触摸输入传感器的制造方法以及感光性导电膜与流程

本发明涉及触摸输入传感器的制造方法以及可用于该制造方法的感光性导电膜。

背景技术：

作为例如多功能手机(智能手机)、便携式游戏机等电子设备所包括的输入器件，采用有触摸面板等触摸输入传感器。例如在特开2013-156655号公报(专利文献1)中所公开的，触摸输入传感器包括透明基板〔基板20〕、以及X坐标检测用和Y坐标检测用的透明电极〔透明电极103、104〕。专利文献1的触摸输入传感器经以下步骤而制造得到：即、在基板上层叠感光性树脂层和导电膜，对该层叠体进行图案曝光之后，在氧的存在下对未固化部分进行曝光，之后进行显影，从而形成由导电图案构成的透明电极。

在专利文献1的制造方法中，经过上述的“层叠→图案曝光→氧存在下的曝光→显影”各工序而形成X坐标检测用的透明电极，之后，经过同样的工序，形成Y坐标检测用的透明电极(参照专利文献1的0125段)。但是，在这样的制造方法中存在缺乏实用性的问题，比如共需要进行四次曝光工序，增加工序数量，并且，在进行图案曝光后需要去除基材膜，所以对装置的限制较多等。并且，有时不易进行X坐标检测用的透明电极与Y坐标检测用的透明电极的对位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2013-156655号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

寻求一种能够简单地进行制造、且能够容易地进行一对透明电极彼此的对位的触摸输入传感器的制造方法。并且，寻求一种适合这样的制造方法的感光性导电膜。

用于解决技术问题的方案

根据本公开的触摸输入传感器的制造方法，包括：层叠工序，在透明基板的两面分别从所述透明基板一侧起依次层叠中间树脂层和透明导电膜，所述中间树脂层包含感光性树脂和紫外线吸收剂；图案曝光工序，以分别覆盖两面侧的所述中间树脂层和所述透明导电膜的方式配置掩模，并利用紫外线从两面侧进行图案曝光；以及透明电极形成工序，进行显影，从而在所述透明基板的两面形成由所述透明导电膜构成的透明电极。

根据本公开的感光性导电膜包括：基材膜；透明导电膜，配置于所述基材膜上；以及带抗紫外线功能的感光层，配置于所述透明导电膜上，并包含感光性树脂和紫外线吸收剂。

根据本公开的技术的其它特征及优点通过下面的说明将变得更为明确。

附图说明

图1是根据实施方式的触摸输入传感器的平面图。

图2是图1的II-II截面图。

图3是示出感光性导电膜的截面图。

图4是示出被覆工序的示意图。

图5是示出图案曝光工序的示意图。

图6是示出结束图案曝光工序时的状态的示意图。

图7是示出显影工序的示意图。

图8是图7中的局部放大图。

图9是示出整面曝光工序的示意图。

图10是示出结束整面曝光工序时的状态的示意图。

图11是示出感光性导电膜以及触摸输入传感器的其它方式的截面图。

图12是示出感光性导电膜的其它方式的截面图。

图13是示出感光性导电膜的其它方式的截面图。

具体实施方式

下面，对本发明的实施方式进行说明。但是，本发明的范围并不限定于下面记载的实施方式。并且，在下面的说明中，作用机制的说明中包含一部分推测，本发明的范围不因该推测的正确与否而受限定。

需要注意的是，在下面的说明所参照的附图中，出于简化图示、便于理解等方面，示出的缩尺、上下左右的尺寸比例等有时会与实际的产品有所不同。对于预定存在多个的各部件，在下面的说明中提及并在对应的附图中示出的具体数量只是一种单纯的示例，当然还可以是除此之外的数量。

根据本实施方式的触摸输入传感器1是包括在例如多功能手机(智能手机)、便携式游戏机等电子设备中并起到输入器件的功能的触摸面板等。在这些电子设备中，触摸输入传感器1与由例如液晶显示面板、有机EL(electroluminescence：电致发光)显示面板等构成的显示装置重叠使用。下面，详细说明根据本实施方式的触摸输入传感器1的制造方法。

如图1及图2所示，触摸输入传感器1包括透明基板10、承载层12、22、透明电极14、24以及走线16、26。第一承载层12、第一透明电极14以及第一走线16设于透明基板10的一面(第一面10a)侧，第二承载层22、第二透明电极24以及第二走线26设于透明基板10的另一面(第二面10b)侧。在透明基板10的第一面10a侧，从透明基板10一侧起依次层叠有第一承载层12以及第一透明电极14，在透明基板10的第二面10b侧，从透明基板10一侧起依次层叠有第二承载层22以及第二透明电极24。本实施方式的触摸输入传感器1在一张透明基板10的两面具有透明电极14、24，从而可以实现传感器整体的薄型化。

透明基板10是用于设置第一透明电极14以及第二透明电极24的作为基底的部件。优选地，透明基板10采用除了具有出色的透明性之外还具有出色的柔软性以及绝缘性等的材料构成。透明基板10例如可由聚对苯二甲酸乙二醇酯、丙烯酸类树脂等通用树脂；聚缩醛类树脂、聚碳酸酯类树脂等通用工程树脂；聚砜类树脂、聚苯硫醚类树脂等超级工程树脂等构成。在本实施方式中，透明基板10由聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成。需要说明的是，透明基板10还可以由玻璃基板等构成。透明基板10的厚度可以是例如25μm～100μm。

