing Determinism in a Time Series)",物理评论快报(PHYSICAL REVIEW LETTERS ), 1993年2 月1日，VOLUME 70， NUMBER 5, p. 580-582"中记载的公知技术， 因此省略说明。分析部3311可以预先确定进行什么处理，也可以根据 从未图示的接受部等接受的指示进行指定。通过分析得到的数据等例如 暂时被存储在未图示的存储介质等中。通常能由MPU和存储器等来实 现分析部3311。分析部3311的处理过程通常用软件实现，该软件存储 在ROM等存储介质中。不过，也可以使用硬件(专用电路)来实现。
第三显示部3312显示分析部3311的分析结果。所谓分析结果， 是表示通过分析得到的结果的数据或判定结果等。第三显示部3312也 可以使用分析部3311的分析结果，构成用于显示分析结果的数据例如 曲线闺等，并显示该用于显示分析结果的数据。这里所述的显示是包含 针对显示器等的显示的概念。可以认为第一显示部1307包含或者不包 含显示器等的显示设备等。能够由显示设备的驱动软件，或者显示设备 的驱动软件和显示设备等来实现第一显示部1307。
接着，使用图13的流程图说明数据显示装置23的动作。另外， 在图13的流程图中，与图4相同的符号表示相同或者相应的处理步骤， 在此省略说明。另外，此处，说明在接受了一个显示对象范围的指定的 情况下，将与该显示对象范围对应的显示期间的过程相关数据以第二显 示宽度进行显示的情况。
(步骤S1301)数据取得部3306从存储部3304中取得一套过程 相关数据。
(步骤S1302 )第一显示部3307将数据取得部3306所取得的过 程相关数据以第一显示宽度显示多个。
32(步骤S1303 )范围指定接受部3308判断是否接受了关于第一显 示部3307进行了多个显示的过程相关数据中的一个的一部分的范围亦 即显示对象范围的指定。在已接受的情况下，进入步骤S1304，在未接 受的情况下，返回步骤S1303。
(步骤S1304 )第一显示部3307将在步骤S1303中接受的表示显 示对象范围的信息与在步骤S1303中进行了多个显示的过程相关数据 中的与在步骤S1303中已接受显示对象范围的指定的过程相关数据对 应进行显示，例如重叠显示。
(步骤S1305 )显示数据取得部3309取得表示显示期间的信息， 该显示期间是与在步骤S1304中所接受的显示对象范围对应的实际期 间。
(步骤S1306)显示数据取得部3309从存储部3304中存储的一 套过程相关数据中读出并取得在步骤S1305中计算出的显示期间内的 过程相关数据。所取得的过程相关数据例如与已接受显示对象范围的指 定的过程相关数据的 一个显示对应地被储存在未图示的存储介质等中。
(步骤S1307 )第二显示部3310将在步骤S1306中所取得的过程 相关数据与时间轴对应地以第二显示宽度进行显示。
(步骤S1308 )分析部3311判断范围指定接受部3308是否已接 受关于一套过程相关数据的多个显示对象范围的指定。在已接受的情况 下，能够进行分析，因此进入步骤S1309，在未接受的情况下，进入步 骤S1312。
(步骤S1309 )分析部3311判断是否进行规定的分析。分析部3311 可以以任意方式判断是否进行规定的分析，例如，也可以在未图示的接 受部等接受了进行分析的指示的情况下判断为进行分析。此外，也可以 在步骤S1308中接受了多个显示对象范围的指定的情况下判断为进行 分析。在判断为进行分析的情况下，进入步骤S1310，在判断为不进行 分析的情况下，进入步骤S1312。
(步骤S1310 )分析部3311对显示数据取得部3309从一套过程 相关数据中取得的多串过程相关数据进行规定的分析。(步骤S1311)第三显示部3312显示步骤S1310的分析结果。
(步骤S1312 )范围指定接受部3308判断是否已接受显示对象范 围的改变或追加。在已接受的情况下，返回步骤S1304，在未接受的情 况下，返回步骤S1309。
以下，说明包括本实施方式中的数据显示装置的群管理系统的具 体动作。群管理系统的概念图与图l相同。另外，此处，为了简化说明， 以不进行数据处理部1305的处理的情况为例进行说明。
此处，与上述实施方式l的具体例子相同，数据接收部1303接收 过程相关数据，并储存到存储部3304中。在此，仅接收并储存作为一 套过程相关数据的第 一 测量数据。
数据取得部3306读出存储部3304中储存的作为一套过程相关数 据的第一测量数据。
