一种坐标转换方法及装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种坐标转换方法及装置，涉及划片机领域，解决映射关系不准确，影响图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度的问题，其中，所述坐标转换方法包括：以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。通过划片机工作台非单向移动来确定像素，解决了图像像素坐标与工作台坐标之间映射的问题，提高映射的精准度。
【专利说明】一种坐标转换方法及装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及划片机领域，特别是涉及一种坐标转换方法及装置。
【背景技术】
[0002]划片机的视觉识别系统是以计算机为主的实时图像处理系统，操作人员或电脑对显示在屏幕上的晶圆图像进行识别分析，然后进行相应操作，通过对图像的处理实现工作台对实际晶圆的准确操作，这要求通过图像中的某个点能准确定位到实际晶圆片的相应位置，即实现图像像素坐标系统与工作台坐标系统之间的精准映射，对机器精度的影响至关重要。现有技术中存在如下技术问题，映射关系不准确，影响到图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种坐标转换方法及装置，解决映射关系不准确，影响到图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本发明实施例提供的一种坐标转换方法，其中，包括:
[0005]以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；
[0006]根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；
[0007]根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。
[0008]其中，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量的步骤包括:
[0009]获得工作台以所述原点为起点，在X轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；
[0010]根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第
一工作台坐标差向量。
[0011]进一步地，根据所述工作台在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量的步骤具体为:
[0012]通过公式A1 = (Ax’，Ay’)= (x’fX’。，y’fy’。)获得所述工作台第一工作台坐标差向量；
[0013]其中，Id1为第一工作台坐标差向量；
[0014]Ax’为第一目标位置与原点的X轴方向的坐标差值；
[0015]Ay’为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；
[0016]X1'为第一目标位置的工作台的X轴方向的坐标，y/为第一目标位置的工作台的y轴方向的坐标；
[0017]x’ ^为工作台在原点X轴方向的坐标，y’ ^为工作台在原点y轴方向的坐标。
[0018]其中，装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量的步骤包括:
[0019]获得工作台以所述原点为起点，在X轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；
[0020]根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。
[0021]进一步地，根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量的步骤具体为:
[0022]通过公式叫=(Ax, Ay) = (x「xQ, y「yQ)获得所述第一图像坐标差向量；
[0023]其中，B1为第一图像坐标差向量；
[0024]Ax为第一目标位置与原点的X轴方向的坐标差值；
[0025]Ay为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；
[0026]X1为加工物的图像的坐标的X轴方向的坐标，Y1为加工物的图像的坐标的y轴方向的坐标；
[0027]X0为工作台在原点的X轴方向的坐标，y0为工作台在原点的y轴方向的坐标。
[0028]其中，以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量之后，还包括:
[0029]获取工作台坐标差向量集,包括所述第一工作台坐标差向量、第二工作台坐标差向量…第n工作台坐标差向量；以及
[0030]获取图像坐标差向量集,包括所述第一图像坐标差向量、第二图像坐标差向量…第n图像坐标差向量。
[0031]优选地，根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵获得坐标转换矩阵的步骤包括:
[0032]根据Y = X ? A获得坐标转换矩阵；
[0033]其中，
【权利要求】
1.一种坐标转换方法，其特征在于，包括: 以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量； 根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵； 根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。
2.根据权利要求1所述的坐标转换方法，其特征在于，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量的步骤包括: 获得工作台以所述原点为起点，在X轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标； 根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量。
3.根据权利要求2所述的坐标转换方法，其特征在于，根据所述工作台在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量的步骤具体为: 通过公式A1 = ( A x’，Ay’)= (x’「X’ o, y’「y’ 0)获得所述工作台第一工作台坐标差向量; 其中，h为第一工作台坐标差向量； Ax’为第一目标位置与原点的X轴方向的坐标差值； Ay'为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值； X1'为第一目标位置的工作台的X轴方向的坐标，y/为第一目标位置的工作台的y轴方向的坐标； x’ ^为工作台在原点X轴方向的坐标，y’ ^为工作台在原点y轴方向的坐标。
4.根据权利要求1所述的坐标转换方法，其特征在于，装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量的步骤包括: 获得工作台以所述原点为起点，在X轴方向上移动第一预定距离以及在I轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标； 根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。
5.根据权利要求4所述的坐标转换方法，其特征在于，根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量的步骤具体为: 通过公式A1= (Ax, Ay) = (X1-X0, Y1-Y0)获得所述第一图像坐标差向量； 其中，％为第一图像坐标差向量； Ax为第一目标位置与原点的X轴方向的坐标差值； Ay为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值； X1为加工物的图像的坐标的X轴方向的坐标，Y1为加工物的图像的坐标的y轴方向的坐标； X0为工作台在原点的X轴方向的坐标，Y0为工作台在原点的y轴方向的坐标。
6.根据权利要求1所述的坐标转换方法，其特征在于，以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量之后，还包括: 获取工作台坐标差向量集，包括所述第一工作台坐标差向量、第二工作台坐标差向量…第n工作台坐标差向量；以及 获取图像坐标差向量集，包括所述第一图像坐标差向量、第二图像坐标差向量…第n图像坐标差向量。
7.根据权利要求6所述的坐标转换方法，其特征在于，根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵的步骤包括: 根据Y = X ? A获得坐标转换矩阵；
8.—种坐标转换装置，应用于划片机，其特征在于，所述坐标转换装置包括: 运动控制模块，用于以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量； 第一处理模块，用于根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵； 第二处理模块，用于根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。
9.根据权利要求8所述的坐标转换装置，其特征在于，所述运动控制模块包括: 运动控制单元，用于获得工作台以所述原点为起点，在X轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标； 第一获取单元，用于根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量。
10.根据权利要求8所述的坐标转换装置，其特征在于，所述运动控制模块还包括:第二获取单元，用于根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。
【文档编号】G06T3/00GK103646377SQ201310703158
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年12月19日 优先权日:2013年12月19日
【发明者】刘晓斌, 孟繁滨, 刘婷婷 申请人:北京中电科电子装备有限公司