第一承载层12配置在透明基板10的第一面10a。在第一承载层12上配置有多个(本例中为五个)第一透明电极14。即、在透明基板10的第一面10a上隔着第一承载层12设有多个第一透明电极14。如图1所示，将沿X轴方向排列配置的多个(本例中为五个)菱形电极在X轴方向上相互连接而分别形成多个第一透明电极14。各个第一透明电极14整体上形成为沿X轴方向延伸。多个第一透明电极14以沿Y轴方向排列的方式配置成相互平行。

第二承载层22配置在透明基板10的第二面10b。在第二承载层22上配置有多个(本例中为四个)第二透明电极24。即、在透明基板10的第二面10b上隔着第二承载层22设有多个第二透明电极24。如图1所示，将沿与X轴方向交叉(本例中为正交)的Y轴方向排列配置的多个(本例中为六个)菱形电极在Y轴方向上相互连接而分别形成多个第二透明电极24。各个第二透明电极24整体上形成为沿Y轴方向延伸。多个第二透明电极24以沿X轴方向排列的方式配置成相互平行。

构成第一透明电极14的多个菱形电极和构成第二透明电极24的多个菱形电极在俯视观察时(在与触摸输入传感器1的延伸面正交的方向观察时的状态)配置为相辅相成的位置关系。换言之，在未配置构成第一透明电极14的菱形电极的区域配置有构成第二透明电极24的菱形电极，在未配置构成第二透明电极24的菱形电极的区域配置有构成第一透明电极14的菱形电极。另外，多个第一透明电极14和多个第二透明电极24配置为它们全体覆盖显示装置的显示区域的大致整个面。

优选地，第一承载层12以及第二承载层22采用具有出色的透明性以及电绝缘性的树脂材料构成。并且，优选地，第一承载层12以及第二承载层22采用具有适当的硬度以及机械强度的树脂材料构成。在本实施方式中，承载层12、22以后述的感光性树脂(光固化性树脂)为主体而构成。

第一透明电极14以及第二透明电极24采用除了具有出色的透明性之外还具有出色的导电性的材料构成。透明电极14、24例如通过由氧化锡、氧化铟、氧化锌及ITO(Indium Tin Oxide：铟锡氧化物)等金属氧化物、金、银、铜、镍及它们的合金等形成的金属纳米线、碳纳米管、石墨烯、金属网、导电性聚合物等而构成。透明电极14、24是采用这些材料构成的透明导电层。在本实施方式中，透明电极14、24由银纳米线构成。

第一透明电极14与第二透明电极24的静电电容随着被检测物(用户的手指、定位笔等导体)的接近/离开而发生变化。需要说明的是，“静电电容”是包括自电容(self capacitance)和互电容(mutual capacitance)双方的概念。换言之，随着被检测物的接近/离开，第一透明电极14的自电容或者与第二透明电极24之间的互电容发生变化，随着被检测物的接近/离开，第二透明电极24的自电容或者与第一透明电极14之间的互电容发生变化。

第一透明电极14各自与第一走线16连接。第二透明电极24各自与第二走线26连接。走线16、26由金、银、铜以及镍等金属、或者碳等导电浆料构成。在走线16、26的与透明电极14、24相反一侧的端部设有连接端子28。透明电极14、24经由走线16、26以及连接端子28而连接于控制部(未图示)。通过控制部检测随透明电极14、24中产生的静电电容的变化而流动的电流，从而能够检测用户的触摸操作以及触摸位置。

触摸输入传感器1的制造方法包括准备工序、被覆工序、图案曝光工序、显影工序以及整面曝光工序。并且，在本实施方式中，还包括失活处理工序以及配线形成工序。准备工序、被覆工序、图案曝光工序、显影工序、失活处理工序、整面曝光工序以及配线形成工序按照该记载顺序而执行。

准备工序是准备在本实施方式的制造方法中使用的中间材料的工序。在准备工序中，准备透明基板10以及作为承载层12、22和透明电极14、24的基础的感光性导电膜3。透明基板10例如以在其两面分别贴附有保护膜的状态而提供(未图示)。优选地，透明基板10例如采用在450nm～650nm的波长范围内的最小透光率在80％以上(优选地，在85％以上)的基板。这样，能够容易实现触摸面板显示器等的高亮度化。

如图3所示，感光性导电膜3构成为基材膜31、透明导电膜32与中间树脂层33的层叠体。感光性导电膜3包括基材膜31、配置在基材膜31上的透明导电膜32以及配置在透明导电膜32上的中间树脂层33。并且，在本实施方式中，在中间树脂层33上配置有隔离片39。

基材膜31可采用聚合物膜构成。基材膜31采用具有出色的耐热性以及耐溶剂性的材料构成。基材膜31例如可以由聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚碳酸酯膜等构成。在本实施方式中，基材膜31由聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成。基材膜31的厚度例如可以是5μm～300μm。