第一显示部3307构成多个例如这里是5个表示第一测量数据的、 以时间轴为横轴的第一显示宽度的曲线图，并如图14所示那样显示在 监视器画面上。在图14中，曲线图331~335是第一测量数据的5个曲 线图。5个曲线图331~335是相同的曲线图。
接着，若用户操作鼠标等移动在显示器上显示的指针等，选择了 第一显示部3307所显示的曲线图331上的一部分的范围，则范围指定 接受部3308接受第一显示部3307所显示的过程相关数据中的一部分的 范围亦即显示对象范围的指定。若接受了对曲线图331的显示对象范围 的指定，则第一显示部3307将范围指定接受部3308已接受了显示对象 范围的曲线图331上的与该显示对象范围对应的期间的区域331a的背 景色改变为与其他区域不同的颜色并重新显示。而且，显示数据取得部 3309读出并暂时存储与该显示对象范围对应的显示期间内的第一测量 数据。第二显示部3310使用第二显示宽度的曲线图显示由显示数据取 得部3309读出的笫一测量数据。另外，在此，利用从显示对象信息中 读出的数据显示的曲线图最好以能够看出与接受了显示对象范围的指 定的曲线图之间的对应关系的方式显示、例如与其相邻地显示。另外， 接受显示对象范围的处理和显示第二显示宽度的曲线图的处理等与上述具体例子相同。
设，反复进行上述那样的处理，针对第一显示部3307显示的全部 的曲线图331~335，范围指定接受部3308分别接受显示对象范围的指 定，显示数据取得部3309分别取得对各个曲线图331~335指定的显示 对象范围内的数据，第二显示部3310显示了第二显示宽度的曲线图 331b~335b。在图15中表示此情况下的显示例。区域331a ~ 335a是表 示在各曲线图331~335中分别被指定的显示对象范围的区域。曲线图 331b ~曲线图335b分别是曲线图331 ~ 335内的区域331a ~ 335a表示 的范围内的数据的曲线图。
通过能够以此方式进行显示，易于对作为单一的时间序列数据的 一套过程相关数据中的不同区域的数据一起进行评价或比较。据此，能 够容易地识别单一的过程相关数据中的异常部分。
另外，在此时间点，显示数据取得部3309从对第一测量数据指定 的多个显示对象范围取得多串过程相关数据，并暂时存储在未图示的存 储介质等中。
接着，设，用户操作未图示的菜单画面等给出对从对第一测量数 据指定的多个显示对象范围取得的多串数据进行规定的分析的指示。在 此，设，规定的分析是Wayland测试。分析部3311从未图示的存储部 等中读出显示数据取得部3309根据多个显示指定范围从第一测量数据 中取得并储存的多串第一测量数据，并执行Wayland测试。并且，第 三显示部3312将Wayland测试的结果作成曲线图来显示。
图16是表示Wayland测试的结果的图。该图16是对图15所示 的显示例子追加显示表示Wayland测试结果的曲线图16的显示例。
这样，通过对从一套过程相关数据内的多个显示指定范围中取得 的多串数据进行Wayland测试，能够取得表示嵌入维数与平移误差估 计值之间的关系的数据。此外，在改变了显示指定范围的情况下，使用 从被改变的显示指定范围取得的过程相关数据再次进行分析，并随时更 新分析结果，由此能够实时地显示表示嵌入维数与平移误差估计值之间 的关系的数据。此外，通过将与一套过程相关数据的多个区域的数据有关的分析 结果与 一 套过程相关数据、或一套过程相关数据中的多个区域的数据并 列显示，从而，易于进行数据间的比较，能够容易地识别数据的异常等。
另外，关于与显示对象范围的改变同步地改变显示的处理等，与 上述实施方式1的具体例子相同，因此省略说明。
综上所述，根据本实施方式，取得与上述实施方式l相同的效果， 并且能够以第二显示宽度显示从一套过程相关数据的多个区域中取得 的数据，从而易于进行一套过程相关数据中的数据的比较等，能够有效 地进行异常的检测等。
此外，通过构成为能够显示关于从一套过程相关数据的多个区域 中取得的数据的分析结果，从而，能够根据分析结果与时间序列数据的 组合来检测异常。
另外，本实施方式的构成，也可以适用于上述实施方式2的构成， 在这种情况下也能取得与上述相同的效果。
(实施方式4)
本实施方式涉及的数据显示装置构成为，从过程相关数据之一中检 测特别点，接受表示检测出该特别点的期间的信息，作为表示显示对象 范围的信息。
图17是表示包括本实施方式涉及的数据显示装置的群管理系统 的构成的方框图。图中，与图2相同的符号表示相同或者相应的部分。
数据显示装置43包括指示接受部1301、请求信息发送部1302、 数据接收部1303、存储部1304、数据处理部1305、数据取得部1306、 第一显示部1307、范围指定接受部4308、显示数据取得部1309、第二 显示部1310、检测部4311和模式存储部4312。
数据显示装置43的范围指定接受部4308、检测部4311以及模式 存储部4312之外的构成与上述实施方式1的数据显示装置相同，因此 省略详细的说明。检测部4311从数据取得部1306所取得的过程相关数据之一中检 测特别点。所谓过程相关数据中的特别点是表现出与其他点不同的特性 的点。特别点例如是发生了异常的部分。成为特别点的检测对象的过程 相关数据通常是预先指定的数据，最好是容易检测出特别点的数据。检 测部4311可以以任意方式从一套过程相关数据中检测特别点。作为从 一套过程相关数据中检测特别点的算法，例如有如下的算法预先登记 用户通过手工搜索到的异常波形等，取得该登记的波形与过程相关数据 之间的相关性，将相关性高的部分判断为特别点。例如可以通过使用互 相关函数来检测出这种相关性高的部分。互相关函数是公知技术，因此 省略说明。另外，在过程相关数据是其值如果集中在一定范围内则可以 判断为正常那样的数据等情况下，也可以将过程相关数据的值与阈值进 行比较，在检测出阈值指定的范围之外的值时，判断为特别点。检测部 4311也可以从存储部1304中存储的一套过程相关数据中检测特别点， 还可以从数据取得部1306所取得的过程相关数据之一中检测特别点。 而且，检测部4311取得表示出现了特别点的期间的信息并输出给范围 指定接受部4308。出现了特别点的期间也可以是检测出特别点的期间， 还可以是还包含检测出特别点的时刻和期间的前后时期的规定的期间。 例如，在如上所述那样利用与波形模式之间的相关性检测特别点的情况 下，在过程相关数据内检测出具有与波形模式之间的相关性的部分时， 也可以接受表示检测出该特别点的期间的信息，作为表示出现了特别点 的期间的信息。此外，在检测出出现了特别点的时刻的情况下，还可以 接受表示在该被检测出的时刻(例如时间戳)的前后附加了固定或不固 定的规定的期间后的期间的信息，作为表示出现了特别点的期间的信 息。所谓表示期间的信息，只要能够表示期间，可以是表示期间的始点 和终点的时刻的信息，也可以是期间的始点或中间点的时刻与指定期间 长度的信息的组合。另外，在此，作为例子说明利用与预先登记的波形 之间的相关性来检测特别点的情况。另外，设，预先被登记的波形是后 述的模式存储部4312中存储的波形。通常能由MPU和存储器等来实现 检测部4311。检测部4311的处理过程通常用软件实现，该软件存储在 ROM等存储介质中。不过，也可以使用硬件(专用电路)来实现。
在模式存储部4312中，存储有检测部4311检测特别点时读出的 表示特别点的波形模式。波形模式也可以是多个。模式存储部4312可以是非易失性存储介质，也可以是易失性存储介质。
范围指定接受部4308接受检测部4311检测出的表示出现了特别 点的期间的信息，作为指定显示对象范围的信息。另外，除了接受检测 部4311输出的表示出现了特别点的期间的信息作为指定显示对象范围 的信息这一点之外，范围指定接受部4308与实施方式1的范围指定接 受部4308相同，因此省略说明。
接着，使用图18的流程图说明数据显示装置43的动作。另外， 在图11的流程图中，与图4相同的符号表示相同或者相应的处理步骤， 在此省略i兌明。
(步骤S1801)检测部4311读出模式存储部4312中存储的波形 模式的数据。
(步骤S1802 )检测部4311取得存储部3304中存储的过程相关 数据中的预先指定的一套过程相关数据。
(步骤S1803 )检测部4311求出步骤S1802中所取得的过程相关 数据与步骤S1801中所取得的波形数据之间的相关性。例如，能够使用 互相关函数等计算相关性。
(步骤S1804 )检测部4311判断在步骤S1803中是否检测出与波 形数据相关性高的数据。例如，判断步骤S1803中计算出的表示相关性 的值是否在阈值以上，如果在阈值以上则判断为相关性高。在检测出相 关性高的数据的情况下，进入步骤S1805，在未检测出的情况下，结束 处理。在检测出相关性高的数据的情况下，该被检测出的部分为特别点。
(步骤S1805 )检测部4311取得并输出表示出现了特别点的期间 的信息。所谓表示出现了特别点的期间的信息，只要是表示包含特别点 的期间的信息便可，可以是表示检测出特别点的时刻和期间的信息，也 可以是包含该时刻和期间的前后时期的期间。例如，可以是表示在步驟 S1804中进行了与波形数据之间的比较的期间的信息，也可以是在进行 该比较的期间之前或之后附加了规定的期间后的期间。检测部4311例 如取得表示过程相关数据中以被判断为与波形模式具有相关性的范围 为中心的预先指定的长度的期间的信息，作为表示出现了特别点的期间