透明导电膜32是作为第一透明电极14以及第二透明电极24的基础的层。透明导电膜32例如可以是通过由氧化锡、氧化铟、氧化锌及ITO等金属氧化物、金、银、铜、镍及它们的合金等形成的金属纳米线、碳纳米管、石墨烯、金属网、导电性聚合物等而构成的透明导电层。在本实施方式中，采用了银纳米线的薄膜层作为透明导电膜32。银纳米线是具有纳米单位(例如几nm～几百nm)的外径的细小的银线。银纳米线非常细，用人眼无法识别，所以银纳米线的薄膜层具有出色的透明性。透明导电膜32也可以构成为具有呈平面分布的银纳米线彼此接触而成的网眼结构。这样，尽可能抑制透明导电膜32的厚度的同时，还能够使面方向的导电性为各向同性。并且，也能够正好应对具有可挠性的触摸输入传感器1的制造。例如可通过真空蒸镀法、溅射法、离子电镀法、CVD法以及辊式涂布法等，在基材膜31的整面上形成透明导电膜32。透明导电膜32的厚度例如可以是5nm～5000nm。

中间树脂层33是作为第一承载层12以及第二承载层22的基础的层。在本实施方式中，中间树脂层33构成为包含感光性树脂和紫外线吸收剂的树脂层。

感光性树脂只要具有因活性光线(具体地，紫外线)而产生化学变化或者结构变化的性质，可以采用负型和正型中的任一类型。在本实施方式中，采用负型的感光性树脂。构成负型的感光性树脂的感光性树脂组合物例如含有粘合剂树脂、具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物以及光聚合引发剂。

作为粘合剂树脂，例如可以使用丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、环氧树脂、酰胺树脂、酰胺环氧树脂、醇酸树脂、酚醛树脂、酯树脂、聚氨酯树脂、通过环氧树脂和(甲基)丙烯酸反应而得到的环氧丙烯酸酯树脂、通过环氧丙烯酸酯树脂和酸酐反应而得到的酸改性环氧丙烯酸酯树脂等。既可以分别单独地使用这些树脂，也可以组合使用它们中的两种以上。

作为具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物，例如可以使用将α，β-不饱和羧酸与多元醇反应而得到的化合物、将α，β-不饱和羧酸与含缩水甘油基化合物反应而得到的化合物、具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨酯单体、邻苯二甲酸类化合物、(甲基)丙烯酸乙酯等。既可以分别单独地使用这些化合物，也可以组合使用它们中的两种以上。

作为光聚合引发剂，例如可以使用芳族酮、安息香醚化合物、安息香化合物、肟酯化合物、苄基衍生物、2,4,5-三苯基咪唑二聚体(トリアリールイミダゾール二量体)、吖啶衍生物、N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素类化合物、恶唑类化合物等自由基聚合引发剂等。既可以分别单独地使用这些引发剂，也可以组合使用它们中的两种以上。

感光性树脂组合物也可以根据需要而进一步含有各种添加剂。作为添加剂，可举例示出塑化剂、填充剂、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、密合性赋予剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、显像剂、热交联剂等。既可以分别单独地含有这些添加剂，也可以组合含有它们中的两种以上。

关于紫外线吸收剂，如果是吸收作为活性光线的紫外线并能量转换为热、红外线等而释放的话，所有的化合物均可以使用。从透明性的角度来看，优选有机类紫外线吸收剂。作为这样的紫外线吸收剂，例如可以使用苯并三唑类紫外线吸收剂、二苯基甲酮类紫外线吸收剂、苯甲酸盐类紫外线吸收剂、水杨酸类紫外线吸收剂、三嗪类紫外线吸收剂以及氰基丙烯酸酯类紫外线吸收剂。既可以分别单独地使用这些吸收剂，也可以组合使用它们中的两种以上。并且，还可以使用在一个分子中组合包含它们中的两种以上的基本结构的物质。

对于紫外线吸收剂的添加量并不特别限定，以重量基准计，相对于中间树脂层33全体，例如可以为1％以上10％以下。当紫外线吸收剂的添加量低于1％时，有可能无法发挥充分的抗紫外线功能。相反，当紫外线吸收剂的添加量超过10％时，有时会降低触摸输入传感器1的透明性。更优选的紫外线吸收剂的添加量例如在3％以上7％以下。

在中间树脂层33中，感光性树脂和紫外线吸收剂既可以以分离状态存在，也可以以混合状态存在。本实施方式中，在中间树脂层33中，紫外线吸收剂分散保持于由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层34中。换言之，在本实施方式中，由含有粘合剂树脂、具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、光聚合引发剂以及紫外线吸收剂的具抗紫外线功能的感光性树脂组合物来构成中间树脂层33。在本实施方式中，紫外线吸收剂在感光性树脂层34中大致均匀地分散。在本实施方式中，中间树脂层33相当于“带抗紫外线功能的感光层”。