38的信息。此外，也可以取得过程相关数据中被判断为与波形模式具有相 关性的范围的中心时刻，作为出现了特别点的时刻，并接受表示以该时 刻为中心的预先指定的长度的期间的信息，作为指定显示对象范围的信 息。
(步骤S1806)范围指定接受部4308接受检测部4311检测出的 表示出现了特别点的期间的信息，作为指定显示对象范围的信息。并且 进入步骤S405。
(步骤S1807 )第一显示部4307将步骤S1806中接受的表示显示 对象范围的信息与步骤S406中所显示的时间序列信息对应地进行显 示，例如重叠显示。并且进入步骤S409。
另外，在该流程图中，在步骤S411的处理之后，动作结束，但也 可以在步骤S411的处理之后，根据用户等的指示，对检测出特别点之 后的数据也进行步骤S1803以后的处理。据此，例如还能够检测在此之 后发生的异常。
以下，说明包括本实施方式中的数据显示装置的群管理系统的具 体动作。群管理系统的概念图与图l相同。
在此，设，数据接收部1303与上述实施方式1相同地接收第一以 及第二测量数据作为过程相关数据，并将接收到的数据储存到存储部 1304中。除此之外，数据接收部1303接收作为过程相关数据之一的第 三测量数据，并将其储存到存储部1304中。另外，设，第三测量数据 是与第 一 以及第二测量数据同时被测量的、其他系统的数据。
此外，设，数据处理部1305分别读出存储部1304中存储的第一 测量数据与第二测量数据，并进行小波变换，将小波变换得到的过程相 关数据储存到存储部1304中。
图19是表示模式存储部4312中存储的用于检测特别点的波形模 式的 一个例子的图。该波形模式是取得过去测量到的与上述第三测量数 据相同的测量数据中的检测出半导体制造过程等中的异常的时间点的 前后的规定期间、在此作为例子为5毫秒期间的数据，并用波形表示该 数据而得到的。此处，说明检测部4311进行如下处理的例子使用该波形模式，检测第三测量数据中被认为出现了异常的位置，作为特别点。
首先，检测部4311读出模式存储部4312中存储的波形模式。
接着，检测部4311从存储部1304中读出第三测量数据，并暂时 存储在存储器或緩冲器等中。
检测部4311取得存储器等中暂时存储的第三测量数据与从模式 存储部4312中读出的波形模式之间的相关性。相关性的计算方法是公 知技术，因此这里省略说明。
图20是表示第三测量数据的一个例子的曲线图。设，根据与从模 式存储部4312中读出的图19所示那样的波形模式之间的比较，由检测 部4311判断出区域20的位置的相关性较高。
当在第三测量数据内检测出与从模式存储部4312中读出的波形 模式之间的相关性高的部分时，根据第三测量数据的时间戳等取得表示 第三测量数据内存在被判断为相关性高的波形的期间的信息。并且，使 用所取得的表示期间的信息，取得以该期间为中心的规定的期间，在此 为60ms的期间的开始时刻与结束时刻的信息。并且，将取得的表示期 间的信息发送给范围指定接受部4308。例如，设，检测部4311取得的 开始时刻为"1秒270毫秒"，结束时刻为"1秒330亳秒"。
范围指定接受部4308接受检测部4311所取得的作为开始时刻的 信息的"1秒270毫秒"以及作为结束时刻的信息"1秒330毫秒"，作 为指定显示对象范围的信息。
接着，数据取得部1306与上述实施方式1的具体例子相同地从存 储部1304中读出第一测量数据与第二测量数据。并且，第一显示部1307 构成使数据取得部1306读出的第一测量数据与第二测量数据沿着时间 轴重叠的第一显示宽度的曲线图并进行输出。此时，在该曲线图中，利 用与其他区域不同的颜色显示显示数据取得部4308所取得的表示显示 对象范围的期间的背景色。
此外，显示数据取得部1309从存储部1304中存储的第一测量数 据、第二测量数据以及对这些进行小波变换而得到的数据的每个中，取得范围指定接受部4308所接受的表示显示对象范围的期间的信息所表 示的期间内的信息。即，从每个数据中，取得开始时刻为"1秒270毫 秒"，结束时刻为"1秒330亳秒"的期间的信息。并且，第二显示部 1310将显示数据取得部1309所取得的各数据作成单独的曲线图进行显 示。
图21是表示第一显示部1307以及第二显示部1310在监视器等上 显示的曲线图的显示例的图。曲线图21a是第一显示部1307显示的重 叠了第一测量数据与第二测量数据的数据，区域211表示与显示对象范 围对应的期间。此外，曲线图21b 21e是第二显示部1310显示的数据。 曲线图21b是第一测量数据的与显示对象范围对应的期间内的曲线图。 曲线图21c是对第一测量数据进行小波变换后的数据的与显示对象范围 对应的期间内的曲线图。曲线图21d是第二测量数据的与显示对象范围 对应的期间内的曲线图。曲线图21e是对第二测量数据进行小波变换后 的数据的与显示对象范围对应的期间内的曲线图。
以上述方式，在该具体例子中，能够从第三数据中自动检测出出 现了作为特别点的异常的期间，放大显示该检测出的期间内的第 一 以及 第二测量数据等。这样，用户不必查找出现了异常的位置并将该位置指 定为显示对象范围。因此，能够减轻用户的作业。此外，能够消除查找 出现了异常的位置时的用户疏忽造成的遗漏，能够提高分析数据时的可 靠性。
综上所述，根据本实施方式，能够取得与上述实施方式l相同的 效果，并且能够从过程相关数据之一中检测特别点，将表示出现了该特 别点的期间的信息作为显示对象范围使用，从而，自动取得表示显示对 象范围的信息。据此，用户无须进行指定显示对象范围的作业，能够减 少用户的劳动。此外，通过能够自动检测出认为适于以第二显示宽度显 示的特别点，能够消除人工检测特别点时的检测遗漏，能够提高分析数 据时的可靠性。
另外，本实施方式的构成也能适用上述实施方式2以及实施方式 3的构成，在这种情况下也能取得与上述相同的效果。
另外，在上述各实施方式中，各处理(各功能)可以由单一装置
41(系统)集中处理来实现，也可以由多个装置分散处理来实现。
此外，在上述各实施方式中，可以用专用的硬件构成各构成要素，也可以是可由软件实现的构成要素通过执行程序来实现。例如，通过由
CPU等程序执行部读出硬盘或半导体存储器等存储介质中存储的软件/
程序并执行，能够实现各构成要素。
另夕卜，实现上述各实施方式中的数据显示装置的软件是如下程序。
即，该程序是使计算机作为以下部件起作用的程序数据取得部，从能够存储多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据的存储部中取得一套以上的过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部取得的 一 套以上的过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受所述第一显示部所显示的所述过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述多套过程相关数据的每个中取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与所述显示对象范围对应的期间；以及第二显示部，
与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度进行显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套以上的过程相关数据对应地进行显示。
此外，该程序是使计算机作为以下部件起作用的程序数据取得部，从能够存储作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的一套过程相关数据的存储部中取得所述一套过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受关于所述第一显示部所显示的一套过程相关数据的多个范围亦即多个显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述一套过程相关数据中取得多个显示期间内的多串过程相关数据，该多个显示期间是与所述多个显示对象范围分别对应的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度进行显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的多个表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套过程相关数据对应地进行显示。
另外，在上述程序中，上述程序实现的功能中不包含只能用硬件实现的功能。例如，取得信息的取得部、输出信息的输出部等中的调制解调器、接口卡等只能用硬件实现的功能不包含在上述程序实现的功能中。
此外，该程序可以通过从服务器等下载来执行，也可以通过读出