例如通过将溶解于溶剂中的上述树脂组合物的溶液涂布在形成于基材膜31上的透明导电膜32上之后进行干燥而能形成中间树脂层33。作为溶剂，例如可以使用甲醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、甲苯、N,N-二甲基甲酰胺、丙二醇单甲醚等。既可以分别单独地使用这些溶剂，也可以是它们中的两种以上的混合溶剂。并且，涂布例如可以采用辊涂法、逗号式涂布法(comma coating)、凹版涂布法、气刀涂布法、狭缝涂布法、棒涂法、喷涂法等公知的方法来进行。干燥例如可以采用热风对流式干燥机等来进行。中间树脂层33的厚度可以设为在干燥后达到例如1μm～200μm。

隔离片39是为了容易处理感光性导电膜3而设置的。隔离片39可以采用与上述的基材膜31相同的材料(例如聚对苯二甲酸乙二醇酯等)来构成。

以基材膜31、透明导电膜32和中间树脂层33的层叠体为主体而构成的感光性导电膜3还被称为干膜抗蚀剂(Dry Film Resist：DFR)。作为感光性导电膜3，优选使用例如在450nm～650nm的波长范围内的最小透光率在80％以上(优选地，在85％以上)的物质。这样，容易实现触摸面板显示器等中的高亮度化。在本实施方式中，针对一张透明基板10准备两张这样的感光性导电膜3。

被覆(被着)工序是被覆在准备工序中准备的一张透明基板10和两张感光性导电膜3的工序。在被覆工序中，剥离两面侧的保护膜而露出透明基板10的第一面10a及第二面10b。并且，分别从两张感光性导电膜3剥离隔离片39而露出中间树脂层33。之后，如图4所示，从露出的中间树脂层33一侧分别将两张感光性导电膜3被覆于透明基板10的露出面。这时，例如边加热至80℃～120℃的温度，边进行压接(热层压)，从而将两张感光性导电膜3被覆于透明基板10的两面。由此，在透明基板10的两面，分别从透明基板10侧起依次层叠有包含感光性树脂和紫外线吸收剂的中间树脂层33、透明导电膜32以及基材膜31。需要说明的是，也可以剥离层叠方向两端的两张基材膜31。

图案曝光工序是对被覆工序后的层叠体进行第一次曝光的工序。如图5所示，在图案曝光工序中，以分别覆盖两面侧的中间树脂层33以及透明导电膜32的方式配置掩模41、42，以从两面侧进行图案曝光。即、在第一面10a侧的基材膜31的外侧配置第一掩模(第一光掩模)41，并在第二面10b侧的基材膜31的外侧配置第二掩模(第二光掩模)42，在该状态下，从两面侧进行曝光。第一掩模41具有与第一透明电极14的俯视观察时的整体形状(参照图1)对应的第一透明电极形成图案。第二掩模42具有与第二透明电极24的俯视观察时的整体形状对应的第二透明电极形成图案。在如本实施方式这样包含在中间树脂层33中的感光性树脂层34为负型时，第一透明电极形成图案以及第二透明电极形成图案是形成在对应的掩模41、42上的窗部(透光部)。

利用设于曝光装置的掩模对准机构(包括位置传感器以及位置调整机构)可以容易且高精度地进行第一掩模41和第二掩模42的对位。具体地，例如分别预先在第一掩模41以及第二掩模42上形成对准标记，例如通过摄像头等位置传感器检测两个掩模41、42的对准标记彼此的相对位置而得到相对位置信息。然后，基于得到的相对位置信息，位置调整机构使两个掩模41、42相对移动，以使成对的对准标记彼此的中心对准并重叠，以此来进行第一掩模41与第二掩模42的对位即可。

对被覆工序后的层叠体定位及固定第一掩模41以及第二掩模42之后，从两面侧照射作为活性光线的紫外线L。紫外线L可用紫外线照射灯进行照射。既可以向两面同时地照射紫外线L，也可以一个面一个面地依次进行照射。在本实施方式中，为了缩短循环时间，对两面同时进行曝光。在考虑到保持于感光性树脂层34中的紫外线吸收剂带来的影响等的基础上，可根据感光性树脂层34的感光特性来适当地设定紫外线L的曝光强度及曝光时间。在本实施方式中，由于不剥离基材膜31而保持配置于透明导电膜32的表面的状态下进行曝光，因此，可以在空气中进行图案曝光工序。在已剥离了基材膜31的情况下，在无氧存在下(例如在不活泼气体存在下或真空中)进行图案曝光工序即可。

在图案曝光工序中，在透明基板10的第一面10a侧，通过第一掩模41将紫外线L照射为图像状，从而按与第一透明电极14的俯视时形状相应的图案对中间树脂层33(感光性树脂层34)进行曝光。由此，使感光性树脂层34中曝光于紫外线L的部分对应于第一透明电极14的俯视时形状而固化，并使除此之外的部分维持在未固化状态(参照图6)。需要说明的是，在图6～图10中用彼此不同的影线示出感光性树脂层34中的已固化的部分(固化部分34C)和未固化的部分(未固化部分34U)。这时，在本实施方式中，由于中间树脂层33包含感光性树脂和紫外线吸收剂，所以从第一面10a侧照射的紫外线L使第一面10a侧的感光性树脂层34固化，而另一方面又被紫外线吸收剂吸收，从而几乎不会透过至透明基板10的第二面10b侧。因此，设于第二面10b侧的中间树脂层33几乎不会因从第一面10a侧照射的紫外线L的作用而固化。