规定的存储介质(例如，CD-ROM等光盘或磁盘、半导体存储器等)中存储的程序来执行。
此外，执行该程序的计算机可以是单个或多个。即，可以进行集中处理，也可以进行分散处理。
图22是表示执行上述程序，实现上述实施方式的数据显示装置的
计算机的外观的一个例子的示意图。通过计算机硬件和其上执行的计算机程序来实现上述实施方式。
在图22中，计算机系统100包括包含CD-ROM( Compact DiskRead Only Memory,紧凑只读磁盘存储器)驱动器105和FD ( FlexibleDisk,软盘)驱动器106的计算机101、键盘102、鼠标103和监视器104。
图23是表示计算机系统的图。在图23中，除了 CD-ROM驱动器105和FD驱动器106之外，计算机101还包括CPU (CentralProcessing Unit,中央处理单元)111、用于存储启动程序等程序的ROM(Read Only Memory,只读存储器)112、与CPU111连接的暂时存储应用程序命令并提供暂时存储空间的RAM ( Random Access Memory)113、存储应用程序、系统程序以及数据的硬盘114、和使CPUlll、ROM112等相互连接的总线115。另外，计算机101也可以包含提供与LAN的连接的未图示的网卡。
在计算机系统100中，可以将执行上述实施方式的数据显示装置的功能的程序存储在CD-ROM121或FD122中，插入CD-ROM驱动器105或FD驱动器106中，传输到硬盘114。也可以代替上述方式，将该程序经由未图示的网络发送给计算机101，存储到硬盘114。在执行时程序被载入RAM113中。另外，也可以从CD-ROM121、 FD122或者网络直接加载程序。
程序不一定包含使计算机101执行上述实施方式的数据显示装置的功能的操作系统(OS)或者第三方程序等。程序也可以只包含以受
控的方式调出适当功能(模块)并得到期望结果的命令部分。计算机系
统100的工作方式是〃>知的，省略详细的"^兌明。
此外，在上述各实施方式中，不用说， 一个装置中存在的两个以上通信单元(请求信息发送部、数据接收部等)在物理上可以通过一个介质实现。
本发明并不限定于以上实施方式，可进行各种变形，不用说，这些变形也包含在本发明的范围内。
产业上的可利用性
如上所述，本发明涉及的数据显示装置等适于作为显示多套与半导体过程的处理时状态有关的时间序列亦即过程相关数据的装置等，作为使用曲线图等并列显示多个过程相关数据的装置等是有效的。
权利要求
1.一种数据显示装置，其中，包括存储部，能够存储多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据；数据取得部，从所述存储部中取得一套以上的过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套以上的过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受所述第一显示部所显示的所述过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述多套过程相关数据的每个中取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与所述显示对象范围对应的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的所述显示期间内的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套以上的过程相关数据对应地显示。
2. —种数据显示装置，其中，包括存储部，能够存储作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数 据的一套过程相关数据；数据取得部，从所述存储部中取得所述一套过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套过程相关数据与时间轴 对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受关于所述第一显示部所显示的一套过程相关数 据的多个范围亦即多个显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述一套过程相关数据中取得多个显示期间内的 多串过程相关数据，该多个显示期间是与所述多个显示对象范围分别对应 的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的多串过程相关数据与时 间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的多个表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套过程相关数据对应地显示。