另外，在透明基板10的第二面10b侧，通过第二掩模42将紫外线L照射为图像状，从而按与第二透明电极24的俯视时形状相应的图案对中间树脂层33(感光性树脂层34)进行曝光。由此，使感光性树脂层34中曝光于紫外线L的部分对应于第二透明电极24的俯视时形状而固化，并使除此之外的部分维持在未固化状态。这时，从第二面10b侧照射的紫外线L使第二面10b侧的感光性树脂层34固化，而另一方面又被紫外线吸收剂吸收，从而几乎不会透过至透明基板10的第一面10a侧。因此，设于第一面10a侧的中间树脂层33几乎不会因从第二面10b侧照射的紫外线L的作用而固化。

这样，能够抑制第一透明电极14的图案形成和第二透明电极24的图案形成相互影响。因此，能够在两面同时进行曝光的同时抑制曝光干扰，能够同时且恰当地进行第一透明电极14的图案形成和第二透明电极24的图案形成。经图案化处理后的第一透明电极14和经图案化处理后的第二透明电极24的位置精度也随着第一掩模41与第二掩模42的定位精度而成为高精度。需要说明的是，在图案曝光工序中，感光性树脂层34被固化至在透明基板10上能够隔着该感光性树脂层34承载透明导电膜32的程度即可，即使不完全固化也可。为此，即使在构成中间树脂层33的感光性树脂层34中分散保持有紫外线吸收剂，由于能够得到必要的硬度，所以也不成问题。

显影工序是对图案曝光工序后的层叠体进行显影处理的工序。如图7所示，在显影工序中，对中间树脂层33(感光性树脂层34)进行显影，从而在透明基板10的两面分别形成由经图案化处理后的透明导电膜32构成的第一透明电极14和第二透明电极24(也参照图10)。可以在剥离了两侧的基材膜31的状态下例如通过用到了显影液的湿法显影来进行显影工序。具体地，首先，准备符合感光性树脂层34的化学性质的显影液。例如在进行碱性显影时，作为显影液，可以使用碳酸钠溶液、氢氧化钾溶液、碱性乙氨基乙醇、四甲基氢氧化铵、二乙醇胺等。并且，例如在进行有机显影时，作为显影液，可以使用N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙酰基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺等极性溶剂。这些极性溶剂既可以单独使用，也可以与水、甲醇、乙醇等其它溶剂组合使用。并且，也可以通过例如喷雾法、浸渍法、浆板法(paddle method)等进行显影。

在显影工序中，至少局部地去除在图案曝光工序结束后也仍然保持未固化状态而残留的感光性树脂层34的未固化部分34U。在本实施方式中，去除感光性树脂层34的未固化部分34U中的至少表层部分(透明导电膜32侧的部分)。在此，本发明的发明人们研究发现，有可能未完全去除感光性树脂层34的未固化部分34U中的深层部分(透明基板10侧的部分)。在本实施方式中，由于在构成中间树脂层33的感光性树脂层34中分散保持有紫外线吸收剂，所以在图案曝光工序中，因分散保持的紫外线吸收剂的影响，与表层侧相比，深层侧中的感光性树脂层34的固化容易变得不充分。尤其是在感光性树脂层34中的曝光区域的边缘部，因完全没有从被掩模41、42的遮光部覆盖的区域侧的重复曝光，所以与曝光区域的中央部相比，深层侧的固化易于变得不充分。其结果，例如图8中夸张示出地，感光性树脂层34的固化部分34C容易形成为倒锥台状，感光性树脂层34的固化部分34C与未固化部分34U的关系容易变成底切(undercut)形。为此，在显影工序中，不易去除感光性树脂层34的未固化部分34U中的深层部分，有可能残留。

为了在后续工序中完全固化如上述这样有时会残留的未固化部分34U，本实施方式的制造方法追加包括失活处理工序。失活处理工序是使包含在中间树脂层33中的紫外线吸收剂失活的工序。在本实施方式中，通过加热处理来执行失活处理工序。在失活处理工序中，将显影工序后的层叠体整体加热至比热层压温度更高的温度。例如，加热至紫外线吸收剂的热分解开始温度(例如250℃～350℃)以上，从而使包含在中间树脂层33中的(在本实施方式中是分散保持在感光性树脂层34中的)紫外线吸收剂热失活。这样，使紫外线吸收剂的抗紫外线功能钝化。

整面曝光工序是对失活处理工序后的层叠体进行第二次曝光(后曝光)的工序。如图9所示，在整面曝光工序中，不使用掩模地对两面侧的中间树脂层33的整面照射紫外线L。由于在失活处理工序中已经使紫外线吸收剂的抗紫外线功能钝化，所以在整面曝光工序中，既可以从两面侧照射紫外线L，也可以仅从单面侧照射紫外线L。在本实施方式中，为了提高均匀性以及缩短循环时间，对两面同时进行曝光。通过该整面曝光工序，包括在显影工序中有时会残留的未固化部分34U在内地使整个感光性树脂层34完全固化。固化的感光性树脂层34成为承载层12、22(参照图10)。在还考虑到最终产品中对承载层12、22要求的硬度等的基础上，可根据感光性树脂层34的感光特性适当设定紫外线L的曝光强度以及曝光时间。