3. 根据权利要求2所述的数据显示装置，其中，所述第一显示部将数据取得部所取得的一套过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示多个；所述范围指定接受部接受关于所述第一显示部进行了多个显示的所述一套过程相关数据的每个的显示对象范围的指定；所述显示数据取得部从所述一套过程相关数据中取得与所述范围指定接受部已接受指定的多个显示对象范围对应的多串过程相关数据；所述第二显示部将所述显示数据取得部所取得的多串过程相关数据分别与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的多个表示显示对象范围的信息与分别已接受指定的所述第一显示部显示的多个所述一套过程相关数据分别对应地显示。
4. 根据权利要求3所述的数据显示装置，其中，还包括分析部，对所述显示数据取得部所取得的多串数据进行规定的分析；以及第三显示部，显示所述分析部的分析结果。
5. 根据权利要求l所述的数据显示装置，其中，还包括数据处理部，该数据处理部对所述显示数据取得部所取得的一串以上的过程相关数据进行规定的运算处理；所述第二显示部将所，显示数据取得部所取得，过程相关，据以应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示。
6. 根据权利要求l所述的数据显示装置，其中，所述范围指定接受部通过针对所述第 一显示部显示的过程相关数据的使用了指示设备的操作来接受所述显示对象范围的指定。
7. 根据权利要求l所述的数据显示装置，其中》所述第一显示部将表示所述显示对象范围的信息与该第一显示部显示的过程相关数据重叠显示；所述范围指定接受部根据针对所述第一显示部显示的表示显示对 象范围的信息的、使用了指示设备的移动以及宽度改变的操作，来接受 所述显示对象范围的指定。
8. 根据权利要求l所述的数据显示装置，其中，还包括检测部，该检测部从数据取得部所取得的过程相关数据之一 中检测特别点；所述范围指定接受部接受表示出现了所述检测部检测出的特别点 的期间的信息作为指定所述显示对象范围的信息。
9. 一种数据显示方法，利用能够存储多套作为与半导体过程的处 理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据的存储部、数据取得部、 第一显示部、范围指定接受部、显示数据取得部和第二显示部进行处理，其中，包括数据取得步骤，所述数据取得部从所述存储部中取得一套以上的过 程相关数据；第一显示步骤，第一显示部将所述数据取得步骤中所取得的一套以 上的过程相关数据与时间轴对应地以第 一显示宽度显示；范围指定接受步骤，范围指定接受部接受所述第一显示步骤中所显 示的所述过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得步骤，所述显示数据取得部从所述多套过程相关数据 的每个中取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与所述显示对 象范围对应的期间；以及第二显示步骤，所述第二显示部将所述显示数据取得步骤中所取得 的所述显示期间内的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示 对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，还包括以下步骤所述第一显示部将所述范围指定接受步骤中所接 受的表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套以上的 过程相关数据中的至少一个对应地显示。