在本实施方式的制造方法中，积极利用在显影工序中有时会残留的未固化部分34U(包括紫外线吸收剂)，经失活处理工序而使得该部分可全面固化，从而在之后的整面曝光工序中将透明电极14、24与非电极部分之间的高低差异抑制为较小。因此，通过简单的方法即可抑制显现第一透明电极14以及第二透明电极24的图案。从而，能够将隔着触摸输入传感器1的显示装置的目视确认性维持在良好水平。并且，当在触摸输入传感器1中设有保护层等其它功能层时，能够抑制在贴合触摸输入传感器1与功能层时混入气泡(产生气泡滞留)。

配线形成工序是形成分别从透明电极14、24延伸出的走线16、26的工序。在配线形成工序中，使用例如金、银、铜以及镍等金属或者碳等导电浆料，通过印刷法形成走线16、26。作为印刷法，可以采用例如丝网印刷法、喷墨印刷法等。采用丝网印刷法时，在涂布导电浆料后，通过激光照射等进行图案形成即可。采用喷墨印刷法时，由于可以进行高位置精度的印刷，所以能够直接形成走线16、26。在配线形成工序中，还可以进一步形成覆盖所形成的走线16、26进行保护的配线保护层。

〔其它实施方式〕

对触摸输入传感器的制造方法以及感光性导电膜的其它实施方式进行说明。需要注意的是，在不冲突的情况下，下面的各个实施方式中公开的构成也可以与其它实施方式中公开的构成组合使用。

(1)上述实施方式中以感光性树脂和紫外线吸收剂在混合状态下存在于中间树脂层33中的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如，如图11所示，感光性树脂和紫外线吸收剂也可以在分离状态下存在于中间树脂层33中。图示的例子中，在中间树脂层33中，感光性树脂层34和紫外线吸收剂层37以感光性树脂层34位于透明导电膜32侧的状态层叠。即使使用这样构成的感光性导电膜3，通过两面同时曝光，也可以同时且恰当地进行第一透明电极14的图案形成和第二透明电极24的图案形成。需要说明的是，如图11的例子所示这样，紫外线吸收剂层37也可以是非感光性紫外线吸收剂层36。非感光性紫外线吸收剂层36以紫外线吸收剂分散于非感光性树脂层中的状态而构成。作为非感光性树脂，例如可以例示热塑性树脂以及压敏粘合剂(Pressure Sensitive Adhesive：PSA)等。如果考虑到处理方便性，感光性导电膜3需要具有一定的厚度，所以通过以分离状态具有紫外线吸收剂层37，从而能够使感光性树脂层34的厚度变薄相当于紫外线吸收剂层37的厚度的量。其结果，能够缩小经图案化处理后的透明电极14、24的高低差异。需要说明的是，作为非感光性紫外线吸收剂层36，如果使用在热塑性树脂层中分散有紫外线吸收剂的层，则具有在进行被覆工序中的热层压时容易使紫外线吸收剂层37粘接于透明基板10的优点。

作为热塑性树脂层，例如可以使用乙烯-醋酸乙烯共聚物类树脂、聚酰胺类树脂、聚氨酯类树脂、聚酯类树脂、烯烃类树脂以及丙烯酸类树脂。既可以分别单独地使用这些树脂，也可以组合它们中的两种以上进行使用。作为压敏粘合剂，例如可以使用丙烯酸类粘合剂、橡胶类粘合剂、乙烯基烷基醚类粘合剂、有机硅类粘合剂、聚酯类粘合剂、聚酰胺类粘合剂、聚氨酯类粘合剂、氟类粘合剂、环氧类粘合剂以及聚醚类粘合剂等。既可以分别单独地使用这些粘合剂，也可以组合它们中的两种以上进行使用。

(2)或者，在上述(1)的例子中，例如图12所示，中间树脂层33除了紫外线吸收剂层37之外还可以包括非感光性树脂层38，该非感光性树脂层38相对于感光性树脂层34层叠于与透明导电膜32相反的一侧。这时，如果考虑透明基板10与非感光性树脂层38的粘接性，优选地，按照感光性树脂层34、紫外线吸收剂层37和非感光性树脂层38的顺序进行层叠。优选地，非感光性树脂层38是例如具有随着加热到玻璃化转变温度或者熔点以上而软化、且随着冷却到低于玻璃化转变温度或者低于熔点而固化的特性的树脂层(热塑性树脂层)。这时，具有在进行被覆工序中的热层压时容易使非感光性树脂层38粘接于透明基板10的优点。并且，如果考虑处理方便性，感光性导电膜3需要具有一定的厚度，所以通过以分离状态具有紫外线吸收剂层37以及非感光性树脂层38，从而能够使感光性树脂层34的厚度变薄相当于紫外线吸收剂层37以及非感光性树脂层38的厚度的量。其结果，能够缩小经图案化处理后的透明电极14、24的高低差异。并且，非感光性树脂层38也可以是由例如具有加压时固化而发挥附着力的特性的压敏粘接剂构成的层。这时，也能够确保与透明基板10的粘接性，并能通过感光性树脂层34的薄层化而缩小经图案化处理后的透明电极14、24的高低差异。