10. —种数据显示方法，利用能够存储作为与半导体过程的处理时 状态有关的时间序列数据的 一套过程相关数据的存储部、数据取得部、 第一显示部、范围指定接受部、显示数据取得部和第二显示部进行处理， 其中，包括数据取得步骤，所述数据取得部从所述存储部中取得所述一套过程相关数据；第一显示步骤，第一显示部将所述数据取得步骤中所取得的一套过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受步骤，所述范围指定接受部接受关于所述第一显示步骤中所显示的一套过程相关数据的多个范围亦即多个显示对象范围的指定；显示数据取得步骤，所述显示数据取得部从所述一套过程相关数据中取得多个显示期间内的多串过程相关数据，该多个显示期间是与所述多个显示对象范围分别对应的期间；以及第二显示步骤，所述第二显示部将所述显示数据取得步骤中所取得的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，还包括以下步骤所述第一显示部将所述范围指定接受步骤中所接受的多个表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套过程相关数据对应地显示。
11. 一种程序，用于使计算机作为以下部件起作用数据取得部，从能够存储多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据的存储部中取得一套以上的过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套以上的过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受所述第一显示部所显示的所述过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述多套过程相关数据的每个中取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与所述显示对象范围对应的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的所述显示期间内的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的表示显示对象范围的信息 该第一显示部显示的所述一套以上的过程相关数据中的至少一个对应地显示。
12. —种程序，用于使计算机作为以下部件起作用数据取得部，从能够存储作为与半导体过程的处理时状态有关的时 间序列数据的 一套过程相关数据的存储部中取得所述一套过程相关数 据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套过程相关数据与时间轴 对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受关于所述第一显示部所显示的一套过程相关数 据的多个范風亦即多个显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述一套过程相关数据中取得多个显示期间内的 多串过程相关数据，该多个显示期间是与所述多个显示对象范围分别对应 的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的多串过程相关数据与时 间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的多个表示 显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套过程相关数据对 应地显示。
全文摘要
本发明要解决的技术问题是在以前的数据显示装置中无法适当地显示半导体过程中测量的数据等时间序列数据。包括第一显示部(1307)，将作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的多个过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部(1308)，接受所述第一显示部(1307)所显示的过程相关数据中的一部分的范围即显示对象范围的指定；以及第二显示部(1310)，从多个过程相关数据的每个中取得作为与显示对象范围对应的期间的显示期间内的过程相关数据，并与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；第一显示部(1307)将表示显示对象范围的信息与第一显示部(1307)显示的一套以上的过程相关数据对应地显示。
文档编号G06F3/048GK101681806SQ20088001701
公开日2010年3月24日 申请日期2008年5月23日 优先权日2007年5月29日
发明者川村和广 申请人:东京毅力科创株式会社