(3)上述实施方式中以在中间树脂层33中，紫外线吸收剂大致均匀地分散保持于感光性树脂层34中的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如图13所示，在中间树脂层33中，紫外线吸收剂(图中作为小点示意性示出)也可以以具有浓度梯度的状态分散保持于感光性树脂层34中。如图示的例子所示，在感光性导电膜3中，紫外线吸收剂以随着从透明导电膜32侧往隔离片39一侧(被覆工序后的透明基板10侧)而浓度变高的状态分散保持。

(4)上述实施方式中说明了采用包含负型感光性树脂的感光性导电膜3的例子。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如，也可以采用包含正型感光性树脂的感光性导电膜3。这时，第一掩模41以及第二掩模42形成为具有与正型的感光特性相应的电极形成图案。

(5)上述实施方式中以为了在透明基板10的两面分别层叠中间树脂层33和透明导电膜32而使用两张感光性导电膜3进行被覆的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如，也可以在透明基板10的两面分别以液相层叠透明导电膜32的构成材料以及中间树脂层33的构成材料。

(6)上述实施方式中也可以使用具有紫外线吸收功能的透明基板10。这样，与包含在中间树脂层33中的紫外线吸收剂协作，能够更可靠地抑制曝光干扰。作为带抗紫外线功能的透明基板10，可以使用在构成透明基板10的材料中含有上述实施方式中说明的紫外线吸收剂的基板。

(7)上述实施方式中以第一透明电极14以及第二透明电极24具有相互连接多个菱形电极而成的形状的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式并不限定于此。透明电极14、24例如既可以形成为条纹状(具有一定宽度的直线状)，也可以形成为波浪状或之字形。根据透明电极14、24的俯视时形状确定第一掩模41以及第二掩模42的窗部(透光部)的形状。

(8)上述实施方式中以通过加热处理使包含在中间树脂层33中的紫外线吸收剂失活的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如，也可以通过高能量UV处理使紫外线吸收剂失活，在该高能量UV处理中照射波长比在图案曝光工序中照射的紫外线L更短的紫外线。

(9)上述实施方式中说明了在显影工序中使用显影液进行湿法显影的例子。但是，本发明的实施方式并不限定于此。例如，也可以进行通过氧等离子体等与显影气体接触来进行显影处理的干法显影。

(10)应该可以理解，关于其它构成，本说明书中公开的实施方式在所有方面均只是单纯的示例。因此，本领域技术人员可在不脱离本公开宗旨的范围内适当进行各种变更。

〔实施方式的概要〕

总而言之，优选地，根据本公开的触摸输入传感器的制造方法包括以下各构成。

[1]

一种触摸输入传感器(1)的制造方法，包括：层叠工序，在透明基板(10)的两面，分别从所述透明基板(10)侧起依次层叠中间树脂层(33)和透明导电膜(32)，其中，所述中间树脂层(33)包含感光性树脂和紫外线吸收剂；图案曝光工序，以分别覆盖两面侧的所述中间树脂层(33)和所述透明导电膜(32)的方式配置掩模(41、42)，并从两面侧进行利用紫外线(L)的图案曝光；以及透明电极形成工序，进行显影，在所述透明基板(10)的两面形成由所述透明导电膜(32)构成的透明电极(14、24)。

根据该构成，在透明基板的两面分别层叠中间树脂层和透明导电膜之后进行图案曝光。在进行该图案曝光时，由于能够相对容易且高精度地进行两个掩模的对位本身，因此，也能够容易地进行显影后在透明基板的两面分开得到的一对透明电极彼此的对位。

并且，在上述构成中，设于透明基板的两面的包含感光性树脂的中间树脂层还包含紫外线吸收剂，因此，能够抑制一对透明电极的一方的图案形成与另一方的图案形成相互影响。换言之，用于在透明基板的一面(下面称为“第一面”)侧进行一透明电极的图案形成的紫外线被紫外线吸收剂吸收而几乎不会透过至另一面(下面称为“第二面”)侧。同样，用于在透明基板的第二面侧进行另一透明电极的图案形成的紫外线被紫外线吸收剂吸收而几乎不会透过至第一面侧。因此，能够分别适当地进行在透明基板的两面分开得到的一对透明电极的图案形成。曝光工序数量少，只要能从两面侧进行曝光，对装置几乎没有限制，所以能够简单地形成一对透明电极，能够简化触摸输入传感器的制造。

[2]

在所述中间树脂层(33)中，所述紫外线吸收剂分散保持于感光性树脂层(34)中。

根据该构成，通过将紫外线吸收剂分散在感光性树脂层中，从而能够容易地形成包含感光性树脂和紫外线吸收剂的中间树脂层。并且，在进行图案曝光时，由于分散保持的紫外线吸收剂的影响，与表层侧(透明导电膜侧)相比，深层侧(透明基板侧)的感光性树脂层的固化不充分，容易产生底切形状。为此，在之后的显影时，仅去除透明导电膜和感光性树脂层中的表层侧部分，能够将透明电极与非电极部分之间的高低差异抑制得较小。因此，能够抑制显现透明电极的图案。

[3]

还包括：在显影后使包含在所述中间树脂层(33)中的所述紫外线吸收剂失活的工序；以及在使所述紫外线吸收剂失活之后对两面侧的所述中间树脂层(33)进行整面曝光的工序。

根据该构成，在图案曝光及显影之后使紫外线吸收剂失活，之后，对两面侧的中间树脂层进行整面曝光，从而不会受到紫外线吸收剂的影响，能够将中间树脂层中的经图案化处理后的部分以及未固化的部分完全固化。因此，即使在使用构成为在感光性树脂层中分散保持有紫外线吸收剂的中间树脂层时，也能够恰当地进行整体的完全固化，能够得到具有合适性能的触摸输入传感器。

[4]

所述紫外线吸收剂以具有随着从所述透明导电膜(32)侧往所述透明基板(10)侧而浓度变高的浓度梯度的状态分散保持于所述感光性树脂层(34)中。

根据该构成，在进行图案曝光时，易于使中间树脂层中的透明导电膜侧的大部分适当地固化，并且能够有效地抑制紫外线透过至相对于透明基板而言的相反侧。

[5]

在所述中间树脂层(33)中，感光性树脂层(34)和紫外线吸收剂层(37)以所述感光性树脂层(34)位于所述透明导电膜(32)侧的状态层叠。

根据该构成，通过单独地形成并层叠感光性树脂层和紫外线吸收剂层，从而能够容易地形成包含感光性树脂和紫外线吸收剂的中间树脂层。由于以感光性树脂层位于透明导电膜侧、而紫外线吸收剂层位于透明基板侧的状态进行层叠，所以在进行图案曝光时，能够使感光性树脂层适当地固化，并能够有效地抑制紫外线透过至相对于透明基板而言的相反侧。并且，当中间树脂层的厚度为一定时，能够根据紫外线吸收剂层的厚度将感光性树脂层的厚度抑制在较薄的厚度。因此，在图案曝光工序以及之后的显影之后，能够将透明电极与非电极部分之间的高低差异抑制得较小。因此，能够抑制显现透明电极的图案。

[6]

所述中间树脂层(33)还包括非感光性树脂层(38)，非感光性树脂层(38)相对于所述紫外线吸收剂层(37)层叠在与所述感光性树脂层(34)相反的一侧。

根据该构成，当中间树脂层的厚度为一定时，能够根据非感光性树脂层以及紫外线吸收剂层的厚度将感光性树脂层的厚度进一步抑制在较薄的厚度。因此，能够进一步将透明电极与非电极部分之间的高低差异抑制得较小。因此，能够有效地抑制显现透明电极的图案。

并且，优选地，根据本公开的感光性导电膜具有以下的各构成。

[7]

一种感光性导电膜(3)，包括：基材膜(31)；配置于所述基材膜(31)上的透明导电膜(32)；以及配置于所述透明导电膜(32)上并包含感光性树脂和紫外线吸收剂的带抗紫外线功能的感光层(33)。

当使用两张这样构成的感光性导电膜，并以带抗紫外线功能的感光层分别与透明基板的两面接触的方式进行被覆时，在透明基板的两面分别形成从透明基板侧起带抗紫外线功能的感光层和透明导电膜依次层叠的层叠体。通过以分别覆盖该层叠体中的两面侧的带抗紫外线功能的感光层以及透明导电膜的方式配置掩模，并从两面侧进行图案曝光，从而能够容易地进行显影之后在透明基板的两面分开得到的一对透明电极之间的对位。

并且，在上述构成中，设在透明基板的两面的包含感光性树脂的带抗紫外线功能的感光层进一步包含紫外线吸收剂，所以能够抑制一对透明电极中的一方的图案形成与另一方的图案形成相互影响。因此，能够分别适当地进行在透明基板的两面分开得到的一对透明电极的图案形成。曝光工序数量少，只要能从两面侧进行曝光，对装置几乎没有限制，所以能够简单地形成一对透明电极，能够简化触摸输入传感器的制造。

因此，可以提供在能够简单地进行制造、且能容易地进行一对透明电极彼此的对位的触摸输入传感器的制造方法中适用的感光性导电膜。

需要说明的是，优选地，感光性导电膜也具有上述的针对触摸输入传感器的制造方法所说明的优选的构成([2]、[4]～[6])。这时，将上述[4]的构成中的“所述透明基板(10)侧”改换为“与所述基材膜(31)相反的一侧”来考虑即可。

根据本公开的触摸输入传感器的制造方法以及感光性导电膜只要能够起到上述各效果中的至少一种效果即可。

产业上的可利用性

根据本公开的技术例如可以在制造触摸输入传感器时用于形成一对透明电极。

附图标记说明

1 触摸输入传感器

3 感光性导电膜

10 透明基板

14 第一透明电极(透明电极)

24 第二透明电极(透明电极)

31 基材膜

32 透明导电膜

33 中间树脂层(带抗紫外线功能的感光层)

34 感光性树脂层

36 热塑性紫外线吸收剂层(紫外线吸收剂层，非感光性树脂层)

37 紫外线吸收剂层

38 热塑性树脂层(非感光性树脂层)

41 第一掩模(掩模)

42 第二掩模(掩模)

L 紫外线